目录
1.0 无尘车间管理的目的
2.0 无尘车间管理的原则
3.0 适用范围
4.0 术语
5.0 管理程序
5.1 无尘室施工管理制度
5.2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准
5.3 无尘室人员管理制度
5.4 无尘室洁净服管理制度
5.5 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5.6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理
5.7 无尘室洁净室安全管理
6.0 版本更改记录
1.0 无尘车间管理的目的
半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2.0 无尘车间管理的原则
2.1 进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
2.2 操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
2.3 严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
2.4 清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
2.5 洁净室环境控制的内容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3.0 适用范围
半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
4.0 术语
洁净生产区是洁净厂房的主要部分,对洁净级别有明确规定的区域。
洁净辅助间是洁净厂房不可缺少的必备房间。洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切,对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要。
管理区是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。
设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房,是洁净厂房的重要组成部分。
5.0 管理程序
5.1 无尘车间洁净室施工管理制度
5.1.1 背景
5.1.1.1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
5.1.1.2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。5.1.1.3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
5.1.2 责任与义务
5.1.2.1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序,并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。
5.1.2.2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查,并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品,例如:鞋套,毛巾,垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。
5.1.2.3 承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训,并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
5.1.2.4 开始阶段,承包商应在每个入口处安排人员(除非半导体公司在该入口处安排有人员)以确保本规则和程序的执行。
5.1.2.5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
5.1.3 草案细则
洁净室草案分为三部分,每一部分对应施工的一个过程。施工接近完工阶段,不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。
5.1.3.1第一部分
"第一部分主要针对直到主要施工完成后。包括屋顶,覆层,门和窗户。所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必须保持鞋子干净。不允许穿奇特的服装,工人的衣服应该保持适当的干净。现场安全规则必须时刻遵守。
所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场,并且保持干净,不允许有碎片掉下。"
施工现场内不允许吃东西,吸烟,喝酒。"
"每班结束时,必须清走所有垃圾和废旧物品。总之,整个施工现场每天必须保持干净。
5.1.3.2第二部分
"第二部分主要针对直到gridline B西边洁净区域的内墙完成。此时,只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。其他供应商如果要进入洁净区域,必须提前向承包商提出申请,得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。
gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。?
gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。?
"其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。进如洁净区域之前,材料和设备不允许有脏物或由掉下,并且应该用干净的干布擦拭干净。
"任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。这包括砂纸打磨,碾,开凿,演练,焊接,切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能的方法预防污染。
装好的地板必须用PVC板包装保护。"
第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。"
第二部分草案执行期间,洁净区域必须每天吸尘。"
5.1.3.3 第三部分
第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。"
"进入的工人穿鞋套和工作服。
所有进入洁净区域的材料,工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。"
"在第三部分草案执行期间,洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。
5.1.4 洁净安装
必须采取洁净措施保持安装洁净。"
"各类部件如节气闸,扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。
"洁净安装过程中,必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度,对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。5.1.5 最后洁净
"洁净区域的所有安装完成后,要进行最后洁净。洁净要用IPA和水的混合物擦拭。先洁净天花板,然后是墙壁,墙壁应从上到下,最后是地面。
"最后洁净完成后,gridline B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。
"最后洁净完成后,任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。
5.1.6 设备、物品进入洁净室规定
5.2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准
5.2.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求,必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。
5.2.2 检测测试设备:激光粒子记数器
5.2.3 检测周期:每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测
5.2.4 检测条件:静态洁净度测试
5.2.5 数据收集整理:将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存,并在每个季度末(或下季度初)给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
5.2.6 各洁净区域洁净级别标准:按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
区域、系统名称洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别
K-1系统划片区域
静态1万级
K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系统包封区域静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-3系统搪锡区域静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-4系统测试区域静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
K-8系统电镀区域静态30万级 CLASS 8.3 CLASS 8.3
现有其他空调系统舒适性空调系统,无洁净要求 Not Applicable Not Applicable
5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等(包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护,如,空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等)执行威世半导体(西安)有限公司厂务部相关SOP文件。
5.2.8 参考文件
FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规范制度》"
FSD-SOP-4-1 《AHU系统操作指导书》"
FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》"
FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》"
" FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》
FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》"
" FSD-SOP-07 《设备维护保养流程》
FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》"
" FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》
FSD-SOP-13 《市政动力能源中断紧急应变计划》"
" FSD-SOP-20 《厂务核心机组应急切换操作指导书》
ATD1210C 《能源管理标准》"
" JVP1301C 《公共设施管理规定》
5.3 洁净室人员管理制度
5.3.1 洁净室的人员管理包括:制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
5.3.2 人员净化与进入
5.3.2.1 在洁净厂房内众多的污染源中,人是主要污染源之一,尤其是工作人员在洁净环境中的活动,会明显地增加洁净环境的污染程度。
5.3.2.2 对于高级别洁净区域,应严格控制进入人员数量,并规范进行二次更衣。
5.3.2.3 要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命,对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。
5.3.2.4 为保持洁净室空气洁净度,应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。所有进人洁净室的人员必须严格地按规定程序进行人身净化。
5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里,去掉化妆,换上指定的服装,按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣,放在规定的衣柜内。
5.3.2.6 进入脱衣室,在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内,禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。
5.3.2.7 若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域(指高于ISO Class7级别)进入前,需要设置盟洗室用洗手器洗手(先用洁净洗涤剂洗涤,再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干)。
5.3.2.8 凡是交叉污染的媒介,要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按规定戴手套和指套。5.3.3 洁净室工作人员须知
5.3.3.1 进入洁净室的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序,任何人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。
5.3.3.2 进入洁净级别1万级以及高于万级的洁净区域,必须至少经过二次更衣。可先从一次更衣室进入,进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子(或洁净头套)后,经过走廊进入二次更衣室,进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子,确认更换完毕后,进入风淋室进行风淋后,才能进入万级以及高于万级的洁净区域。
5.3.3.3 严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只允许人员出到洁净间外以及发生紧急情况时的进出。
5.3.3.3.1风淋室使用须知
A. 风淋室是工作人员进入净化区域前进行人身净化的专用设备,它能将人体表面吸附着的尘埃用高速气流吹去,使工作人员不带污染源进入净化区域,并能使净化区域与非净化区域起到气闸作用。
B. 风淋室设定和状态:风淋室在投入使用前必须完成调试和设定,使之保持自动风淋状态。
C. 风淋室使用
?使用者无需按任何键即可开门进入风淋室内,人数每次限定三人,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度, 等待风机停止工作以后蜂鸣响,内门开锁,用户出风淋室。
按“照明开”键即可打开室内照明灯。?
风淋室的微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处于上次操作的最后设定状态。?
禁止一线使用者对设备的数值设定进行更改,数据更改必须由专业的管理人员进行。?
禁止使用者野蛮对风淋室的门(红外电控锁)强行推拉而损坏设备。?
