JEM2100F 透射电镜系统解析

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JEM2100F透射电镜系统解析

• 机械泵不工作时，应使进气口处于大气状态，以防止返油。
• 由于极限压强较高，常用做前级泵(预抽泵)。
旋转机械泵剖面图
2. 扩散泵解析
• 工作过程：油蒸发—喷射—凝结，重复循环
• 由于射流具有工作过程高流速(约 200米/秒)、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气体分子。
JEM-2100培训资料
第一篇透射电镜系统解析
系统解析分类
• 真空系统 • 高压系统 • 电子光学泵解析 • 离子泵解析 • 抽真空时序解析 • 真空规解析
1. 机械泵解析
• 工作过程：吸气—压缩—排气。
• 机械泵油起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。
第三章. 电子光学系统
• LENS系统 • 偏转(Deflection)系统
1. LENS系统
• LENS系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见 “INSPECTION CERTIFICATE”,但是CL（聚光镜），OL （物镜），INT1（第一中间镜）参数在一定条件下可以改变的，但有一个范围。
• 发射电流为打开灯丝加热电流，并从灯丝处发射出电子形成的电流。通过调整偏压来获得发射量。（请不要随意调整灯丝加热电流限定位置，以防止加热过高导致灯丝损害）
3. 偏压BIAS解析
• 简单的说，BIAS的作用是抑制电子束的发射。 • 所以通过调整BIAS，就可以得到所要的发射量。对于JEM-
2100 BIAS的指示值越大，其BIAS的电压绝对值越小，抑制能力越差，电子束发射量越大。
• 当PEG低于5X10-3Pa时SIP启动。
• 当P1,P2,P3,P4值低于35时，说明系统进入READY状态（高真空时PIRANI值设为25）

透射电子显微镜操作指南

JEM-2100F型透射电子显微镜操作指南电镜日常初始状态：加速电压160KV (Stand by 模式)1.加电压：点击电脑主程序Normal按钮，高压由160KV升至200KV，一般需要15分钟左右。

2.将样品（一定是干燥，洁净的样品!）放入样品杆，将样品杆送入样品室：分两步进行，先放入预抽室，打开预抽开关。

进行预抽，等待10分钟后将样品杆进一步送入样品室。

（注：操作时一定要轻，在感觉有阻碍时切勿强行放入，要及时与老师沟通！）3.打开CCD冷却机开关，打开CCD电脑，打开ITEM程序。

4.打开左控台左上角的Beam按钮，V1阀开启。

5.调节Brightness（顺时针光散开，逆时针光汇聚）观察是否有聚光镜像散（无像散时光圈呈圆形，且反复调节Brightness时光圈始终中心放大缩小。

否则则需要进行聚光镜消象散：将聚光镜光阑加入光路，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆），顺时针旋动Brightness 使光圈汇聚成小圆盘，COND STIG 按下，调节DEF使中心点变为均匀的圆形（无拖尾现象）。

弹起COND STIG 按钮。

6.合轴(使用前的简单合轴，在40K左右进行)1）按下右控制面板上的STD FOCUS，即恢复到标准的聚焦电压（在拍摄过程中也需要及时的使用STD FOCUS，按下它后软件对话框上面的defocus 就归零）。

2）调节SHIFT旋钮将光圈中心调到荧光品中心。

顺时针调节Brightness将光散开。

3）样品高度的确定：当物镜的焦距确定后，随后就需要来确定样品的高度，否则无法得到清晰的图像。

方法：调整样品台的高度(Z)，使观察样品的图像正焦。

(按下IMAGE WOBBLER调节样品高度使样品的晃动最小（此时接近正焦位置）。

调整结束后弹起IMAGE WOBBLER按钮。

)4）电压中心的确认（在拍摄高分辨照片时必须进行的步骤）：在放大倍数为100K以上时调整，按下右侧面板上的HT WOBBLER，观察光斑是否中心放大缩小，如果不是，则按下左侧面板上的BRIGHT TILT，调节DEF旋钮，使样品中心放大缩小。

