FMCS在半导体工厂项目上的设计应用
- 格式:pdf
- 大小:228.22 KB
- 文档页数:3
Facility Monitoring and Control SystemDesign Guide厂务设施中央监控系统设计指引技术手册高科技项目/仪电组目录1.0系統簡介 (3)1.1系統用途 (3)1.2主要設備 (3)1.3控制功能 (5)2.0設計準則 (5)3.0設計步驟及注意事項 (7)3.1建立廠務監控系統架構圖 (7)3.2依設備需求製作控制系統之I/O L IST (9)3.3繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 (10)3.4選擇相關軟體 (10)3.5控制器與儀器平面配置圖 (11)3.6廠務監控系統規範書 (11)3.7儀器規範書 (12)3.8完成廠務監控系統圖面設計與規範 (12)3.9圖面設計與規範書之校核、審定與核准 (12)3.10圖面設計與規範書確認 (13)1.0 系统简介1.1 系统用途半导体电子厂厂务系统之中央监控系统,是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统,使工厂生产线运作顺利,维持高良率。
负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施,称为“厂务系统”,每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统(统称为SCADA,Supervisory Control And Data AcquisitionSystem) 例如Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW SCADA….等。
中央监控系统(FMCS),简单的说是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA),进行信息之整合,进而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统,成为有效的管理信息,做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。
1.2 主要设备厂务监控系统,主要之设备如下:1.控制器‧PLC (Program Logic Controller)可程控器‧DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器‧SLC (Single Loop Controller)单回路控制器‧DCS (Distribution Control System)分布式控制系统目前半导体电子厂之FMCS架构大都以PLC或空调用DDC为Base较多。
fmcs应用实例
FMCS是集监测、计量、控制、管理于一体的工厂设备智能管理系统,应用于制药企业管理系统中。
该系统包括变配电子系统、给排水子系统、空压子系统、通风子系统、制冷子系统、空调子系统、智能照明子系统、电梯系统等多个现场子系统,同时为能源管理系统提供了大量的数据支撑,构成了能源管理系统的基础部分。
FMCS的应用可以实现各设备子系统的远程集中监控,提高各子系统负荷随动的自动化程度,提升各子系统的运行可靠性,提升生产管理能效。
通过能源消耗统计、分析,促进企业节能减排,为企业打造全厂信息化管理的智能工厂。
FMCS在实际应用中,可以根据不同行业和领域的需求进行定制化开发,以满足不同场景的需求。
工业厂房 FMCS系统设计概括FMCS〔Facility Monitoring Control System厂务监控系统〕是将厂务设备各系统的监控资料利用Ethernet 、控制器、通信设备等集成至中央监控设备,形成全厂监控系统,以抵达以下目的:互通全厂信息、提高整体管理绩效、简化运行保护困难度、降低管理本钱等。
一FMCS的构造FMCS是一个采纳分层的散布式构造的监控系统,按控制级别分,分为三层:第一层为现场设备层。
该层包含各种传感器、变送器、探测器、阀门履行机构,变速设备,马达电机,限位开关及其余有关工艺设备及装置,实现对现场数据的上传和控制器命令的履行的功能。
第二层为控制层。
该层包含可达成单元层操作的软件和硬件。
比如单回路控制器和可编程的逻辑办理器等设备,实现对基层设备的数据收集,下发控制命令,监督现场控制状况的功能。
第三层为管理层〔SCADA 〕,该层分为现场子系统管理和全厂管理。