风淋设备若因使用不当而损坏,使用部门应据实反映损坏原因,并立即报修。?
?一线员工在使用过程中发现状态异常,应立即通知主管部门进行处理;并停止使用风淋室。
D. 风淋室正常/异常状态的界定:
1. 风淋室正常初始化自检:打开电源操作面板LED数码显示时间点亮,同时电脑控制器做一次检测,二门是否关闭,有门开着则等待关门,如果二门都关闭则自动进入正常工作状态。
2. 正常工作状态
如果系统处于不工作状态:按电源开关键使系统处于工作状态,LED被点亮。?
?按照明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭,人员可根据需要循环选择。
系统处于正常等待工作状态时,风淋室的两扇门处于关闭未锁状态。?
3. 异常状态:喷嘴出现微弱风速、门不能正常关闭或开启、电源操作面板无显示。
5.3.3.3 .2 进出风淋室流程机理:
?进入:当外门(红外电控锁)被打开时,内门(红外电控锁)自动闭锁。如果用户进入风淋室,经过红外探头,风机将自动工作一定时间,此时内外门均闭锁,风机停止工作以后蜂鸣响,内门开锁,用户出风淋室。开门、关门整个过程结束。
退出:当内门被打开时外门自动闭锁,用户关门后,则内外门均开锁,用户可以从任意门出风淋室。开门、关门,整个过程结束。?
5.3.3.4 作业人员在洁净室内工作时,动作要轻。严格执行操作规程,不允许跑跳、打闹及喊叫,不作不必要的动作,不作易发尘和大幅度的动作。
5.3.3.5 作业人员在洁净室内工作时,尽量避免人员聚集现象。若个别工位无特殊协作需求,其他工位员工禁止聚集、围观与自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。
5.3.3.6 为不干扰气流,在作业区上游侧不应放物品,生产操作一般应在洁净工作台或气流的上游进行。
5.3.3.7 不允许将与生产无关和容易产尘的物品带入洁净室,严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。
5.3.3.8 患有以下几种疾病的员工是不宜进入洁净室的:呼吸系统疾病(如严重的感冒咳嗽等,患者除了会传播病菌、病毒外,还会因咳嗽而产生大量的污浊颗粒混入洁净的空气中)、皮肤疾病(如明显脱皮、掉皮屑的皮炎等);针对上述情形若采取了可靠的额外人净措施时是可以进入洁净室的。
5.3.4 洁净室人员退出时应注意的事项
5.3.4.1 为了防止再次进入和往返作业对洁净室造成交叉污染按规定的顺序退出洁净室。
5.3.4.2 洁净室人员在作业中途和作业完毕在退出到更衣区之前不得脱掉洁净工作服,进入更衣室先脱洁净室用鞋,放在规定的场所。
5.3.4.3 必要时脱鞋前洗手,脱鞋后再摘掉帽子,放在规定处。
5.3.4.4 脱洁净工作服时不要触及地板、桌子和其他物品,对于洁净服一般由下至上脱(由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩),用衣架挂在规定的处所。
5.3.4.5 脱去洁净工作服以后,若需再进洁净室时,仍需按进入洁净室的顺序进行人净。
5.3.4.6 退出10K及其以下级别洁净室时不需要经过空气吹淋。直接走旁通门退出10K洁净室是允许的。
5.3.4.7 不能穿洁净工作服上厕所及进入动力设备间、仓库等非洁净区域。
5.4.洁净服管理制度
洁净服的管理包括:洁净服采购和制作(含材料选择)、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。
5.4.1 洁净服采购和制作
5.4.1.1 洁净服必须选用由专业厂家制作的合格产品。
5.4.1.2 洁净服必须满足工艺对洁净/防静电等的全部要求。
5.4.2 洁净工作服使用管理基本原则
5.4.2.1 人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服,若洁净工作服尚未开封,需仔细切开包
装拿出服装,不沾带包装料碎屑。
5.4.2.2 穿衣时,不要使衣服触及地板、桌子、椅子等物品,不要沾污袖子和裤腿下摆,姿势要保持直立,按从上至下顺序穿衣[戴帽→穿衣(分体洁净服先上衣后裤子)→穿鞋],必要时须设置专用的穿衣台。
5.4.2.3 戴兜帽和帽子时要把头发全部遮住,头部紧紧地包在兜帽内。
5.4.2.4 若不穿洁净鞋而采取代用鞋套的临时措施,穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。
5.4.2.5 在不违反洁服使用管理基本原则前提下,生产线可细化出实用的和可操作性强的具体规定。
5.4.3 洁净服的清洗规定
5.4.3.1 洁净服的清洗若采取外协形式,清洗公司应选取经考察合格的专业清洗公司。
5.4.3.2 洁净服的清洗液不得对洁净服的性能有影响;洁净服的面料清洗后不允许有脱丝、掉渣。
5.4.3.3 清洗后的衣物防静电织物性能不应被破坏,若被破坏,应及时报废或降级使用,降级使用应有明显标记且禁止在有防静电要求的区域内使用。
5.4.3.4 清洗完成的洁净服应进行可靠包装后运送及存放,避免与外界的交叉污染。
5.5 洁净室物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5.5.1 物流管理包括:进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、废弃物管理制度等。
5.5.1.1 为防止污染物带入洁净室(区),所有送入洁净室(区)的各种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净,有效地清除外表面的微粒。
5.5.1.2 在洁净厂房内根据空气洁净度等级、产品生产的要求设置必要的物料净化设施,包括外包装清理室,气闸室或传递窗(柜)等。
5.5.1.3 物料在外包装清理室拆除外包装、装入洁净容器内或当外包装不能拆除时,对其擦拭清除尘土或采用其他清除污染物的方式对设备、容器工具进行清洁处理,并使清理前后的物料以一定标志予以区别。
5.5.1.4 洁净区域的专用周转小车、周转盒必须有清晰的标志,与非洁净周转小车有明显的区分标识,禁止混用。
5.5.1.5 对清理外包装后的物料应经过气闸室或传递窗(柜)才能进入洁净室(区),气闸室或传递窗(柜)的作用与人员净化用气闸室相似,用于保持洁净室的空气洁净度和洁净室内必须的压力。
5.5.1.6 传递窗(柜)应满足如下要求。两侧门上设窗,能看见内部和两侧;确保两侧门不能同时开启(可通过两侧门上设连锁装置或通过严格管理来实现);传递窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量,气密性好并有必要的强度;根据用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。
5.5.2 洁净室内设备及工器具管理包括:设备及工器具的搬入管理,清扫和清洁规定,设备及工器具的退出管理等。
5.5.2.1 工艺设备进入洁净区域前,应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备搬入可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备搬入。
5.5.2.2 隔离防护的设施必须确保严密可靠,能够有效控制污染物的扩散,并注意监控其完好状态,若有破损,及时修补使严密完好。
5.5.2.3 设备进入洁净区域前,必须先在缓冲区(或缓冲地带)进行彻底的清洁和擦拭。
5.5.2.4 在进行设备、材料搬运的过程中,要严格进行洁净控制,设备进车间前注意在洁净缓冲区(或临时缓冲走廊)的相关清洁工作。尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外,如此经过交叉污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入洁净室,会造成洁净室交叉污染。
5.5.2.5 在设备、材料搬运期间应尽可能避免让步接受可能出现的环境扰动,对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散,尤其是交叉污染的现象,否则会有高效过滤器(HEPA)的污染损失,以及额外的洁净清理费用。
5.5.2.6 如下图所示,在洁净室批准入口处设置洁净缓冲/管制间,任何进入洁净室内的物品必须经过缓冲间。
5.5.2.7 物品进入洁净室的流程。
室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内
首先,室外、缓冲间(或临时缓冲走廊)、洁净室内各有一支搬运组(共三组)候命,这三组人员根据各自的环境身着不同的服装:室外身着普通工作服,缓冲间内身着清洁的服装并穿戴鞋套,洁净室内身着完整的洁净服,带有口罩和手套等,这三组人互不能进入其它人的工作区域。?