JEM-2100高分辨透射电子显微镜的使用注意事项

基础上介绍了此款仪器的使用注意事项，以期对同行有借鉴作用。
透射电子显微镜简称透射电镜，是电子显微镜的一种。透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜，能直接观察并研究材料的内部结构、相组成、分布以及晶体中位错、层错晶界、空位等缺陷，是研究材料微观组织最有力的工具之一。其可进行形貌观察、选区电子衍射以及能谱分析，广泛应用于物理、化学、材料科学、矿物学、地质、冶金等领域。ＪＥＭ一２１００透射电镜是日本电子株式会社生产的高分辨型电
空气压缩机是电镜的重要组成部分，空压机一般是将大气压缩成压强较大的气体以推动电镜内气体阀门的运动，由于大气中含有水分，故在压缩机底部会有存水，当存水不能及时排放时就会腐蚀仪器，放水周期可根据不同区域和季节进行调整，但是最好每周放水一次，放水时要关闭灯丝和高压。另外空压机的吸气过滤网要定期除尘。
路板上从而烧毁电路板。开机前一般先查看循环水屋的空调是
否正常工作，循环水的温度是否正常。循环水最好是三次水，循环水的水面要高于水漂低于出水口，因此隔几个月需查看循
环水是否减少以及是否干净，水减少时及时添加，若循环水脏应及时更换循环水，宜半年到一年更换一次。３空气压缩机的要求
镜，此电镜的点分辨率为０．１９４ａｍ，晶格分辨率为０．１４ｎｍ，最大放大倍数为１５０万倍，是非常贵重和精密的设备，因此正确使

