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台阶仪测试薄膜厚度试验

东南大学材料科学与工程

实验报告

学生姓名徐佳乐班级学号12011421 实验日期2014/9/3 批改教师

课程名称电子信息材料大型实验批改日期

实验名称台阶仪测试薄膜厚度试验报告成绩

一、实验目的

掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。

二、实验原理

LVDT是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化

在仪器内部的螺旋管线圈内造成磁通量的变化，再有内部电子电路转换成

电压信号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到

几百万分之一英寸到几英寸。

LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线圈

感应出两电压值，想比较后即可推算出移动量。

三、实验内容及步骤

1.开机步骤：

（1）检查并确保所有连线连接正常。

（2）释放紧急按钮（红色），按箭头指示方向旋转。

（3）开启PROFILER电源（白色，开启时会亮），并热机10分钟。

（4）打开计算机和显示器，并执行桌面程序Dektak Version 9 icon，等候读取大约30秒即可开启软件窗口。

2.放置样品：

（1）确认Z轴是升起来状态；若没有请按tower up。

（2）将平台拉出，样品放置平台中间处。

（3）将平台移入，粗调平台X-Y轴使样品置于针头之下。

（4）按下tower down下针，针头碰触到样品后会立即回弹上来一小段，此时再微调平台X-Y轴把待测区域移到枕头下。

3.参数设置：

（1）按Switch To Scan Routines Window

（2）再点选Scan Parameters 任一个参数去设定。

（3）设置扫描参数：

（a）Length——扫描长度，范围50um到50mm

（b）Duration——扫描时间，建议500um至少10秒，以此类推

（c）Measurement Range——测量深度范围，按样品厚度选取

（d）Profile——选取合适的样品表面轮廓：

1.Hills（测量凸起的台阶）

2.Valleys（测量凹陷的台阶）

3.Hills and Valleys（有凹有凸），默认使用

（4）按下Run Scan Routine Here icon即开始测量

4.扫描结果分析：

（1）扫描完成后可将图形做LEVEL，移动R和M Cursor到要level 的位置，点选或者F7即可。

（2）移动R和M Cursor到要测量的Step Height的位置，按下F12即可得到ASH的值。

5.数据保存：

（1）存图片——在图片上按鼠标右键——Save as image，存为.jpg （2）保存原始数据——file——Save as，另存为.data

（3）按Export icon——存为.csv，为记事本形式

四、实验内容

1．实验步骤

（1）放置样品：先取出样品，并用丙酮轻轻擦拭硅片表面，然后将硅片放在测试台上。

（2）调整样品：将探针下移直至刚好碰到硅片，然后针头会立即回弹上来一小段。此时可以微调硅片，将待测区域移动到探针下

方，并且旋转硅片，将台阶垂直于针头移动方向。

（3）测试厚度：设置好参数后就可以开始测试。待测试结束获得一段曲线，先将R和M移到曲线两头并按level。然后将R和M

移到第一段斜线的两头并按level。最后就可以测膜厚，将R

和M选取曲线突变的地方和曲线最高点，这样就可读取膜厚。

2．实验中出现的问题及解决方法

（1）调整硅片较困难：在放置硅片时，尽量将被测区域放置在探针下方，这样不用大范围移动。

（2）选取曲线最高点时不够准确：辨认真假最高点，有小突变的地

方不是最高点，而是膜表面掉落的杂质或是膜不均匀导致。要

选取连续的最高点。

3．Si基底上沉积金属Cr薄膜的厚度的测量

样品1

镀膜时间：10min 厚度：469.25nm

样品2

镀膜时间：15min 厚度：975.25nm

样品3

镀膜时间：20min 厚度：1230.90nm

五、思考题

1．对于用台阶仪对非完美薄膜的厚度测量，Step Hight的M和R Cursor 点的选择？

答：在第一次level时还是选取整个曲线，第二次选取第一段斜线中线性较好的部分去掉两端线性不好的部分，然后level。最后测量薄膜厚度还是之前那个选取方法。

2.怎么样才能得到一个比较Shape的台阶？

答：尽量选取膜表面均匀且没有杂质的微区，并且让台阶能够垂直于探针移动的方向，这样测得的曲线的台阶很明显，可以准确测得膜厚。

椭偏仪测量薄膜厚度与折射率

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，能够更加迅速和精确地测量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切。在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数，如布儒斯特角法测介质膜的折射率，干涉法测膜。另外，还有称重法、X 射线法、电容法、椭偏法等等。其中，椭圆偏振测量（椭偏术）是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法，其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。因为椭偏法具有测量精度高，灵敏度高，非破坏性等优点，已广泛用于各种薄膜的光学参数测量，如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃（或镀膜）、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等，也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。实验目的了解椭圆偏振测量的基本原理，并掌握一些偏振光学实验技术。实验原理光是一种电磁波，是横波。电场强度E 、磁场强度H 和光的传播方向构成一个右旋的正交三矢族。光矢量存在着各种方位值。与光的强度、频率、位相等参量一样，偏振态也是光的基本量之一。在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常，设介质层为n 1、n 2、n 3，φ1为入射角，那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉。这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差，其中222cos /dn δπφλ=，用r 1p 、 r 1s 表示光线的p 分量、s 分量在界面1、2间的反射系数，用r 2p 、r 2s 表示光线的p 分量、s 分量在界面2、3间的反射系数。由多光束干涉的复振幅计算可知： 2122121i p p rp ip i p p r r e E E r r e ?δ --+= + (1) 2122121i s s rs is i s s r r e E E r r e ? δ --+=+ (2) 其中E ip 和E is 分别代表入射光波电矢量的p 分量和s 分量，E rp 和E rs 分别代表反射光波电矢量的p 分量和s 分量。现将上述E ip 、E is 、E rp 、E rs 四个量写成一个量G ，即：