当有设备、物品需要运输时,首先室外组人员对物品进行预清洁,然后打开缓冲间室外侧的门(或设备预留进出外门),将物品传入缓冲区。必须保证,在打开缓冲间室外侧门(或设备预留进出外门)时,洁净室侧的门处于关闭状态。?
缓冲区(或临时缓冲走廊)的那组人员对物品进行最终的清洁,并用干净的洁净布检测合格后,打开洁净室侧的门,将物品传入洁净室内。如此才规范的完成了物品传送和清洁的过程。?
5.5.2.8 设备搬入完成并就位后,立即清理设备区域的杂物、拆除隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备搬入区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。
5.5.2.9 拆除隔离防护措施应注意控制避免交叉污染,恢复活动洁净围护板应保证围护结构的密闭性,密封压条要保证有效密封,胶密缝应恢复严密平整。
5.5.2.10 小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。
5.5.2.11 大型工器具搬入管理可参照工艺设备搬入管理要求执行。
5.5.2.12 设备本身的清扫和清洁由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行,但其可靠性必须满足洁净要求。
5.5.2.13 设备和大型工器具的退出与搬入管理类似,也应事先明确运输路线,清除设备运输通道上的障碍物,包括对活动洁净围护板的拆卸,并作好隔离防护措施,尽可能避免破坏洁净区域的环境;若设备退出可能对生产造成污染,应提前安排局部停产配合设备退出。
5.5.2.14 设备和大型工器具退出后,立即清理设备区域的杂物、拆除临时隔离防护措施、恢复活动洁净围护板,并对设备退出区域及附近区域进行彻底的清扫和清洁,使满足洁净。
5.6 洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度
5.6.1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表:
5.6.1-(A)洁净车间清洁操作程序
工具吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、
防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布
耗材防静电去尘剂、防静电清洁剂。
清洁
部位 1、车间墙;
2、门窗、文件柜、地面
具体操作方法
1、用伸缩杆配合去尘布,自上而下,进行墙体清洁,对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦,用去尘布揩拭干净。
2、用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面(如柜子的上方)。
3、墙面清洁完毕后,用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘,吸尘器应置车间的走廊上,软管进车间,吸尘扒头应从左到右,先远后近的区域进行吸尘,吸尘的区域不能有间隔,以免漏吸(换鞋套)。
4、吸尘完毕后,用尘推按照吸尘的操作方法进行,局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂,用湿去尘布清洁,然后用干防静电去尘布揩干。
5、门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。
6、整理工具,定期将吸尘器尘袋更换(地点:车间外)。
7、车间内须回收的废料放置在防静电车上,从车间西门运至成品库门口(通知外围保洁员接应),并分类集中至成品库内。
8、车间垃圾具体清理程序见后附文件。
备注以上所用工具及耗材均应符合威世公司要求规定。
5.6.1-(B)洁净车间走廊操作程序
工具防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头
耗材防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂
清洁
部位 1、墙面;2、门窗;3、消防设施;4、地面
具体操作方法
1、A)用伸缩杆配合去尘布,自上而下,由左向右,进行墙体清洁,对污染较重的局部用纯防静电清洁剂,用去尘布揩拭干净。
B)用伸缩杆不方便的局部,应用梯子按同上的操作方法清洁墙面;对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。
2、用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下,由左至右进行清理。
3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净,整理好消防设备并检查有无损坏,完好后把门关闭;
4、用防静电尘推由一侧,依次推尘清洁。
打蜡程序用起蜡水先行起蜡,用吸水机吸净残蜡,用清洁拖布脱水后拖净地面,等地面彻底风干,再打防静电地板蜡(具体方法和步骤详见5.6.2条)。
备注以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标志牌,且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。
5.6.2 地面打蜡的方法和程序
5.6.2.1 需要准备的机器和工具、清洁剂:
洗地机;吸尘吸水机;抛光机;大面积作业需配备自动洗地机?
?拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推
?除蜡剂、中性多功能清洁剂
除蜡垫(黑色)、清洁垫(红色、白色)、抛光垫(白色)?