透射电镜分析

透射电镜分析透射电镜是一种常用的材料表征技术，广泛应用于材料科学、生物医学和纳米技术领域。

透射电镜通过电子束的透射来观察样品的内部结构和成分。

本文将介绍透射电镜的原理、仪器结构、操作流程以及在材料科学领域的应用。

透射电镜利用高能电子束穿透样品，通过电子束与样品相互作用的方式，获取样品的内部信息。

与光学显微镜不同，透射电镜具有更高的空间分辨率，可以观察到更细小的结构细节。

同时，透射电镜具有较高的成分分辨率，可以确定材料的化学组成。

透射电镜主要由电子源、透镜系统、样品台和检测器组成。

电子源产生高能电子束，透镜系统对电子束进行聚焦和调节，样品台用于支撑样品并调节其位置，检测器用于接收透射电子并将其转化为图像信号。

在进行透射电镜观察时，首先需要制备适合的样品。

通常，样品要求薄至几个纳米至几十纳米的厚度，以保证电子束的穿透能力。

其次，样品需要通过切片技术制备成透明薄片或通过离子薄化技术获得适当厚度的样品。

制备好的样品被放置在透射电镜的样品台上，并进行位置调节以获得最佳的观察效果。

在透射电镜观察中，可以使用不同的探测模式来获取样品的信息。

例如，原子级分辨透射电镜（HRTEM）可以获得材料的晶体结构信息，高角度透射电子显微镜（HAADF-STEM）可以获得材料的成分信息。

透射电子衍射（TED）可以用于分析晶体的结晶方式和晶格参数。

透射电镜在材料科学领域有着广泛的应用。

首先，透射电镜可以用于研究材料的微观结构和相变行为。

例如，通过观察材料的晶体结构和缺陷，可以了解材料的力学性能和导电性能。

其次，透射电镜可以用于研究材料的纳米结构和纳米尺度现象。

由于透射电镜具有很高的分辨率，可以观察到纳米颗粒、纳米线和二维材料等纳米结构的形貌和性质。

此外，透射电镜还可以用于观察生物样品的超微结构，为生物学研究提供重要的信息。

总之，透射电镜是一种强大的材料表征技术，具有高分辨率和高成分分辨率的优势。

它在材料科学、生物医学和纳米技术等领域发挥着重要作用。

透射电子显微镜培训——仪器原理

2.5 Å 1.0 Å EDS solid angle 0.3 sr
生物
分析结构元素
高分辨
物镜球差校正器
CEOS公司（Corrected Electron Optical Systems）
FEI Titan 80-300：
• TEM分辨率 < 0.7Å • STEM分辨率 < 1Å • 能量分辨率 < 0.25eV 或 < 0.15eV
真空度
使用寿命更换电子枪费用
10-3
几个月便宜
10-5
约 1年较便宜
10-7
3-4年较贵
10-8
约 5年较贵
物镜种类
电镜分辨率： R = 0.65 Cs1/4 λ3/4
Cs：与物镜的极靴种类有关
TF20系列 TEM 物镜种类 X-TWIN
30°
1.3 1.3
Point Res. Line Res. 2.7Å 1.4Å 2.4Å 1.0Å 1.9Å 1.0Å
1938 年，商售电子显微镜问世， 20世纪后半世纪，电子显微镜有了长足的发展，先后研制出高分辨型和分析型透射电镜，加速电压高于1MV的超高压电镜。
1990年Rose提出用六极校正器校正透镜像差得到无像差电子光学系统的方法。后来在飞利浦CM200ST场发射枪200kV 透射电镜上增加了这种六极校正器，研制成世界上第一台像差校正电子显微镜。分辨率优于0.1nm。
JEM-3100F JEM-3200FS JEM-4010 JEM-ARM1250
球差校正
Titan (80-300kV)
JEM-ARM200F (200kV)
HD-2700 HF-5000 (STEM 200 kV)

透射电子显微镜的结构及成像教学提纲

4）光栏
光栏是为挡掉发散电子，保证电子束的相干性和电子束照射所选区域而设计的带孔小片。根据安装在电镜中的位置不同，光栏可分为聚光镜光栏、物镜光栏和中间镜光栏三种。
三）成像原理
由图5中得几何关系并推导后得：R= Kg
式中的L和K分别称为有效相机长度和有效相机常数。但需注意的是式中的L并不直接对应于样品至照相底片间的实际距离，因为有效相机长度随着物镜、中间镜、投影镜的励磁电流改变而变化，而样品到底片间的距离却保持不变，但由于透镜的焦长大，这并不会妨碍电镜成清晰图像。因此，实际上我们可不加区分K与K、L与L和R与R了，并用K直接取代K。
透射电子显微镜的结构及成像
透射电子显微镜的结构及成像
913000730018鲁皓辰
一、实验目的
1）了解透射电子显微镜的基本结构；
2）熟悉透射电子显微镜的成像原理；
3）了解基本操作步骤。
二、实验内容
1）了解透射电子显微镜的结构；来自2）了解电子显微镜面板上各个按钮的位置与作用；
3）无试样时检测像散，如存在则进行消像散处理；
2）电子束的平移和倾斜装置
电镜中是靠电磁偏转器来实现电子束的平移和倾斜的。图3为电磁偏转器的工作原理图，电磁偏转器由上下两个偏置线圈组成，通过调节线圈电流的大小和方向可改变电子束偏转的程度和方向。
3）消像散器
像散是由于电磁透镜的磁场非旋转对称导致的，直接影响透镜的分辨率，为此，在透镜的上下极靴之间安装消像散器，就可基本消除像散。图4为电磁式消像散器的原理图及像散对电子束斑形状的影响。从图4b和4c可知未装消像散器时，电子束斑为椭圆形，加装消像散器后，电子束斑为圆形，基本上消除了聚光镜的像散对电子束的影响。
1）成像操作与衍射操作：
调整励磁电流即改变中间镜的焦距，从而改变中间镜物平面与物镜后焦面之间的相对位置。当中间镜的物平面与物镜的像平面重合时，投影屏上将出现微区组织的形貌像，这样的操作称为成像操作；当中间镜的物平面与物镜的后焦面重合时，投影屏上将出现所选区域的衍射花样，这样的操作称为衍射操作。

高分辨电镜（TEM）分析操作指南

高分辨电镜（TEM）分析操作指南JEM2100F操作注意事项：1.抽拔样品杆时置KV档，抽真空<2×10-5Pa才可以开beam阀。

2.抽拔样品杆1）先置KV档2）将样品杆归零（如果是双倾台，拔下Y线）3）抽拔样品杆到不能动位置向内旋置顶端再抽拔一次再旋置顶端4）真空开关调下，听到放气声再全部拔出。

3.关机时，降高压160KV，即Stand By.4.下班前烘液氮：插加热棒；调KV档;maintenance--ACD Bake---ACD heat: on 开机步骤1：如果开始的光斑不是一个，而是多个类似衍射斑点的话，需要先调整Z方向将光斑缩小成一个点。

