MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别 常见MEMS加速度传感器介绍

举例说明mems的应用及例中mems器件的原理MEMS（微机电系统）是一种将微型机械结构与电子技术相结合的技术，它可以将传感器、执行器和其他微型器件集成在一起，以实现各种应用。

下面将以几个常见的MEMS应用为例，详细介绍其原理。

1.加速度计加速度计是一种测量物体加速度的传感器，广泛应用于智能手机、游戏手柄、汽车安全气囊等设备中。

MEMS加速度计通常由一个微型质量块和一对微型弹簧组成。

当被测试物体加速度改变时，质量块会移动，并产生微小的尺寸变化。

这种变化可以通过电容或压阻传感器来检测，从而得到加速度的值。

2.陀螺仪陀螺仪是用于测量物体角速度的传感器，常见于飞行器、导航设备等应用中。

MEMS陀螺仪通常由两个共面的振动器组成。

当物体发生旋转时，由于科里奥利力的作用，振动器之间会产生微小的力。

这种力会导致振动器的位移，通过检测振动器的位移变化，可以得到物体的角速度。

3.压力传感器压力传感器用于测量气体或液体的压力，广泛应用于医疗设备、工业自动化等领域。

MEMS压力传感器通常由一个微型薄膜和一个微型腔室组成。

当受到外部压力时，微型薄膜会发生微小的弯曲变形。

通过检测薄膜的变形，可以得到压力的值。

4.振动传感器振动传感器用于测量物体的振动或震动，常见于汽车、建筑结构监测等领域。

MEMS振动传感器通常由一个微型质量块和一个微型弹簧组成，类似于加速度计的结构。

当物体振动时，质量块会受到振动力的作用，从而产生微小的尺寸变化。

这种变化可以通过电容或压阻传感器来检测，从而得到振动的值。

总结起来，MEMS器件的原理都是基于微小的物理变化或力的作用。

通过将微型机械结构和电子技术相结合，可以实现对这种变化或力的检测和测量，从而得到各种物理量的值。

这种集成化的设计使得MEMS器件具有体积小、功耗低、响应速度快、成本低等优点，因此在越来越多的应用中得到了广泛的应用。

MEMS陀螺仪的简要介绍（性能参数和使用）MEMS传感器市场浪潮可以从最早的汽车电子到近些年来的消费电子，和即将来到的物联网时代。

如今单一的传感器已不能满足人们对功能、智能的需要，像包括MEMS惯性传感器、MEMS环境传感器、MEMS光学传感器、甚至生物传感器等多种传感器数据融合将成为新时代传感器应用的趋势。

工欲善其事，必先利其器，这里就先以MEMS陀螺仪开始，简要介绍一下MEMS陀螺仪、主要性能参数和使用。

传统机械陀螺仪主要利用角动量守恒原理，即：对旋转的物体，它的转轴指向不会随着承载它的支架的旋转而变化。

MEMS陀螺仪主要利用科里奥利力（旋转物体在有径向运动时所受到的切向力）原理，公开的微机械陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念，利用振动来诱导和探测科里奥利力。

MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制共振运动，通过科里奥利力原理把角速率转换成一个特定感测结构的位移。

以一个单轴偏移（偏航，YAW）陀螺仪为例，通过图利探讨最简单的工作原理。

两个相同的质量块以方向相反的做水平震荡，如水平方向箭头所示。

当外部施加一个角速率，就会出现一个科氏力，力的方向垂直于质量运动方向，如垂直方向箭头所示。

产生的科氏力使感测质量发生位移，位移大小与所施加的角速率大小成正比。

因为感测器感测部分的动电极（转子）位于固定电极（定子）的侧边，上面的位移将会在定子和转子之间引起电容变化，因此，在陀螺仪输入部分施加的角速率被转化成一个专用电路可以检测的电子参数---电容量。