5.6.2.2 如果地面已经打过蜡,且蜡面已失去光泽或者已经磨损出现斑驳和脱落,在打蜡前就需要对洁净室地面先进行除蜡。
除蜡的方法及流程如下:
用拖把将除蜡剂均匀涂在蜡的表面,作用5分钟后看到乳白色泡沫越来越多,就可以用装有除蜡垫的洗地机清洗地面→用洗地机清洗地面直至看不到蜡层,如果蜡层较厚,一次可能除不干净,需要再用除蜡剂除第二次,用吸水机将水吸干→用拖把和清水将地面拖试干净,一定要多拖拭几遍,确保地面不再含有除蜡剂的残液,以免影响重新打蜡的效果5.6.2.3 如果地面没有打过蜡,可直接用兑有多功能清洁剂的溶液(按1:40的比例添加),用装有洗地垫的洗地机清洗地面,然后将地面拖拭干净,待地面完全干燥后开始打蜡。
5.6.2.4 打蜡的程序
准备:
将适量的封地蜡倒入拖把扭干器中,将蜡拖用水湿润并扭干。→按照由边向内由里而外的原则,让蜡拖按∞形运行,注意蜡拖每次沾蜡不可太多也不可太少,均匀涂抹,不要漏抹。→ 30分钟后确认安全干燥后再按同样的做法打面蜡2遍。干燥的标准:不沾手,不粘脚。→完全干燥后可进入抛光的程序:应选择转速1500转以上的抛光机和20#白色抛光垫进行抛光,抛光时要慢慢运行,抛光后此时的亮度没有达到最亮,24小时后再做一次抛光其亮度可达到90。
5.6.3 洁净车间垃圾清理程序
5.6.3.1 保洁人员在外运洁净区内的垃圾前,通知保安人员,在保安人员的监督下实施将洁净区内的垃圾外运的操作。5.6.3.2 车间内的保洁员从车间内把装有废料的垃圾桶放置专用防静电车,从车间西门运至原材料库门口。5.6.3.3 将废料倾倒至原材料库门口的临时垃圾站的垃圾桶内。
5.6.3.4 通知外围保洁员接应。(注:每天早上8点清倒一次,下午4点清倒一次)
5.6.3.5 外围保洁员将车间内的垃圾桶拉出原材料库内侧门,将垃圾清倒入已准备好的周转垃圾桶内。5.6.3.6 车间内的垃圾桶重新进入车间内,必须清洁干净后(包括垃圾桶底部车轮),再放回指定位置。5.6.3.7 外围保洁员把周转垃圾桶运至车间外的垃圾站进行清理。
5.6.3.8 洁净车间垃圾清理注意事项
&需倾倒垃圾时,原材料库内门与外门不能同时打开。
外围人员不能进入车间,车间人员不能走出室外。&
&车子不能里外穿行,只能倒运车箱。
5.6.4 洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度参考文件:
负责清洁服务的部门,应根据公司实际情况制定清洁服务计划,明确具体的清洁内容、周期、频次以及对应质量标准。本文件未作细节描述处,可执行文件《FSD-SOP-19 清洁服务内容及质量标准》及《FSD-SOP-21 清洁工作化学用品管理规定》要求。
5.7 洁净室洁净室安全管理
洁净室安全管理,已经包括在《FSD-SOP-8-2 消防火警处理规程》内,需要严格执行。
6.0 版本更改记录
无尘车间管理规定 无尘车间管理规定 1、目的:制定无尘车间作业环境的监控和测量通用指示,使无尘车间的作业环境处于受控状态,从而保证产品的质量。 2、范围:ATC亚通光电的所有无尘车间的作业环境监控和测量。 3、定义:无 4、职责:品保部IPQC负责无尘车间所有管理规定的监控。 5、工作程序: 5.1无尘车间管理规定——温湿度管理: 5.1.1温湿度规格: 5.1.1.1ATC亚通公司万级无尘车间的温湿度控制范围为23℃±5℃,湿度控制范围为65%±15%。 5.1.2测量方法: 5.1.2.1测试时温湿度的探头要求离地面≥1.2m,温湿度仪测试显示值要基本稳定时才能读取数据。 5.1.3测试频率: 5.1.3.1作业部门分白/晚班各2次: 5.1.3.2白班10:00及15:00左右进行测试,晚班22:00及3:00左右进行测试: 5.1.4管理方法: 5.1.4.1各温湿度记录担当者按规定时间测试温湿度并填写《温湿度记录表》。如果温湿度值超过规定值范围之外时,立即通知生产主管停止产线作业,并联络设备管理人员立刻进行改善,并将做出当温湿度值达到控制的范围后方可再恢复生产: 5.1.4.2同时发《IPQC不良改善通知书》要求相关部门拟对策,并追踪有效性: 5.1.4.3温湿度表格每月一张,由现场QC负责更换表格,现场QC在每月交换记录表表格的同时,核对当月内有无异常情况,以及管理是否是正常进行; 5.1.5注意事项:非空调状态禁止生产; 5.1.6附《背光源车间无尘度、温湿度监测点示意图》。 5.2无尘车间管理规定——微尘粒子管理 5.2.1微尘粒子规格:目前我们公司使用的无尘车间等级为万级无尘车间; 5.2.2测试仪器及方法: 5.2.2.1测试仪使用灰尘粒子计数器; 5.2.2.2使用方法参见《灰尘粒子计数器使用说明》; 5.2.3测试频率: 5.2.3.1无尘度测试分日测试和月测试,日测试作业部门白/晚班需各测试2次; 5.2.3.2白班10:00及13:00左右进行测试;晚班22:00及3:00左右进行测试; 5.2.3.3月测试频率具体测试时间为每月15号左右,开线生产后随机抽测; 5.2.4管理方法:
1.0目的: 为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2.0范围: 适用于生产车间作业员及相关人员 3.0职责/权限: 3.1生产:负责无尘车间5S的执行与监督; 3.2品质:负责检查与稽核5S; 3.3工程:负责改善无尘车间5S; 4.0 定义: 是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、湿度、洁净度、照明及静电控制在某一需求范围内. 5.0程序: 5. 1风淋室使用须知 5.1.1 风淋室是工作人员进入无尘车间前时进行人身净化的专业设备,它能将人身上所吸附的尘埃及毛丝通过高速气流吹掉,使人员不带污染源进入车间。 5.1.2 风淋定设定和状态:风淋室在投入使用前必须完成调试与设定,使之保持自动风淋状态。 5.1.3 使用风淋室无须安任按键便可进入风淋室内,人数每次限定二人,进入后关上门待吹风后开始转动身体360度,待风淋室停止工作后便可推门进入无尘车间。 5.1.4 禁止使用者修改设备参数,必须有专业人员调定。 5.1.5 禁止使用者野蛮对风淋室门(红外电控锁)的推拉行为,而对设备造成不必要的损坏。 5.1.6 使用者使用过程中发现异常,应立即停止使用并上报相关负责人。 5.2风淋室正常/异常状态的界定: 5.2.1 风淋室正常初始化自检,打开电源操作面板LED数码时间显示点亮,同时设备做一次自检,进出二门是否正常关好,如二门多正常关好则自动进入工作状态。 5.2.2 正常工作状态则系统处于不工作状态:按电源开关是系统处于工作状态,LED被点亮,按照明开关则风淋室内灯被点亮或熄灭,人员可跟据须要选择,系统处于正常等待工作状态时,风淋室门处于关闭未锁状态。 5.2.3 异常状态:喷嘴出现微风、门不能正常开关、电源操作面板无显示,及时上报维修。 5.3进出风淋室流程机理: 5.3.1 进入:当外门打开时,内门自动闭锁。当人进入风淋室内,经过红处探头,系统自动工作,风机在工作设定的时间内,二个门处于自锁状态,风机停上工作后方可推门进入车间。 5.3.2 出车间由旁边专用出口通行。 5.4 无尘车间管理规范: 5.4.1 进入无尘车间前将个人与工作不相关的物件放入相关区或不的带入,在更衣室更换好无尘服后安归定路线进入无尘车间,不可重它路线进入无尘车间。 5.4.2 进入无尘车间着装参见(无尘车间衣着指引)。 5.4.3 车间内人员不许打闹及大声喊叫,不许将纸箱等物件带入。