管理层包含操作站、工程师站、主效力器、 OPC 效力器、 WEB 效力器、热备份效力器、图形打印机、报警打印机、SCADA 用的 HMI 软件等。
现场子系统管理主要达成各子系统的监督和操控,进行现场数据的提取,并将数据作为集成系统的 OPCServer 数据源,现场子系统管理是保证各子系统独立运行的根基。
全厂管理是监督和管理中心,负责整个系统协调运行和综合管理。
二各层间的数据传输现场设备层至现场控制器层,有两种数据传输门路。
一种是控制电缆,应用于常规 I/O 点数据的传达;一种是现场总线,应用于自带控制柜和网络接口的成套设备的数据传达,以及远程 I/O 模块与主控制器之间的通信。
现场控制器层至管理层的数据传输,以及控制器层本次通信、管理层本层通信主要依赖的是以太网。
最上层的公司管理层网络,主要用于公司的方案、销售、库存、财务、人事以及公司的经营管理等方面信息的传输。
简略原理图以以下图所示:控制电缆种类、现场总线种类与采纳协议种类需依据详细工程状况而定。
智慧厂务信息化集成系统(FMCS)研究摘要:智慧厂务信息化集成系统(FMCS)是一种集成信息技术与厂务管理的智能系统。
本文旨在研究FMCS的应用和优势。
首先,对FMCS的构成与特点进行详细介绍,包括数据采集、实时监测、分析与决策等功能。
其次,通过实地调研与案例分析,探讨FMCS在厂务管理中的应用场景,如生产计划优化、资源调度、故障诊断等。
然后,重点分析FMCS在提高生产效率、降低成本、优化资源利用等方面的优势。
最后,讨论FMCS的局限性和未来发展方向。
本文旨在为厂务管理者和信息技术专业人员提供FMCS应用的理论参考和实践指导。
关键词:智慧厂务信息化集成系统,FMCS,数据采集,厂务管理,生产效率引言:随着信息技术的快速发展,智慧厂务信息化集成系统(FMCS)作为一种融合了先进信息技术和厂务管理的智能系统,已逐渐成为现代工业生产的重要支撑。
FMCS通过数据采集、实时监测、分析与决策等功能,实现了对厂务运营的全方位监控与优化。
本文旨在深入研究FMCS在厂务管理中的应用和优势,通过实地调研与案例分析,探讨FMCS在生产计划优化、资源调度、故障诊断等方面的应用场景,并重点分析其在提高生产效率、降低成本、优化资源利用等方面的优势。
同时,本文也将探讨FMCS在实际应用中可能面临的局限性,并对其未来发展方向进行展望。
通过本文的研究,我们希望为厂务管理者和信息技术专业人员提供FMCS应用的理论参考和实践指导,促进智能制造与厂务管理的融合发展。
1.智慧厂务信息化集成系统(FMCS)的构成与特点智慧厂务信息化集成系统(FMCS)是一种集成信息技术与厂务管理的智能系统。
其构成主要包括数据采集模块、实时监测模块、分析与决策模块和应用服务模块。
首先,数据采集模块是FMCS的基础,通过传感器和设备采集厂务运营过程中的各种数据,如生产数据、设备状态、能耗数据等。
这些数据是FMCS的信息来源,为后续的分析和决策提供了支持。
其次,实时监测模块对采集到的数据进行实时监控和展示,将数据转化为可视化的信息,使管理者能够及时了解厂务运营的状态。
fmcs应用实例-回复FMCS应用实例- 基于故障模式和影响分析方法的应用引言(150-200字):故障模式和影响分析(FMCS)是一种在工程和技术领域中广泛应用的方法,用于识别、分析和解决设备或系统故障。
本文将以FMCS应用实例为主题,详细介绍一种基于FMCS的故障诊断和维修方法,并探讨该方法在实际案例中的应用场景和效果。
一、FMCS基本原理与概述(200-300字)FMCS方法主要基于故障模式和故障影响分析两个关键概念。
故障模式是指设备或系统可能发生的故障事件的描述,而故障影响是指故障事件的结果和对系统性能、安全性产生的影响。
在FMCS方法中,首先需要建立设备或系统的故障模式库,该库包括详细描述各种可能的故障模式。
然后,通过定量分析和评估每种故障模式的影响程度,以确定其对系统性能和安全性的重要性。
二、FMCS在航空技术中的应用(500-600字)航空领域对于系统可靠性和故障诊断的要求非常高,因此应用FMCS方法进行故障分析和诊断在该领域中具有广泛的应用。
以航空发动机为例,我们将介绍一种基于FMCS的故障诊断和维修方法。
1. 数据收集与故障模式库建立:首先,通过传感器和监控设备收集发动机运行数据。
然后,将这些数据与先前建立的故障模式库进行比较,以识别可能存在的故障。
2. 故障模式分析:利用收集到的数据和故障模式库,对发动机运行状态进行分析,并确定可能的故障模式。
通过对故障模式进行定量评估和排序,确定故障的严重性和影响程度。
