第八章 一些特殊的图
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第八章三元相图三元合金系(ternery system)中含有三个组元,因此三元相图是表示在恒压下以温度变量为纵轴,两个成分变量为横轴的三维空间图形。
由一系列空间区面及平面将三元图相分隔成许多相区。
第一节三元相图的基础知识三元相图的基本特点:(1) 完整的三元相图是三维的立体模型;(2) 三元系中可以发生四相平衡转变。
四相平衡区是恒温水平面;(3) 三元相图中有单相区、两相区、三相区和四相区。
除四相平衡区外,一、二、三相平衡区均占有一定空间,是变温转变。
一、三元相图成分表示方法三元相图成分通常用浓度(或成分)三角形(concentration/composition triangle)表示。
常用的成分三角形有等边成分三角形、等腰成分三角形或直角成分三角形。
(一) 等边成分三角形-图形1. 等边成分三角形图形在等边成分三角形中,三角形的三个顶点分别代表三个组元A、B、C,三角形的三个边的长度定为0~100%,分别表示三个二元系(A—B系、B—C系、C—A系)的成分坐标,则三角形内任一点都代表三元系的某一成分。
其成分确定方法如下:由浓度三角形所给定点S,分别向A、B、C顶点所对应的边BC、CA、AB 作平行线(sa、sb、sc),相交于三边的c、a、b点,则A、B、C组元的浓度为:WA = sc = Ca WB = sa= AbWC = sb= Bc•注:sa+ sb+ sc = 1 Ca + Ab+ Bc= 12. 等边成分三角形中特殊线(1) 平行等边成分三角形某一边的直线。
凡成分点位于该线上的各三元相,它们所含与此线对应顶角代表的组元的质量分数(浓度)均相等。
(2) 通过等边成分三角形某一顶点的直线位于该线上的所有三元系,所含另外两顶点所代表的的组元质量分数(浓度)比值为恒定值。
(二) 成分的其它表示法1.等腰成分三角形当三元系中某一组元B含量较少,而另外两组元(A、C)含量较多,合金点成分点必然落在先靠近成分三角形的某一边(如AC)附近的狭长地带内。
第八章基本光刻工艺流程-表面准备到曝光概述最重要的光刻工艺是在晶圆表面建立图形。
这一章是从解释基本光刻工艺十步法和讨论光刻胶的化学性质开始的。
我们会按照顺序来介绍前四步(表面准备到对准和曝光)的目的和执行方法。
目的完成本章后您将能够:1.勾画出基本的光刻工艺十步法制程的晶圆截面。
2.解释正胶和负胶对光的反应。
3.解释在晶圆表面建立空穴和凸起所需要的正确的光刻胶和掩膜版的极性。
4.列出基本光刻十步法每一步的主要工艺选项。
5.从目的4的列表中选出恰当的工艺来建立微米和亚微米的图形。
6.解释双重光刻,多层光刻胶工艺和平整化技术的工艺需求。
7.描述在小尺寸图形光刻过程中,防反射涂胶工艺和对比增强工艺的应用。
8.列出用于对准和曝光的光学方法和非光学方法。
9.比较每一种对准和曝光设备的优点。
介绍光刻工艺是一种用来去掉晶圆表面层上的所规定的特定区域的基本操作(图8.1)。
Photolithography是用来定义这个基本操作的术语。
还有其它术语为Photomasking, Masking, Oxide或者Metal Removal (OR,MR)和Microlithography。
光刻工艺是半导体工艺过程中非常重要的一道工序,它是用来在不同的器件和电路表面上建立图形(水平的)工艺过程。
这个工艺过程的目标有两个。
首先是在晶圆表面建立尽可能接近设计规则中所要求尺寸的图形。
这个目标被称为晶圆的分辨率(resolution)。
图形尺寸被称为电路的特征图形尺寸(feature size)或是图像尺寸(image size)。
第二个目标是在晶圆表面正确定位图形(称为Alignment或者Registration)。
整个电路图形必须被正确地定位于晶圆表面,电路图形上单独的每一部分之间的相对位置也必须是正确的(图8.2)。
请记住,最终的图形是用多个掩膜版按照特定的顺序在晶圆表面一层一层叠加建立起来的。
图形定位的的要求就好像是一幢建筑物每一层之间所要求的正确的对准。
离散数学选择题单项选择题第⼀章命题逻辑1.下列语句,哪⼀个是真命题:( B )A .我正在说谎B .如果1+1=0,那么雪是⿊的C .9+5>18D .存在最⼤的质数2.下⾯哪⼀个命题是假命题( A )A .如果2是偶数,那么⼀个公式的析取范式唯⼀B .如果2是偶数,那么⼀个公式的析取范式不唯⼀C .如果2是奇数,那么⼀个公式的析取范式唯⼀D .如果2是奇数,那么⼀个公式的析取范式不唯⼀3.下⾯哪个联结词运算不可交换( B )A .∧;B .→C .∨D .?4.设P :天下⼤⾬,Q :他乘公共汽车上班。
命题“只有天下⼤⾬,他才乘公共汽车上班”符号化为( B )A .P →QB .Q →PC .P ?QD . ?P →Q5.设P :天下钉⼦,Q :我去B 城。
命题“除⾮天下钉⼦,否则我去B 城”符号化为:( C )A .P → QB .Q → PC .?P → QD .Q →┐P6.设P :我们划船,Q :我们跳舞,命题“我们不能既划船⼜跳舞”符号化为( B )A .P V Q 2)┐(P ∧Q ) C .┐P ∧┐Q D .┐P ∧Q7.令P :今天下雪了,Q :路滑,则命题“虽然今天下雪了,但是路不滑”可符号化为( D )A .P →┐QB .P∨┐QC .P∧Q8.设P :我将去镇上,Q :我有时间,命题“我将去镇上,仅当我有时间”,符号化为( A )。
A .P → QB 、Q → PC 、P ?QD 、┐P∨┐Q9.下⾯哪⼀个命题公式是重⾔式( D )A .(P ∨R )∧(P → Q )B .P →(Q ∨R )C .(P ∨Q )?(Q ∨R )D .(P →(Q → R ))→(P → Q )→(P →R )10.下⾯哪⼀组命题公式不是等价的( C )A .(P →Q )∧(Q →P ),P ?QB . ?(P ?Q ),(P ∧┐Q )∨(┐P ∧Q )C .P →(Q ∨R ),┐P ∧(Q ∨R )D . P →(Q ∨R ),(P ∧┐Q )→ R11.下⾯哪个命题公式是重⾔式( B )A .(P → Q )∧(Q →P )B .(P ∧Q )→PC .(┐P ∨Q )∧┐(┐P ∧Q )D .(P →Q )→P12.下列公式哪⼀个是两个命题变元P ,Q 的⼩项( C )A .P∧┐P∧QB .┐P∨QC .┐P∧QD .┐P∨P∨Q13.⼀个公式在等价意义下,下⾯哪个写法是唯⼀的。