步骤2：照明系统合轴2.1. 电子枪合轴：1.开电子枪，按下STD FOCUS，倍率x40k，spot 1，Alpha 3；2.Maintenace---Alignment：调出面板，选择Anode+Gun3.调节DEF/STIG X，Y，直到光斑同心收缩（所有按钮旁边的CRS按键：按亮为粗调，暗为细调）4.关掉Anode2.2 Spot1-spot5合轴（1-5和轴）：1.Maintenance-Alignment 选取DEF Selector-Gun，转动BRIGHTNESS，将光斑束缩小之后，将Spot size 调至1，以Shift X,Y 将光斑移到荧光屏中心2. Maintenance-Alignment 选择DEF Select-CLA (condenser lensaperture)，将Spot size 调到5，以Shift X,Y将光斑移到荧光屏中心。

3.重复上面两步，直到光斑不动，保持在中心为止。

2.3 聚光镜光阑校正：将光斑散开到与荧光屏相似大小，通过聚光镜光阑机械位置调节光斑位置到与荧光屏同心：调节Brightness，光斑能够同心收缩2.4 聚光镜消象散：1.顺时针调节Brightness，将光斑散开2.按下Cond STIG，调整DEF/STIG X,Y使光斑呈圆形。

TEM的结构原理及其操作使用

透射电镜的结构、原理、及操作
JEM-2100F场发射透射电子显微镜（FETEM）
Field Emission Transmission Electron Microscope
一、透射电镜的结构与工作原理
成像方式
(n通常为3~6）
衍射方式
二、透射电镜的用途

透射电镜是研究固态物质显微形貌、晶体结构和测量微小物体的尺寸和形状的仪器，广泛应用于高分子材料、纳米材料、金属材料、陶瓷、冶金、生物、医学、地质、半导体、仿生学等各个领域以及工农业生产中。通过透射电镜可以方便的观察到物质的微观结构、晶体的生长规律，检测各种材料的老化及其疲劳损害程度，分析各种材料中各种成分的分布规律及其各种元素间的比例关系。

明场像
离轴暗场像
中心暗场像

影响衍射强度的主要因素是晶体取向和结构振幅，主要是晶体对电子的衍射。由于晶体样品的复杂性和不完整性，样品衍射衬度也有多种表现形式，例如：

1）衍射明场像中两个晶粒一明一暗，说明前者不处于布拉格衍射条件位置，而后者处于布拉格衍射条件位置；
2）由于电子波长短，衍射角小，晶体中位错、层错、空位等的缺陷的存在，致使局部晶格发生畸变，改变了这些部位的衍射条件，正常的周期性遭到了破坏，使其与周围有不同的成像电子束强度而显示衬度； 3）基体中微区域元素的富集，使正常的晶面间距发生变化，也会改变局部区域的衍射条件，提供新的衬度； 4）两种不同的物相，组成不同，对电子散射本领不同，结构振幅不同，引起衬度差别； 5）电子衍射强度由于样品厚度的变化在像中会产生等厚条纹（同一条纹上的样品厚度相同）；而由于晶体的弯曲在像中会产生等倾条纹（同一条纹上晶体偏离矢量的数值相等）。通常衍射衬度明、暗场成像分析常与衍射方式中的选区电子衍射相结合来确定物相的显微形态、点阵类型和参数。

日本电子jem-2100高分辨透射电镜

附件：日本电子JEM-2100高分辨透射电镜/ JSM-7600F场发射扫描电镜简介JEM-2100高分辨透射电镜一、主要部件JEM-2100主机，ORIUS SC1000型CCD，牛津80mm2电制冷X射线能谱仪（EDS），双轴倾转样品杆二、主要指标电子枪：LaB6（六硼化镧）点分辨率：0.23 nm线分辨率：0.14 nm加速电压：80, 100, 120, 160, 200kV束斑尺寸： 1.0至25 nm放大倍数（高倍模式）：2000至1,500,000放大倍数（低倍模式）：50至6,000CCD分辨率：4008×2672 max.倾斜角：±35º采用MS Windows为基本操作界面，操作直观简便。