下图是一种MEMS陀螺仪的系统架构，，陀螺仪的讯号调节电路可以分为马达驱动和加速度计感测电路两个部分。

其中，马达驱动部分是透过静电引动方法，使驱动电路前后振动，为机械元件提供激励；而感测部分透过测量电容变化来测量科氏力在感测质量上产生的位移。

当然，MEMS陀螺仪还具有其它功能模块，比如自检功能电路，低功耗以及运动唤醒电路等等。

下面主要介绍MEMS陀螺仪的主要性能参数。

mems加速度计原理
MEMS加速度计是一种利用微电子机械系统技术制造的加速
度传感器。

它采用微小的质量偏转来测量物体的加速度。

MEMS加速度计的原理基于牛顿第二定律，即力等于质量乘
以加速度。

它包括一个微小的质量块，在加速度作用下会偏转。

具体原理如下：
1. 弹性梁原理：MEMS加速度计的核心部件是微小的弹簧梁
结构。

当加速度作用于传感器时，其内部的弹簧梁会受到力的作用而发生形变。

通过测量形变量的变化，可以计算出加速度大小。

2. 微机电系统技术：MEMS加速度计通过微电子加工工艺制
造出微小的机械结构，这些结构可以识别并测量加速度。

常见的结构包括悬臂梁、微型质量块等。

当加速度发生改变时，这些微小结构会产生微小位移，通过测量位移的变化，可以得到加速度的值。

3. 电容变化原理：MEMS加速度计中的微小结构内部设置了
电容，当加速度发生变化时，结构的位移会导致电容发生改变。

通过测量电容的变化，可以得到加速度的值。

总之，MEMS加速度计利用微小结构的位移或形变来测量加
速度，具有体积小、功耗低和响应速度快等优势，广泛应用于移动设备、汽车电子系统和航空航天等领域。

MEMS陀螺仪的简要介绍MEMS陀螺仪（Micro-Electro-Mechanical System gyroscope）是一种基于微机电系统技术的陀螺仪，具有小尺寸、低功耗、高灵敏度等特点。