湿膜厚度计

OUPU 湿膜厚度计使用说明书

基本概述湿膜厚度计又叫湿膜计、湿膜测厚计、湿膜测厚规、湿膜测试仪、湿膜检测仪、湿膜厚度测量仪、湿膜测厚仪厂家、湿膜测厚仪价格、梳式湿膜测厚仪、湿油漆测厚仪、湿涂层如何检测、湿膜卡、湿膜片、湿膜厚度卡具有测量误差小、可靠性高、稳定性好、操作简便等特点，是控制和保证产品质量必不可少的检测仪器，广泛地应用在制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。

欧谱梳式湿膜厚度规是测量色漆、清漆等各种涂料湿膜涂刷厚度的测量工具，数值以微米(m m)表示。湿膜厚度规适用于平整的基板上，测量精度高。本厚度量程为10～100m m、20～200m m、250～700m m、50～750m m、50～950m m、25～2000m m、25～3000m m七种规格供选择，以适应不同行业的需要。使用方法：各种涂料施工后，立即将湿膜厚度规稳定垂直的放在平整的湿膜涂层表面，将湿膜厚度规从湿膜中移出，即可测得湿膜涂层的厚度。湿膜厚度应是在被湿膜浸润的那个最短的齿及邻近那个没有被浸到的齿之间。以同样方式在不同的位置再测取两次，以得到一定范围内的代表性结果。使用完毕后，将湿膜厚度规洗净、揩干。

感谢以下网站对本资料的大力支持：测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 超声波测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钢板测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 金属测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 管道测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钢管测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 厚度测量仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 超声测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 高温测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 壁厚测量仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 超声波测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 膜厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 涂层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 涂层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 镀层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 油漆测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 油漆测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 漆膜测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 锌层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 防腐层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 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洛氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 金属硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度测试仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 布氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 布氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 肖氏硬度计 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 铸件硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钢板硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 铝合金硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 邵氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 橡胶硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 橡胶硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 电火花检测仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 电火花检测仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 电火花检漏仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 防腐层检测仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 防腐层检漏仪 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 表面粗糙度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 粗糙度测量仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 粗糙度测试仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 喷砂粗糙度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 光洁度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 便携式粗糙度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 粗糙度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 粗糙度检测仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 附着力测试仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 漆膜划格器https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 百格刀测试https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 百格刀 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, LED观片灯https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 黑白密度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 光泽度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 工业观片灯https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 黑度仪 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 黑度计 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 无损检测 https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 无损检测仪器https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 无损123https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 网站目录https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 达高特https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 达高特测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, MX3测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, PX7测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 狄夫斯高https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数字式粘度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 油漆粘度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 粘度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 无损检测https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 百格刀https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 笔式硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 透光率仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度测量仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 台式硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 林格曼黑度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 显微硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 维氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钳式硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 镀层硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 漆膜硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 涂层硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 玻璃钢硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 塑料硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钢材硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 光泽度测试仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 油漆光泽度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 便携式布氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 便携式洛氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度块https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 硬度计试块https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国硬度计网https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国测厚仪网https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国探伤仪网https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国粘度计网https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国粗糙度仪网https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 中国涂层测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, EPK测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, minitest测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, Positest附着力https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, positector测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, Dm5e测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, Mikrotest测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 电火花测漏仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 手持式粗糙度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 超声波检测仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显邵氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显巴氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显韦氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显布氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显洛氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 数显里氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 便携式里氏硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 尼克斯https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 旋转粘度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 分类目录https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 石墨硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 邵氏橡胶硬度计https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 铸铁测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 湿膜厚度规https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 钢结构测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 薄膜测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 铸件探伤仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 容器探伤仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 管道探伤仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 涂层厚度仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 涂料测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 镀铬测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, reseto测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html, 镀镍测厚仪https://www.doczj.com/doc/f97909541.html,

湿膜厚度测试仪

OUPU 湿膜厚度测试仪使用说明书

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湿膜测厚卡

OUPU 湿膜测厚卡使用说明书

基本概述湿膜测厚卡又叫湿膜测厚卡片、不锈钢湿膜测厚卡、PG3501湿膜卡、PG3507湿膜测厚卡、湿膜测厚规、湿膜测试仪、湿膜检测仪、湿膜厚度测量仪、湿膜测厚卡厂家、湿膜测厚卡价格、梳式湿膜测厚仪、湿油漆测厚仪、湿涂层如何检测、湿膜卡、湿膜片、湿膜厚度卡具有测量误差小、可靠性高、稳定性好、操作简便等特点，是控制和保证产品质量必不可少的检测仪器，广泛地应用在制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。