三．特色功能⏹除高分辨、电子衍射和能谱等基本功能外，该电镜还具备纳米束电子衍射（NBD）、汇聚束电子衍射（CBD）功能，适用于纳米晶体、多相合金、复合材料的衍射表征。

⏹配备扫描透射电镜（STEM）模式，可采集STEM明场像和暗场像，并配合能谱实现微区元素分析和元素分布图（Mapping）。

JSM-7600F场发射扫描电镜一、主要部件JSM-7600F场发射扫描电镜，牛津80mm2电制冷X射线能谱仪（EDS），背散射探头（BSE）二、主要指标电子枪：热场发射二次电子像分辨率： 1.5 nm（1 kV，GB 模式），1.0 nm（15 kV）放大倍数：25 至1,000,000×加速电压：0.1 至30 kV束流： 1 pA 到200 nA（15 kV时）数字图像：5120×3840 max.样品水平行程(X-Y)：140 mm×80 mm倾斜角度：-5 至+70°旋转角度：360°工作距离： 1.5 mm 至25 mm配备上方和低位SEI探测器、BSE探测器三．特色功能⏹Gentle Beam模式（即“减速模式”）可将电子束损伤降低到最低程度，适用于不导电样品表征。

学院公共平台场发射透射电镜管理模式的探讨

实验技术与管理第37卷第2期 2020年2月Experimental Technology and Management Vol.37 No.2 Feb. 2020ISSN 1002-4956 CN11-2034/TDOI: 10.16791/ki.sjg.2020.02.062学院公共平台场发射透射电镜管理模式的探讨马晓丽，李晓玲（上海交通大学材料科学与工程学院，上海 200240）摘要：上海交通大学材料学院检测分析中心配备的一台场发射透射电子显微镜，是材料组织分析、晶体结构和微区成分分析的重要工具，已运行了10年以上。

该文针对设备的运行现状，介绍了对场发射透射电镜从预约、培训到维护、故障处理的主要管理模式，以提供高效优质的检测分析服务，保障设备正常运转和提升使用效率。

关键词：透射电镜；仪器设备管理；公共平台中图分类号：G482 文献标识码：A 文章编号：1002-4956(2020)02-0257-04Exploration on management mode of field emission transmissionelectron microscope on college public platformMA Xiaoli, LI Xiaoling(School of Materials Science and Engineering, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China)Abstract: A field emission transmission electron microscope equipped by the testing and analysis center of the Materials School at Shanghai Jiaotong University is an important tool for material organization analysis, crystal structure and micro area composition analysis, which has been in operation for more than 10 years. According to the operation status of the equipment, this paper introduces the main management mode of the field emission transmission electron microscope from appointment, training to maintenance and troubleshooting so as to provide efficient and high-quality inspection and analysis services, guarantee the normal operation of the equipment and improve the utilization efficiency.Key words: transmission electron microscope, instrument and equipment management; public platform上海交通大学材料学院的检测分析中心是集教学、科研、服务为一体的公共服务平台，不仅承担着学校科研项目的分析测试研究任务，还承担着社会相关行业和研究机构的测试服务。