它广泛应用于无人机、手机、平衡车等设备中，用于测量角速度和方向。

首先，我们来看一下MEMS陀螺仪的性能参数。

主要包括灵敏度、测量范围、精确度和稳定性。

1.灵敏度：指陀螺仪对角速度变化的感知程度，通常以每秒多少度/秒来表示。

灵敏度越高，陀螺仪对角速度变化的检测越精准。

2.测量范围：指陀螺仪能够测量的角速度的最大值和最小值。

通常以度/秒为单位，在不同应用场景下需根据需求选择合适的测量范围。

3.精确度：指陀螺仪测量结果与真实值之间的偏差。

精确度越高，陀螺仪的测量结果越接近真实值。

4.稳定性：指陀螺仪在长时间使用过程中保持测量精度的能力。

稳定性包括零漂、温漂等参数，可通过校准等方法来提高。

1.姿态控制：MEMS陀螺仪被广泛应用于飞行器、导航设备等需要进行姿态控制的设备中。

通过测量角速度变化，可以帮助设备实时检测自身的姿态，从而进行调整和控制。

2.稳定平台：MEMS陀螺仪可以用于制作稳定平台，如相机防抖系统。

通过补偿相机的晃动，可以提高拍摄的稳定性和图像质量。

3.导航定位：MEMS陀螺仪可以与其他传感器（如加速度计、磁力计）结合使用，用于导航和定位应用。

通过测量角速度和加速度，可以估计设备的位置和方向。

4.虚拟现实和增强现实：MEMS陀螺仪可以用于虚拟现实和增强现实设备中，如头戴式显示器和手持设备。

通过检测用户头部的旋转动作，可以实现对虚拟场景的观察和交互。

5.运动追踪：MEMS陀螺仪可以用于运动追踪设备中，如运动手柄和运动传感器。

通过测量角速度和加速度，可以捕捉用户的运动，实现与设备的交互。

综上所述，MEMS陀螺仪是一种小尺寸、低功耗、高灵敏度的陀螺仪，广泛应用于姿态控制、稳定平台、导航定位、虚拟现实和运动追踪等领域。

这两天调好了3轴g-sensor ,mma7660, 可以用了. 倾斜晃动或改变板子的方向(水平或垂直), mma7660就会产生中断, 并给出当前板子的姿态(水平/垂直, 上下,左右等).1. 重力加速度计 mma76601.1 作用:mma7660只是一个3轴g-sensor, 它主要用于测量倾斜角,惯性力,冲击力及震动.1.2 工作原理:mma7660是一种电容式g-sensor. 电容式g-sensor大多为欧美厂商, 其技术是在wafer的表面做出梳状结构, 当产生动作时,由侦测电容差来判断变形量, 反推出加速度的值.与压阻式不同的是, 电容式很难在同一个结构中同时感测到三个轴(X,Y,Z)的变化, 通常都是X,Y和Z分开来的, (这也就是为什么当板子水平放置时,无论如何改变X,Y的位置,都不会有中断产生,因为这时它只能检测Z轴的变化,X,Y的变化它检测不到, 只有当我们将板子倾斜一个角度后才能检测X,Y的变化) . 而压阻式在同一个结构就能感测到三个轴的变化.1.3 工作模式:mma7660主要有三种工作模式.(通过设置MODE寄存器)1). Standby(待机)模式此时只有I2C工作,接收主机来的指令. 该模式用来设置寄存器. 也就是说, 要想改变mma7660的任何一个寄存器的值,必须先进入Standby模式. 设置完成后再进入Active或Auto-Sleep模式.2). Active and Auto-Sleep (活动并且Auto-Sleep) 模式mma7660的工作状态分两种, 一种是高频度采样, 一种是低频度采样. 为什么这样分呢, 为了节省功耗,但是在活动时又保持足够的灵敏度.所以说mma7660的Active模式其实又分两种模式,一种是纯粹的Active模式, 即进了Active模式后一直保持高的采样频率,不变. 还有一种是Active & Auto-Sleep模式, 就是说系统激活后先进入高频率采样,经过一定时间后,如果没检测到有活动,它就进入低频率采样 ,所以就叫做Auto-Sleep, Sleep并不是真的Sleep , 只是说降低采样频率.低频率采样模式又叫Auto-Wake摸式, 即自动唤醒模式.它不是睡眠模式, 它只是降低采样频率.3). Auto-Wake (自动唤醒) 模式Auto-Sleep后就进入低频率采样模式,这种模式就叫做Auto-Wake摸式, 即自动唤醒模式.它不是睡眠模式, 它只是降低采样频率.1.4 初始化:Init|| MODE=(0)进入 Standby 模式,设置寄存器|| SRST=0x03, SR=(2,2,1), INTSU中,asint=1,plint=1,fbint=1| MODE=(0, 1, 0, 1, 1, 0, 1)|Active & Auto-Sleep (64 Samples/Sec)^ || state changes | SPCNT=0xA0 timeout| interrupt || vAuto-Wake ( = Half Sleep) (8 Samples/Sec)也就是说,系统初始化时先进入Standby模式,通过I2C设置寄存器, 设好后进入Active &Auto Sleep模式, 当定时器计数超时后,进入Auto-Wake(低频采样模式),在Auto-Wake模式下,只有板子状态改变(比如改变水平/垂直方向,拍打等),由此产生中断后才会唤醒,重新进入Active & Auto-Sleep模式.2. 陀螺仪用过g-sensor后就很好奇它跟陀螺仪的关系.在动作感应方面, 加速度计对有变化量的动作感应还不错, 但是对均匀的动作变化, 精度就不够了,陀螺仪则刚好弥补了这一点.陀螺仪的原理是, 对一个旋转的物体, 旋转轴所指的方向在不受外力影响时, 是不会改变的. 人们根据这个原理,用它来保持方向. 陀螺仪在工作时要给它一个力, 使它快速旋转起来, 然后用多种方法读取轴所指的方向,并自动将数据信号传给系统.物体在高速旋转后,其轴心就存在指向的稳定性.陀螺仪是一种在立体空间内,全方位的角度偏移检测仪器.2.1 模型直升机上陀螺仪的功用直升机飞行的基本原理是利用主旋翼可变角度产生反向推力而上升, 但对机身会产生扭力作用, 于是需要加设一个尾旋翼来抵消扭力,平横机身. 但怎样使尾旋翼利用合适的角度来平衡机身呢? 这就用到陀螺仪了, 它可以根据机身的摆动多少,自动作出补偿讯号给伺服器,去改变尾旋翼的角度,产生推力平衡机身.以前,模型直升机是没有陀螺仪的, 油门, 主旋翼角度很难配合, 起动后便尽快往上空飞(因为飞行时较易控制),如要悬停就要控制杆快速灵敏的动作,所以很容易撞毁,现在已有多种直升机模型使用的陀螺仪,分别有机械式,电子式,电子自动锁定式.2.2 智能手机上陀螺仪的使用关注IPHONE4的都知道,它的超强卖点就是内置了陀螺仪, 既有陀螺仪,又有重力加速计. 陀螺仪的主要用途有:1).导航. 陀螺仪自被发明以来, 就用于导航, 如果配合GPS, 手机的导航能力将达到前所未有的水准(电子惯导, 但是不能长时间没有GPS校正, 否则会随时间出现偏差). 事实上, 目前很多专业手持式GPS也装了陀螺仪, 如果手机上安装了相应的软件, 其导航能力不亚于目前很多船舶,飞机上的导航仪.2).摄像防抖. 配合手机上的摄像头3).各类游戏的传感器. 陀螺仪完整检测游戏者手的移动,从而实现个种游戏操作的效果.4).可以用作输入设备, 陀螺仪相当于一个立体的鼠标.对于安装了陀螺仪,摄像头,以及各种传感器的手机来说,它已经由通讯工具转为娱乐中心,再提升为高效率的生产工具.==================================================呵呵,发扬自由软件的精神,把mma7660的驱动在这里共享出来(带了很多调试信息), 是Android接口的。

