PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) -- 等离子体增强化学气相沉积法 典型的工业应用:等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理
1~4电等子伏,离电流子为1态~10常0安及被以上称。 为“超气态”,它和气体有很多相似之处,
集体效应起主导作用:等离子体中相互作用的电磁 力是长程的。
宇宙中90%物质处于等离子体态
人类类的的生生存存伴伴随随着着水水,,水存水在存的在环的境环是境地是球地文球明得文以明进得化以、进发化展、的发的展热 的力学的环热境力,学这环种境环,境这远种离等环离境子远体离物等态离普子遍体存物在的态状普态遍。存因在而的,状天态然。等 因离子而体,就天只然能等存离在子于远体离就人只群能的存地在方于,远以闪离电人、群极的光地的方形,式以为闪人电们、所极敬 光畏、的所形赞式叹为。人们所敬畏、所赞叹。
温度 (度)
等离子体参数空间
星云
太阳风 星际空间
日冕
霓虹灯 荧光
磁约束 聚变
氢弹
惯性聚变
太阳核心 闪电
气体 液体 固体
北极光
火焰
人类居住环境
密度(cm-3)
等1.按离存在子分:体的分类
天然等离子体:太阳、恒星、星云、极光、雷电等
人工等离子体:日光灯、霓虹灯、电火花、电弧等
2.按电离度分: 等离子体:电子(ne )、正离子(离子 ni)、中性粒子(分子、
Tonks)首先引入等离子体( Plasma )这个名称。
涉及分子间作用力,而等离子体由气态转化时需要克服原 特点是焊缝平整,可以再加工,没有氧化物杂质,焊接速度快。
人类的生存伴随着水,水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境,这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。