无尘室管理规定 -标准化文件发布号:(9556-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII
1 目的 加强无尘车间管理规范,以提高产品合格率,为产品质量所需生产环境提供保障。 2 适用范围 公司无尘车间及所有进出无尘车间人员。 3 职责 3.1 品保部: 3.1.1 负责对无尘车间的温度、湿度及气压差进行判断及不定期监控; 3.1.2 对环境出现异常状态时,对是否继续生产做出相关决定,并对环境改善效果进行确认。 3.2 维修部: 对无尘室设备的维修保养,生产出现异常时,负责对其发生异常原因进行分析,并制定相应之应急措施以及长期改善措施。 3.3 生产部: 3.3.1 对环境、湿度及压差进行日常定时监控并记录。 3.3.2 无尘室管理及维护无尘室内洁净度,确保无尘室人员按照该规定执行。 3.4 行政部: 无尘服、无尘帽、无尘鞋的外送清洗。 4 定义 4.1 无尘室:温度、湿度、压力都可以加以调节,且空气中的灰尘、臭氧已予排除的 作业区域; 4.2 无尘车间等级标准说明:ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室 (区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在 0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子 (0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准) 5 参考文件 无。
6 人员管理 6.1 进入人员要求 6.1.1 无尘室的作业人员必须经过本管理规定的培训,考核合格者方可进入无尘室 6.1.2 凡进入无尘车间的员工必须遵守并执行本规定; 6.1.3 必要时,协助设备部分析并改善环境的异常。 6.2 进入出尘室体质要求 6.2.1 各种严重皮肤病,如湿疹、皮肤受重伤等; 6.2.2 对于化学物有过敏的体质者; 6.2.3 对于无尘车间里使用的材料有过敏体质者; 6.2.4 与普通人相比有异常,如皮肤很多脱皮、头屑和头发容易掉,多汗者; 6.2.5 性格焦虑不适呆在密闭环境工作者; 6.2.6 化妆(特别是擦粉)和擦指甲油者(基础性化装除外); 6.3 无尘室人员管控 6.3.1 外来人员及我司无尘室以外人员,需进入无尘车间者需先申请,待批准后进入; 6.3.2 外来人员申请进入无尘室,签至副总,并由我方人员陪同在场按要求穿戴好无尘 服,在风淋室门外册子上做好记录并戴好出入证后,才能进入; 6.3.3 我司无尘室以外人员,无权限者需签至经理,按要求穿戴好无尘服,在风淋室门 外册子上做好记录并戴好出入证后,才能进入; 6.3.4 有无尘室进入权限之人员,(例如品质部、工程技术人员等)进入无尘车间需按 要求穿戴好无尘服进入; 6.3.5 无尘车间风淋室同时进入的人数(流动人数)不得超过2人。 6.4 物品与资材管理 6.4.1 无尘车间内禁止迁入的物品 6.4.1.1 未经过批准的清洁的用具、办公用具、测试夹具等一切物品; 6.4.1.2 6.5 无尘车间材料运输方法 6.5.1 无尘车间迁入的一切材料,包括物品工具、设备材料等,禁止没有清洁而直接进入; 6.5.2 所有物料进入无尘室前,必须除去外箱包装,无外箱之包装材料进入无尘室前需 经过擦拭气枪吹气等动作后,再经由货淋通道风淋后进入。 6.5.2 对于无尘车间迁入的设备等大型物品应从无尘室外用吸尘器除尘,达到必要的清洁条件;
编订:__________________ 单位:__________________ 时间:__________________ 无尘车间管理规定(正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑
文件编号:KG-AO-9104-20 无尘车间管理规定(正式) 使用备注:本文档可用在日常工作场景,通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范,从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作,使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 1.生产管理规定 1.1工作调配由拉长以上干部根据工作的需要来确定人员位置,受任的的任何人员不可有挑剔工作的行为(特殊情况除外,但需经主管级人员确认)1.2作业人员必须按照作业指导书或机器操作说明书去完成作业,作业方法更改或特殊技术作业必须经主管级人员确认后方可执行。 1.3作业人员必须要作好自我检查(含原料检查和部件检查)流水线作业站别作业员需要进行上一站作业检查,且要求所有作业员必须熟悉自己上一站和下一站作业内容. 1.4作业人员必须按规定完成产量,以保证工作效率。 1.5作业发现异常时必须及时汇报给拉长以上干
部请求处理。 1.6作业人员当发现自己作业物料不够时需提前 1小时汇报给物料员或拉长或领料员发料,不可私自到物料架上拿取物料。 2.物料管理规定 2.1所有物料必须有明确标示(含原料、组合料、成品) 2.2所有物料必须按规定摆放整齐。 2.3领料员必须定时清退不良物料(每批次1次,按订单确定) 2.4领料员每次领料时当出现缺料情况必须及时汇报给拉长或生产主要负责人。 2.5拉长或领料员必须负责物料的进出作账明细。 3.生产纪律规定 3.1所有人员必须提前5分钟到工作岗位 3.2所有人员必须按规定穿戴好无尘服、帽、鞋后方可进入无尘室,且不可在无尘内整理无尘服等。 3.3相关人员必须按规定戴好手套后方可进入无
无尘车间设计规范要求(最全) 随着全球经济一体化的进程,我国的企业不仅同国内的企业展开激烈的竞争,而已还要跟国外企业展开更为广阔更为激烈的竞争,所以我们现在的企业不得不进行转型、升级、创新,因为只有这样我们才能生存。而在这种商业环境下,洁净技术将被我们越来越重视,因为洁净厂房不仅能保证工作人员身体健康,而且对产品的质量、精度、成品率、稳定性等都有显著作用。 一、无尘车间设计的相关政策方针 无尘车间设计必须贯彻执行国家的有关政策方针,必须做到技术先进、经济合理、安全适用、保证质量、节约环保等要求。洁净厂房设计应为施工安装、测试、维护管理和安全运行创造必要的条件,应符合现行的国家标准、规范的有关要求。 二、空气洁净度等级 无尘车间空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试,应符合如下表规定:
注:对于空气洁净度为100级的洁净厂房内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。以保证测试数值是可靠的。 三、无尘车间总体设计 无尘车间位置的选择,应根据需要、经济等比较后确定: 一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域; 二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。 三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。 四、还有洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时,洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍,洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化,可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。 四、无尘车间噪声控制 无尘车间内的噪声等级应符合下列要求: 一、动态测试时,洁净厂房内的噪声级不应超过65分贝A。 二、空态测试时,乱流洁净厂房的噪声等级不宜大于58分贝A,层流洁净厂房的噪声级不应大于60分贝A。 三、无尘车间的平、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应有良好的隔声性能,并宜使各部分隔声量相接近。 四、无尘车间内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净厂房允许值的设备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。 五、净化空气调节系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外,应对洁净厂房内的排风系统进行减噪设计。 六、无尘车间的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响洁净厂房的净化条件。
制/修订/日期: 校对/日期: 审核/日期: 核准/日期: 发文/日期: 受控状态(盖章): 分发号:
1、0目得: 为创建整洁安全生产环境及规范人员对无尘室得正确操作,确保无尘室环境符合生产条件之要求特制定本规定。 2、0 范围: 凡进入无尘室内所有人、机器、物品、原物料、产品……等,均属本规范管制范围 3、0 权责: 4、0 定义: 5、0 作业程序: 5、1 人员管理规定 5、1、1不定期对员工进行无尘室得管理规定培训。 5、1、2进入无尘室时必须穿戴自己得无尘衣帽与无尘鞋,不可随意穿戴她人无尘衣帽与无尘鞋 5、1、3外宾及厂商人员如需进入无尘室时,需要经生产部门最高主管许可后并有本司人员陪同下方可进入 5、2更衣室管理规定
更衣室分为换鞋处、男一更、男二更、女一更、女二更。以下简述各区域作用,及员工进入无尘车间得流程及规范。 5、2、1各区域作用: 5、2、1、1换鞋处:为员工放置自己鞋子得区域。 5、2、1、2一更:为员工放置自己外套及个人物品得区域。 5、2、1、3二更:为员工更换无尘服、无尘鞋得区域。 5、2、2更衣室使用流程 5、2、2、1换鞋员工从楼梯口进入厂房,通过设备进口通道,进入换鞋区,在换鞋区门 口先脱鞋,并将鞋子拿起放至鞋柜,如图1箭头标示步骤1所示。 5、2、2、2至一更放置外套等个人物品从换鞋区进入一更,将外套及其她个人物品放 置个人柜子,个人柜子不要放置贵重物品以免丢失,如图1步骤2。 5、2、2、3至二更穿戴无尘服及无尘鞋如图1步骤3。 图1 5、3无尘室内着装规定 5、3、1进入无尘室得人员需穿着合适得无尘服、鞋子等,以免无尘衣服鞋子过小或者过大而让穿着者感到不适。
无尘车间管理制度 目的:为了维持良好的生产秩序,提高劳动生产率,保证产品品质以及工作的顺利进行特制订以下管理制度。 范围:适应于生产车间全体工作人员。 一、晨会制度 1.员工必须准时上班,于8:00参加晨会,不得迟到、早退 2.员工在晨会时须列队整齐、站立端正,认真听取主管或班组长的讲话,不得做一些与晨会无关的事项 3. 晨会时间控制在15分钟内,结束后员工应立刻进入各自岗位 二、请假制度 1.员工请假制度与核准权限同厂规一致 三、清洁卫生制度(参照洁净室作业指导书) 1.进入无尘室前工作人员需换鞋,在更衣室换穿无尘服并将头发全部遮盖。洗 完手并消毒后,经过风淋室进入作业区 2.无尘室内工作人员不得将茶水、食物携入作业区,且在作业区内禁止抽烟、 嚼口香糖、吃零食及喝饮料 3.工作人员离开无尘室时,必须将无尘帽、衣、鞋在更衣室中换下,不可将无 尘衣穿至非无尘作业区 4.进出无尘室必须随手关门,防止蚊虫进入 5.员工必须保持岗位周围的清洁干净,物品要按规定位置放置整齐,不得到处 乱放,班组长要保持办公台的整齐干净 6.不得随便在车间内乱丢垃圾,每天上、下班必须打扫卫生,卫生工具用完后 须清洗干净放在指定的区域,不得乱丢或人为损坏 7.无尘室内员工不可化妆及佩戴耳环、戒指、手表、手表等饰品 8.工作人员应勤修剪头发、指甲、勤洗澡保持个人卫生
9.无尘室内工作人员勿触摸、摩擦或搔抓身体外露之处 10.直接接触产品人员不可患有传染性疾病 11.生产区人员每年体检一次 四、车间生产秩序管理制度 1.生产作业中员工间需相互配合协作,自觉服从班组长的管理 2.员工在作业过程中,必须自觉做好自检工作,如发现问题应及时向班组长反应,不可擅自使用不良材料以及让不合格品流入成品 3.所有员工必须按照SOP操作,如有违规者,视情节轻重予以教育培训或处罚 4.员工在作业过程中需维持机台周边现场环境,保持清洁状态 5.员工在作业过程中,不得故意损坏物料,工具、设备等违者按原价赔偿 6.工作时间内不得有串岗、聊天、玩手机等与生产无关之行为,离岗前需经班组长同意并填写离岗登记表,领取离岗证方可离开工作岗位 7.下班前必须整理好自己的工作台面,做好交接班工作 8.任何培训和会议,不得出现迟到、早退和缺席 9.严格划分“三品”(合格品、返修品、不良品)隔离区,做到标识明显、数量准 确、处理及时 10.车间内物品需定置摆放、原物料进入车间前必须去除外包装 11.认真填写各项记录、报表,做到及时、准确、清晰、完整、规范 12.车间内合理照明,严禁长明灯,长流水,节约用水用电 13.安全通道内不得摆放任何物品,不得阻碍 14.消防器材定置摆放 , 不得随意挪作他用 , 周围不得有障碍物 15.新员工和工种变动人员进行岗位技能培训,经培训考试合格后方可上岗作业 16.严格执行SOP、按工艺及图纸生产,对技术文件规定的工艺参数、技术要求 应严格遵守、认真执行,按规定进行检查,做好记录
净化车间管理规定. 无尘车间管理规章制度. 1.生产管理规定 1.1工作调配由拉长以上干部根据工作的需要来确定人员位置,受任的的任何人员不可有挑剔工作的行为(特殊情况除外,但需经主管级人员确认) 1.2作业人员必须按照作业指导书或机器操作说明书去完成作业,作业方法更改或特殊技术作业必须经主管级人员确认后方可执行。 1.3作业人员必须要作好自我检查(含原料检查和部件检查)流水线作业站别作业员需要进行上一站作业检查,且要求所有作业员必须熟悉自己上一站和下一站作业内容.