MEMS传感器的工作原理及应用1. 什么是MEMS传感器MEMS传感器（Microelectromechanical Systems Sensors）是一种集成微纳制造技术与传感器技术于一体的传感器。

它由微机电系统（Microelectromechanical Systems，简称MEMS）技术制造而成，具有微秒级响应速度、微米级灵敏度和微瓦级功耗的特点。

2. MEMS传感器的工作原理MEMS传感器利用微机电系统技术将传感元件制造在芯片上，通过检测物理量的变化来获得所需的信号。

下面介绍几种常见的MEMS传感器及其工作原理：2.1 加速度传感器加速度传感器是一种常见的MEMS传感器，能够检测物体在三个方向上的加速度变化。

其工作原理基于牛顿第二定律，利用质量块与弹簧系统的运动来检测加速度变化。

•工作原理：1.加速度传感器内部包含一个质量块，可通过弹簧固定在一个外壳上。

2.当传感器受到加速度作用时，质量块与外壳之间产生相对位移。

3.基于压电效应或电容变化等原理，测量相对位移，并将其转化为电信号输出。

2.2 压力传感器压力传感器是一种常用的MEMS传感器，可用于测量气体或液体的压力变化。

其工作原理基于压电效应或电阻变化来检测压力变化。

•工作原理：1.压力传感器内部设计有感应膜，通常采用金属或半导体材料制成。

2.当传感器受到压力作用时，感应膜产生弯曲。

3.基于压电效应或电阻变化等原理，测量感应膜的变化，并将其转化为电信号输出。

2.3 温度传感器温度传感器是一种广泛应用于工业和消费电子等领域的MEMS传感器，可测量物体的温度变化。

其工作原理基于热敏材料的电阻特性来检测温度变化。

•工作原理：1.温度传感器内部包含一个热敏元件，通常采用电阻器或热敏电阻器制成。

2.当传感器受到温度变化影响时，热敏元件的电阻值会发生变化。

3.通过测量热敏元件的电阻值变化，并将其转化为温度值输出。

3. MEMS传感器的应用MEMS传感器在各个领域都有广泛的应用，下面列举几个常见的应用领域：3.1 汽车行业•制动系统：MEMS加速度传感器可用于检测车辆的加速度变化，实现主动安全功能。

MEMS加速度计
MEMS（Micro Electro Mechanical System）加速度计是一种小型的微电子机械系统，它是一种集成在小尺寸的容器中的微型传感器。