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1. LENS系统
• LENS系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见 “INSPECTION CERTIFICATE”,但是CL（聚光镜），OL （物镜），INT1（第一中间镜）参数在一定条件下可以改变的，但有一个范围。 • 其中Brightness改变CL3的值，在SA MAG和DIFF模式下 DIFF FOCUS改变INT1的值。
客户合轴
第四章. 特殊功能应用
• UFC功能应用 • ACD功能应用 • 中心点校正
1. UFC功能应用
1）UFC模式即客户功能存储模式，提供存储合轴数据。 2）这样可以根据具体情况存储感兴趣的合轴数据。建议：用指定的一项（以日期为名字）作为存储的空间，每周进行TEM模式合轴的存储，这样可以更好地使用此功能。
第二章. 高压系统
• • • • 高压READY条件灯丝READY条件 Beam Current解析偏压Bias解析
1. 高压READY条件
• 真空READY：SIP启动，并抽镜筒与电子枪的真空（即连通镜筒与电子枪的阀门V4要打开）且真空指示进入104Pa。但要求低于1X 10-4Pa时，才可以加高压。 • 电子枪的SF6气体压力不能低于0.28MPa(此处有压力检测开关) • 高压电缆处的位置检测开关应处于合并状态。
• ACD(Anti-Contamination Device)使用
由于往ACD装置里加液氮，故而在物镜的周围形成冷指环境，起到抗污染作用，且也是一个很好的低温吸附泵以提高镜筒真空度。 ACD加液氮过程.mpg使用时须注意以下几点。
1）液氮在容器里需要一定的稳定时间（小时级），由于液氮不稳定会造成振动，故做高分辨时要注意。 2）为节省液氮需要将ACD TANK的入口以及颈部和空气尽量隔开。 3）如果早上加液氮，中午休息前最好ACD TANK加满液氮，以防止下午工作因没有液氮系统真空出现异常。 4）实验结束后，必须把液氮烘干（Filament OFF,HT OFF,拔出样品杆，插入ACD 加热器，按下ACD键，此时离子泵OFF，扩散泵抽镜筒，待2个小时后ACD键熄灭，离子泵自动启动），以防止ACD TANK内因无液氮而温度升高，吸附的气体分子脱离冷指使离子泵负载过重而出现异常。
• 离子泵的氩不稳定性：溅射离子泵在排除氩等惰性气体原子时，真空系统内的压强会脉冲式上升，然后下降。 • 离子泵的寿命：由于离子轰击钛阴极板并且不断溅射，理论上钛板被溅射完毕时泵的寿命才算终结。但事实上因钛阴极溅射主要出现在对着阳极筒的中心区域，长期使用会出现这个区域穿孔，寿命就已完结。 • 离子泵烘烤：由于泵体暴露于大气及吸附大量的水汽，或长期使用后使泵体吸附气体分子增多影响泵的启动及抽速和极限压强。烘烤使泵体上易脱附的气体分子脱附（烘烤时通常把离子泵与前级泵相连，抽走脱附的气体分子），这样使得离子泵恢复青春。
2. 灯丝READY条件
• 高压READY,且高压ON • 样品杆插入测角台 • 照相室真空READY（照相室与镜筒的隔离阀V2为 OPEN） • LENS ON
3. BEAM CURRENT解析
• BEAM CURRENT=DARK CURRENT（暗电流）＋ EMISSION CURRENT（发射电流） • 暗电流是加上高压但未打开灯丝加热电流时的电流，一定程度反映出高压的稳定度，不同的高压对应不同的暗电流（参见出厂的参数INSPECTION CERTIFICATE）。一定的高压，暗电流过高或过低都是不正常的，直接反应出电子束不稳定。 • 发射电流为打开灯丝加热电流，并从灯丝处发射出电子形成的电流。通过调整偏压来获得发射量。（请不要随意调整灯丝加热电流限定位置，以防止加热过高导致灯丝损害）
3. 偏压BIAS解析
• 简单的说，BIAS的作用是抑制电子束的发射。 • 所以通过调整BIAS，就可以得到所要的发射量。对于JEM2100 BIAS的指示值越大，其BIAS的电压绝对值越小，抑制能力越差，电子束发射量越大。
第三章. 电子光学系统
• LENS系统 • 偏转(Deflection)系统
JEM-2100培训资料
第一篇透射电镜系统解析
系统解析分类
• • • • 真空系统高压系统电子光学系统特殊功能应用
第一章真空系统
• • • • • 机械泵解析扩散泵解析离子泵解析抽真空时序解析真空规解析
1. 机械泵解析
• 工作过程：吸气—压缩—排气。 • 机械泵油起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 • 机械泵不工作时，应使进气口处于大气状态，以防止返油。 • 由于极限压强较高，常用做前级泵(预抽泵)。
• PENING规（潘宁规）：