1.4作业人员必须按规定完成产量,以保证工作效率。 1.5作业发现异常时必须及时汇报给拉长以上干部请求处理。 1.6作业人员当发现自己作业物料不够时需提前1小时汇报给物料员或拉长或领料员发料,不可私自到物料架上拿取物料。 2.物料管理规定 2.1所有物料必须有明确标示(含原料、组合料、成品) 2.2所有物料必须按规定摆放整齐。 2.3领料员必须定时清退不良物料(每批次1次,按订单确定)
2.4领料员每次领料时当出现缺料情况必须及时汇报给拉长或生产主要负责人。 2.5拉长或领料员必须负责物料的进出作账明细。 3.生产纪律规定 3.1所有人员必须提前5分钟到工作岗位 3.2所有人员必须按规定穿戴好无尘服、帽、鞋后方可进入无尘室,且不可在无尘内整理无尘服等。 3.3相关人员必须按规定戴好手套后方可进入无尘室作业。
3.4工作时间不可有聊天现象,更不允许有争吵现象。 3.5无尘室内不允许带入与工作无关的个人物品。 3.6所有人员上班前半个小时和下班半小时不允许上洗手间。 3.7去先手间人员必须用厂牌来换离位卡方可离位,去洗手间时间不得超过10分钟。 3.8所有人员上下班必须按规定放置好自己的衣服及静电服等。 3.9所有人员上下班前必须按规定清扫自己的工作岗位。 3.10所有人员上下班必须按规定排好队进出无尘车间。
目的 建立洁净厂房规定,保证厂房质量。 范围 本规定适用于洁净厂房的管理。 责任 生产部:按管理规程进行。 内容 4.1严格控制进入洁净区人员数量,除正常生产、清洁人员外,其余人员均要经质量保证部批准方可进入。对进入洁净区的外来人员必须进行相应培训或监督。 4.2洁净区缓冲间两门不能同时打开。 4.3工作时,门必须关紧,尽量减少出入次数。 4.4洁净区内进行各种操作活动要稳、准、轻,不做与工作无关的动作,各种活动(操作)应限制在最低限度。 4.5私人物品不允许带入洁净区。所用的各种器具、容器、设备、工具需用不发尘的材料制作,并按规定程序进行清洁、消毒后方可通过物流通道进入洁净区。 4.6应尽量减少使用不易清洗的凹陷或凸出的壁架、橱柜和设备。 4.7洁净区清洗中心、洁具清洗间和清洁工具除应符合一般生产区的清洁要求外,还应保持清洗中心、洁具清洗间通风、干燥;清洁工具如拖把、抹布等要及时干燥,防止产生霉菌。消毒剂应替换使用,以免微生物产生耐药性。
4.8生产过程中产生的废弃物应及时装入洁净的塑料袋中,密闭放在洁净区内指定地点,并按规定在工作结束后将其清除出洁净区。 4.9洁净区每天必须有足够的时间用于清洁。更换批号要保证有足够的时间间隔进行清场、清洁与消毒。 4.10洁净区环境控制 净化空调运行管理制度 为使净化空调系统能得以安全、高效、节能的运行,日常管理过程中制定严格及有效的运行管理制度,并严格认真的执行,是非常必要的。应规定不准进入洁净室内的人员、日常应注意的事项、对入室人员的状况的登记制度、不准带入洁净室的物品、人员出入须知、用具和设备的选择与管理制度、卫生和安全制度、洁净室用服装用其管理制度、教育训练制度及卫生措施等规章制度。 1、不准进入洁净室的人员: 具有下列情况者应不能进入洁净室:皮肤有晒焦、剥离、外伤和炎症、搔痒症者;对化学纤维,化学溶剂有异常反应的人员;手汗严重者;鼻子排出物过多者;感冒、咳嗽和打喷嚏者;过多掉头皮及头
Through the joint creation of clear rules, the establishment of common values, strengthen the code of conduct in individual learning, realize the value contribution to the organization.无尘车间管理规定正式版
无尘车间管理规定正式版 下载提示:此管理制度资料适用于通过共同创造,促进集体发展的明文规则,建立共同的价值观、培 养团队精神、加强个人学习方面的行为准则,实现对自我,对组织的价值贡献。文档可以直接使用, 也可根据实际需要修订后使用。 1.生产管理规定 1.1工作调配由拉长以上干部根据工作的需要来确定人员位置,受任的的任何人员不可有挑剔工作的行为(特殊情况除外,但需经主管级人员确认) 1. 2作业人员必须按照作业指导书或机器操作说明书去完成作业,作业方法更改或特殊技术作业必须经主管级人员确认后方可执行。 1.3作业人员必须要作好自我检查(含原料检查和部件检查)流水线作业站别作业员需要进行上一站作业检查,且要
求所有作业员必须熟悉自己上一站和下一站作业内容. 1.4作业人员必须按规定完成产量,以保证工作效率。 1.5作业发现异常时必须及时汇报给拉长以上干部请求处理。 1.6作业人员当发现自己作业物料不够时需提前1小时汇报给物料员或拉长或领料员发料,不可私自到物料架上拿取物料。 2.物料管理规定 2.1所有物料必须有明确标示(含原料、组合料、成品) 2.2所有物料必须按规定摆放整齐。 2.3领料员必须定时清退不良物料
无尘车间管理规定 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制:___________________ 日期:___________________
无尘车间管理规定 温馨提示:该文件为本公司员工进行生产和各项管理工作共同的技术依据,通过对具体的工作环节进行规范、约束,以确保生产、管理活动的正常、有序、优质进行。 本文档可根据实际情况进行修改和使用。 1.生产管理规定 1.1工作调配由拉长以上干部根据工作的需要来确定人员位置, 受任的的任何人员不可有挑剔工作的行为(特殊情况除外, 但需经主管级人员确认) 1.2作业人员必须按照作业指导书或机器操作说明书去完成作业, 作业方法更改或特殊技术作业必须经主管级人员确认后方可执行。 1.3作业人员必须要作好自我检查(含原料检查和部件检查)流水线作业站别作业员需要进行上一站作业检查, 且要求所有作业员必须熟悉自己上一站和下一站作业内容. 1.4作业人员必须按规定完成产量, 以保证工作效率。 1.5作业发现异常时必须及时汇报给拉长以上干部请求处理。
1.6作业人员当发现自己作业物料不够时需提前1小时汇报给物料员或拉长或领料员发料, 不可私自到物料架上拿取物料。 2.物料管理规定 2.1所有物料必须有明确标示(含原料、组合料、成品) 2.2所有物料必须按规定摆放整齐。 2.3领料员必须定时清退不良物料(每批次1次, 按订单确定) 2.4领料员每次领料时当出现缺料情况必须及时汇报给拉长或生产主要负责人。 2.5拉长或领料员必须负责物料的进出作账明细。 3.生产纪律规定 3.1所有人员必须提前5分钟到工作岗位
工作指引 文件名称:无尘室管理规定文件编号:ISO-WI-017 版本/修订状态:A1 生效日期: 页数:共15 页 作成:日期:确认:日期:批准:日期:受控印章: 此文件未经允许不得覆印 受控印章为黑色的均为非受控副本