它的一个主要功能是用于测量自身被作用力的改变。

MEMS加速度计通常用来测量一个物体的速度和加速度。

MEMS加速度计可以用来测量其中一种受力是否存在，或者可以用来测量其中一种力的大小和方向。

这种受力可以指物体的重力、运动或者是重力或运动之外的力，例如机械弹簧或气动弹簧等。

MEMS加速度计的输出信号可以经过处理，反映物体的运动状态，使制造者可以做出恰当的决定和行动。

MEMS加速度计无论在工业界还是日常生活中都有着很广泛的应用，它可以用来测量汽车、机器人、运动和其他各种运动的加速度，以及许多智能装置实现自由度控制。

它可以用来检测碰撞、行车轨迹和定位，从而应用到汽车安全系统中，使汽车安全变得有效。

此外，它还可以用来测量人体的运动，帮助科学家进行运动分析研究。

mems传感器类型
MEMS传感器是一种微型机电系统，具有高精度、高灵敏度和低功耗等特点，广泛应用于移动设备、智能家居、汽车、医疗和工业等领域。

根据测量物理量和应用领域的不同，MEMS传感器可分为以下几类：
1. 加速度计：用于测量物体的加速度，常用于移动设备中的屏幕旋转、晃动检测等功能。

2. 陀螺仪：用于测量物体的角速度和角度，常用于移动设备的姿态感知、游戏控制等功能。

3. 压力传感器：用于测量气体或液体的压力，常用于汽车中的轮胎压力监测、医疗设备中的血压测量等。

4. 温度传感器：用于测量物体的温度，常用于智能家居中的温度控制、汽车中的发动机温度监测等。

5. 光学传感器：用于测量光线强度、颜色和距离，常用于移动设备中的亮度调节、相机对焦等功能。

6. 气体传感器：用于测量气体浓度，常用于工业领域中的环境监测、智能家居中的室内空气质量检测等。

7. 生物传感器：用于测量人体的生理参数，常用于医疗设备中的心率监测、血糖测量等。

以上是常见的MEMS传感器类型，随着技术的不断发展和应用领域的不断拓展，将会有更多新型MEMS传感器出现。

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MEMS传感器有多种分类，包括MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS压力传感器和MEMS麦克风等。

这些传感器的工作原理各不相同，以下是MEMS传感器的分类及原理：
1. MEMS陀螺仪：陀螺仪是测量角速率的重要器件，主要用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等应用领域。

其核心是一颗微机械（MEMS）芯片和一颗专用控制电路（ASIC）芯片。

MEMS 陀螺仪的工作原理基于科里奥利（Coriolis）效应，通过测量质量块在驱动电路控制下高速震荡时发生的横向位移实现对角速率的测量。

2. MEMS加速度计：用于感知物体运动的线加速度。

其核心是一颗微机械（MEMS）芯片和一颗专用控制电路（ASIC）芯片。

其工作原理是通过测量物体运动时的加速度引起的惯性力，进而得出物体的运动状态。

3. MEMS压力传感器：主要分为电容式和电阻式，用于测量压力。

其核心结构是薄膜元件，当受到压力时，薄膜变形导致电性能（电阻、电容）改变，从而可以计算受到的压力。

4. MEMS麦克风：通过测量声音产生的声压变化来将声压信号转换为电信号。

总的来说，MEMS传感器的核心工作原理是基于物理效应的微小变化来感知外部信息，并将其转换为电信号。

不同类型传感器在结构和工作原理上有所差异，但都具备小型化、高集成、低成本的优势。

MEMS加速度计简介1、什么是MEMS加速度计？加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。

加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。

加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。

由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。

MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。

2、MEMS加速度计一般用在哪里？通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。

通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。

现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。

MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。

是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。

更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。

一个好的工程师能够使用MEMS加速度计来回答所有上述问题。

目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了MEMS加速度计，能够动态的监测出笔记本在使用中的振动，并根据这些振动数据，系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行，这样可以最大程度的保护由于振动，比如颠簸的工作环境，或者不小心摔了电脑所造成的硬盘损害，最大程度地保护里面的数据。

目前在一些先进的移动硬盘上也使用了这项技术。

另外一个用处就是在目前的数码相机和摄像机里，用MEMS加速度计来检测拍摄时候的手部的振动，并根据这些振动，自动调节相机的聚焦。

MEMS加速度计还可以用来分析发动机的振动。

汽车防撞气囊的启动也可以由MEMS加速度计控制。

由此可见MEMS加速度计可以在我们的生活中发挥重要作用。

归纳其应用主要有以下几个方面：振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等。

概念介绍1. mems陀螺的定义与原理mems陀螺，全称微型电机系统陀螺，是一种利用微机电系统技术制造的小型陀螺仪，能够测量和感知旋转运动。

mems陀螺利用微型电机和微机电系统技术，将传统的陀螺仪缩小到微米级尺寸，具有体积小、功耗低、成本低等优点。

2. 加速度耦合效应的定义加速度耦合效应指的是mems陀螺在测量旋转运动时，由于其内部的加速度传感器和角速度传感器之间的物理位置关系，可能会产生加速度以外的干扰，导致测量结果产生偏差。