1). 根据潘宁放电(加上正交电磁场的磁约束放电)现象来检测真空的规计。 2). 潘宁放电现象：在正交电磁场下气体分子电离产生的离子质量远大于电子，故不受磁场的约束达到阴极消失且不引起空间电荷。放电电子受磁场的约束在阳极附近相当长的时间，在与气体分子不断碰撞并产生离子。 3). 故潘宁规通过测定放电电流来计算真空的。
• 开机 V17关闭 30秒后V13打开系统进入20分钟DP电炉加热到预定温度以及预抽RT (P5)的状态。 • 20分钟后系统进入自动抽真空，当P1,P2,P3,P4值从250到 170之间为RP预抽，进入170为DP预抽。 • 当PEG低于5X10-3Pa时SIP启动。 • 当P1,P2,P3,P4值低于35时，说明系统进入READY状态（高真空时PIRANI值设为25）
• JEM-2100的ACD按键
3.中心点校正
• 意为测角台X,Y轴的中心点校正。 • 由于在LOW MAG模式下，X,Y轴的驱动步长较大，所以建议在LOW MAG 模式下做测角台X,Y轴的中心点校正。 • X,Y轴最大行程为±1200左右，如果发现某一个方向的行程大于或小于最大行程太多，就出现Limit Over。说明测角台的中心点位置不对，需要进行中心点校正。 • 必须把样品杆放入测角台中,且把测角台归零位置才能进行X,Y轴中心点校正。
旋转机械泵剖面图
2. 扩散泵解析
• 工作过程：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 • 由于射流具有工作过程高流速(约 200米/秒)、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气体分子。 • 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强 (最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。
2. 偏转(Deflection)系统
• 偏转系统也叫合轴系统提供精确的照明条件和成像条件，它是根据LENS系统而设定的。基本上来说一种透镜对应两级偏转。对于日常使用，这里提供一份方便客户使用流程以供大家参考
日常使用
•
•
正确地进行合轴对于正常使用好电镜是尤为重要的。且要对合轴程序灵活应用，做到“对症下药”。参考客户合轴程序
• 进入Gonio
• Gonio对话框
建议：在离子泵真空差时进行烘烤，烘烤时间要大于2 天。
4. JEM-2100真空图
• PI1表示为镜筒的PIRANI规， PI2表示为电子枪的PIRAN 规，PI3表示为照相室的 PIRANI规，PI4表示为样品室的PIRANI规，PI5表示为预抽罐的PIRANI规。PEG表示为潘宁规 • RP表示旋转机械泵，RT表示预抽罐，DP表示扩散泵，P 表示溅射离子泵 • V1－－－V21表示阀门，除了 V17，其它阀门和绿芯为 OPEN状态，黑心为CLOSE状态。V17状态与其他相反。
1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器
3. 离子泵(溅射离子泵)解析
• 工作过程：气体分子电离－潘宁放电－离子轰击钛溅射－化学吸附及掩埋吸附分子 • 由于使气体分子电离并在阴极钛板上形成溅射并提供活性的钛金属进行1).化学吸附2).掩埋吸附在阳极筒吸附分子以及阴极的边角部分的惰性气体分子，故吸收气体分子。 • 离子泵一般采用扩散泵作为前级泵来提供10-3Pa的启动压强。且一旦进入正常工作压强，离子泵应与前级泵隔开。
5. 真空规解析
• PIRANI规（皮拉尼规）： 1). 它是利用热传导原理来工作的。 2). 把在常温下相同的电阻丝分别装在待测的 PIRANI管中，和用高真空密封的闭口管中。利用这两个电阻丝建立平衡电路。当待测体为高真空时，电路处于平衡状态，平衡电流设定为 25uA。当待测体为大气状态时，电路处于不平衡状态，平衡电流设定为250uA。 3). 所以PIRANI规存在两个工作点，有时我们要进行校正。（校正方法见第二篇）
3）2100系列的UFC功能使用比较简单。 • 打开Maintenance菜单下的Aligment对话框（如下图），进入Save to Alignment File…便可进行合轴数据存储。（Load Alignment Flie… 调出合轴数据）
• 存储的数目取决于硬盘的大小。
2. ACD功能应用
• JEM-2100中心点校正
1. 自动校正：在Gonio对话框中执行Auto Calibration。 2. 手动设定中心点 1）通过观察样品实际情况确认中心点 2）或通过最大行程值计算出中点位置 3）把样品移动所认为的中心点位置 4）更改Gonio对话框中X,Y的值为0，并点击Set按钮。这样测角台X,Y轴中心点位置就被校正。

JEM2100F 透射电镜系统解析

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