3. 故障诊断与维修:基于故障模式分析结果,将故障定位到具体的发动机组件或系统。
通过进一步的检测和测试,确认故障位置,并进行修复或更换。
4. 故障后评估与预防:对修复后的发动机进行测试和评估,以确保故障彻底解决。
同时,对故障模式库进行更新和改进,以提高以后的故障诊断准确性和效率。
三、FMCS方法的优势和应用场景(400-500字)基于故障模式和影响分析方法的故障诊断和维修具有以下优势:1. 提高效率和准确性:通过建立故障模式库和定量评估故障影响,可以帮助准确定位故障和制定相应的维修计划。
半导体fmcs技术规格书规格书是一种详细描述产品技术规格和性能参数的文档,帮助用户了解和评估产品的特性。
本文将介绍半导体FMCS技术规格书的内容,包括技术概述、性能参数、接口定义等方面。
一、技术概述半导体FMCS(Field-Programmable Mixed-Signal Circuit)是一种集成了模拟和数字电路的可编程半导体电路。
它具有灵活性高、适应性强的特点,可根据用户需求进行配置和调整。
FMCS技术广泛应用于各种领域,如通信、消费电子、汽车电子等。
二、性能参数1. 电源电压范围:规格书中会提供产品的工作电压范围,供用户正确选择和配置电源模块。
2. 时钟频率:规格书会列出产品支持的最大时钟频率,用于评估其处理速度和响应时间。
3. 输入输出接口:规格书中详细描述了产品的输入输出接口类型和定义,包括模拟输入、数字输入输出等。
4. 工作温度范围:规格书会标明产品的可靠工作温度范围,以确保在各种环境条件下正常运行。
5. 功耗特性:规格书会提供产品的功耗参数,供用户评估产品的能源消耗情况。
三、功能特性1. 数据处理能力:规格书中会详细介绍产品的数据处理能力,包括采样率、位数精度等。
2. 支持协议:规格书会列出产品支持的通信协议,如I2C、SPI 等,用于用户的系统设计。
3. 可编程性:规格书会描述产品的可编程性能,包括可重新配置的逻辑单元、寄存器配置等。
4. 集成外设:规格书会明确产品集成的外设模块,如模数转换器、数字信号处理单元等。
四、应用领域1. 通信:半导体FMCS技术在通信设备中广泛应用,可以灵活适配不同的通信协议,并具备高速数据处理能力。
2. 汽车电子:FMCS技术能够满足汽车电子中对模拟和数字电路的需求,实现车载通信、控制和感知功能。
3. 消费电子:规格书会列举产品在消费电子领域的应用案例,如智能手机、平板电脑等。
总结:半导体FMCS技术规格书是用户了解和评估产品技术特性的重要参考文档。
自控系统在洁净室空调系统中的应用研究摘要:在半导体洁净厂房中,工艺生产设备,包括光刻机、蚀刻机、离子注入机以及其他相关生产设备等等,对环境条件,包括洁净室的温湿度、房间微差压以及洁净度等空气指标均有较高的要求。
本文针对上述空气指标,对半导体厂房的洁净空调自控系统的组成、洁净新风空调机组的监视和控制,洁净室内的温湿度及压力控制,风机过滤单元的群控等进行详细介绍。
旨在分析自控系统在洁净室空调系统中的应用及其重要性。
关键词:洁净空调系统、自控系统、温湿度控制、压力控制、FFU群控引言洁净空调系统,特别是在半导体行业中,对洁净室的温湿度及压力都有极为苛刻的要求。
其能否正常稳定,直接影响洁净室工艺生产产品的良率。
而传统的人工检测和控制,不仅根本不能满足生产环境温湿度控制的要求,而且还费时费力、效率低下,且控制精度误差大。
而采用自控系统,既能满足洁净室温湿度、压力的控制要求,还能达到节能减员的效果。
因此,自控系统在洁净室温湿度、压力控制中的应有显得尤为重要。
1自控系统的组成由于洁净空调自控系统属于厂务监控系统(FMCS,即Facility Management and Control System)的一部分,因此在介绍洁净空调自控系统之前必须了解厂务监控系统。
以下是厂务监控系统的组成。
(如图1所示)1.1SCADA(Supervisory Control And Data Acquisition)工作站作为人机界面,发送各种指令至可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,以下简称PLC);进行数据采集,存储,报警,趋势,时间记录和查询等功能。
通常包含:1)数据服务器:数据采集与存储,为保证系统运行的安全性,对于重要的系统,可采用冗余配置。
2)操作站:人员操作的界面,与服务器进行通讯;3)工程师站:同时与PLC及数据服务器通讯,对PLC编程及画面,报警,趋势等进行组态;4)信息报警:将系统重要报警以邮件,短信息的方式发送给指定人员。