原理分析3. mems陀螺的工作原理mems陀螺内部主要由加速度传感器和角速度传感器组成。

加速度传感器可以检测物体的加速度变化，而角速度传感器则可以测量物体旋转运动的角速度。

通过这两个传感器的配合工作，mems陀螺可以实现对旋转运动的测量。

4. 加速度耦合效应产生的原因加速度耦合效应产生的原因主要是由于mems陀螺内部的加速度传感器和角速度传感器在物理位置上无法完全隔离开，加速度的变化会对角速度的测量产生干扰，从而影响测量精度。

影响与应对5. 加速度耦合效应对mems陀螺测量精度的影响加速度耦合效应的存在会使mems陀螺在实际应用中出现测量误差，特别是在复杂运动条件下，如振动环境、高加速度运动等情况下，影响将更加显著。

6. 加速度耦合效应的应对方法为了降低加速度耦合效应的影响，可以采用多种方法，例如对传感器布局进行优化、提高传感器的频率响应特性、采用数字滤波技术等，以确保mems陀螺具有更高的测量精度。

研究现状与发展7. 目前mems陀螺加速度耦合效应的研究现状目前，关于mems陀螺加速度耦合效应的研究已经取得了一定的进展，国内外学者对其影响机理、测量方法和校准技术等方面开展了深入研究，但仍存在一定的技术挑战和待解决的问题。

8. mems陀螺加速度耦合效应的发展趋势随着mems技术的不断进步和发展，mems陀螺对加速度耦合效应的抑制技术也将不断提升，从而实现更加精准的旋转运动测量，为航空航天、导航、导弹制导等领域提供更可靠的技术支持。

加速度传感器，重力传感器是一个东西的两种叫法，他是测量直线运动的加速度值。

陀螺仪是角速度传感器，是测量旋转角速度的传感器。

加速度传感器和重力传感器是同一个东西。

其基本架构多采用弹簧-重物的模式，当有加速度的时候，重物会相对传感器发生位移，拉动弹簧变形。

通过检测弹簧变形程度可以计算出加速度大小：kx=ma。

陀螺仪利用的是陀螺旋转后的特性，主要是用来检测角速度。

说实话，目前陀螺仪的应用或者作用很少。

另外还有一种器件比较常见的，地磁传感器，检测地磁场的方向。

基本上加速度加上地磁可以算出陀螺，加速度加上陀螺可以算出地磁。

MEMS加速度计和陀螺仪原理分析技术成熟的MEMS加速度计分为三种:压电式、容感式、热感式。

压电式MEMS 加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。

容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。

加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。

Freescale的MMA7660FC这一款加速度计（3-Axis Orientation/Motion Detection Sensor），这一款芯片也是利用这一原理设计的。

datasheet的第9页介绍了其工作原理：当芯片有向右的加速度时，中间的活动质量快相对于另外两块电容板向左移动，这两平行板电容器的电容就发生了变化，从而测量出芯片运动的加速度。

MEMS陀螺仪MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。

假设旋转物体有径向速度Vr，那么将会产生切向科里奥利加速度从上面的公式中，我们可以看到科里奥利加速度的大小是正比于物体旋转的角速度。

如果我们在切向安装一个加速度计测出科里奥利加速度，那么我们就可以间接得到物体旋转的角速度。

实际的MEMS陀螺仪的设计如下图。

如果物体在圆盘上没有径向运动，科里奥利力就不会产生。

因此，在MEMS陀螺仪的设计上，这个物体被驱动，不停地来回做径向运动或者震荡，与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变化，并有可能使物体在横向作微小震荡，相位正好与驱动力差90度。

MEMS陀螺仪通常有两个方向的可移动电容板。

径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运动（有点象加速度计中的自测试模式），横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化（就象加速度计测量加速度）。

因为科里奥利力正比于角速度，所以由电容的变化可以计算出角速度。