轩朗实业有限公司 工作指引文件编号ISO-WI-017 版本/修订状态A1 生效日期2011.04.01 标题无尘室管理规定页码1/15 修订 编号 修订容修订人日期
00 轩朗实业有限公司 工作指引文件编号ISO-WI-017 版本/修订状态A1 生效日期2011.04.01
标题无尘室管理规定页码2/15 一.目的 保证制造车间的环境清洁及温度、湿度、静电大小是否适合产品的制作,确保产品质量。 二.围 制造无尘车间。 三.名词解释 无尘室是指综合控制浮游在空气中的粒子、温度、湿度、气压、亮度的封闭空间。 四.职责 1、制造部管理人员负责执行此规定。 2、品管部负责检验车间环境,并对制造部执行度进行监督。 五.容 5.1 更衣室管理规 5.2 离子风机清洁周期与保养 5.3无尘室清洁方法及周期 5.4 禁止携入物品列表 5.5 摆放规则 5.6 手指套更换周期 5.7 无尘室服装颜色区分 5.8 无尘室动作管理规 5.9 无尘室纸管理规 5.10 静电环测试规 5.11 温湿度管理 轩朗实业有限公司文件编号ISO-WI-017 版本/修订状态A1
避免袖口污染,也不可接触地面及其它物品 穿着时需站立或坐在专用于更衣的凳子上,不可跪坐于地面穿着口罩需遮住口鼻,网帽须将头发全部收纳于网帽里面不可露出 长裤下端置入长统鞋,各魔鬼毡粘牢、拉炼拉至定位
无尘车间管理规 核准:审核:编制: 修订履历
1.0目的 加强无尘车间管理规,约束员工行为,以提高产品合格率,为产品质量所需生产环境提供保障。 2.0适用围 公司无尘车间及所有进出无尘车间人员。 3.0职责 3.1生产部 ?对环境、温湿度及压差进行日常定时监控并记录。 ?负责对无尘车间之温度、湿度及气压差进行判断及不定期监控; ?负责对风速、尘埃进行日常测量、监控、判断与记录; ?对环境出现异常状态时,对是否继续生产做出相关决定,并对环境改善效果进行确认。 3.2异常处理 生产出现异常时,负责对其发生异常原因进行分析,并制定相应之应急措施以及长期改善措施。 3.3各部门 3.4.1凡进入无尘车间的员工必须遵守并执行本规定; 3.4.2必要时,协助品质及工程人员分析并改善环境之异常。 4.0作业程序 4.1人员管理 4.1.1 体质的要求:选取的作业者应该排除以下不适当的体质者从事无尘车间的作业; ?各种严重皮肤病,如湿疹、皮肤受重伤等; ?对于化学物有过敏的体质者; ?对于无尘车间里使用的材料有过敏体质者; ?与普通人相比有异常,如皮肤很多脱皮、头屑和头发容易掉者; ?化装(特别是擦粉)和擦指甲油者(基础性化装除外); 4.1.2 精神上的要求:应该选取以下特性的人从事无尘车间的作业; ?注意力集中,忍耐性强的人; ?对周边能经常整理整顿和打扫者; ?对健康状况有经常注意者; 4.1.3 外来人员及我司生产部相关以外人员,需进入无尘车间者需先申请,待批准后由我方人 员陪同在场并按要求穿戴好无尘服,在风淋室门外册子上做好记录并戴好出入证后,才 能进入; 4.1.4除工作环境(例如生产人员、工程技术人员等)在无尘车间的人员外,其他需进入无 尘车间者也需要在风淋室门外册子上做好记录并戴出入证; 4.1.5无尘车间OCA贴合车间静电棚中除里面的工作人员以外,同时进入的人数(流动人数)
无尘车间管理规范 一、进入无尘车间人员资格: 1.经训练合格及主管审核后之人员方可进入无尘室。 2.进入无尘室人员需遵守洁净室之安全规定。 3.尚未被认可之员工、外宾须进入无尘室者,应先通知生产部门或由商务部门人员及生产部门负责人的陪同下方可进入。 4.严禁未经核准人员进入无尘室。 二、进入无尘室之前注意事项: 1.员工、外宾进入及离开无尘室,需由相关人员陪同。 2.任何人进入无尘室工作或参观,须依规定换穿无尘服。 3.不得将私人物品(手提袋、书籍、零食等)及非无尘室所使用之工具携入无尘室;维修用之手册及工具再用毕后应立即归位。 4.物料进无尘室车间时,需先在外面拆箱及拭净,并置于货物风淋室携入无尘室车间。 5.在无尘室车间内,不得饮食、饮酒、嘻闹或从事其他与生产无关的事情。 三、进入无尘室之程序: 1.踏上换鞋区入口之地板,必须将外鞋脱下。 2.外鞋置于一般鞋柜之中;进入更衣室换穿无尘服,在依规定进入空气凤淋室进车间。 3.空气风淋室内,不可超过4个人同时进入,进入无尘室限度为2
人,出无尘室为4人。 4.为避免影响空气正常循环及除尘效果,人员不可倚靠在空气风淋室的门或墙上;人员必须站立于空气淋室中央粘尘垫上轻微摇动双手旋转360度,以帮助灰尘掉落。 5.风嘴方向正常应是向下吹气,请勿随意拨弄调整好的风嘴方向,以达到最大的除尘效果。 6.头发必须盖在无尘帽之内,必要时可使用发罩。 7.口、鼻必须盖在口罩之内,口罩使用后即应丢弃,不可重复使用;头发必须扎入无尘衣之服内。 8.无尘衣穿着程序:(1)口罩(2)无尘衣(3)无尘鞋。穿上无尘衣,戴好口罩、无尘帽,拉上无尘服拉链,穿好无尘鞋,确保衣着整齐后方可进入无尘车间。 四、无尘室内之注意事项: 1.进入无尘室之油漆或物品须先经空气清除尘之手续。 2.严禁在设备上书写及刻划。 3.避免在机器上使用胶带粘贴纸张。 4.当使用气枪时,必须置于除尘抽风口,以免灰尘污染产品。 五、废弃物处理: 1.所有废弃物及用过之化学品应依规定之方式处理及倾倒。 2.随时保持整洁,勿将垃圾留给别人,手套、指套、废弃物勿随手丢,应置入垃圾桶内。 3.勿将酸及有机溶剂混合倾倒,以免爆炸。
文件修(制)订履历一览表 N0. 版 次 《管理文件审查单》 编号 发布日期修(制)订说明拟制审核批准备注 1 AO 无尘车间管理规定 文件发放范围及份数(在“( )”中打“√”表示需分发的单位,在“[ ]”中填写该单位发放文件份数): ( √ ) 总经理 [ 1 ] ( √ ) 品质部 [ 1 ] ( ) 物流部 [ ] ( √ ) 技术部 [ 1 ] ( √ ) 生产部(1#车间) [ 1 ] ( ) 人事行政部() [ ] ( ) 财务部 [ ] ( ) 营销中心 [ ] ( √ ) 文控中心 [ 1 ] ( ) 其他: [ ] 拟制陈钰陆日期2011/8/19 审核杨永喆日期2011/8/19批准日期
1 目的 确保无尘车间之环境及降低本公司管理成本。确保产品品质及提升经营效率。 2 适用范围 凡进入无尘车间之人员(包括本公司人员,厂商及参观来宾)及资料、物料等。 3 定义 无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等污物排除,并将车间内温度、洁净度、车间内压力、气流速度等等控制在某一需求范围内而特别设计的房间。故需制定合理的管理方案来维护无尘车间内所要达到的标准。 4 职责 4.1 技术部 4.1.1 负责本规定的制定的制定及修改。 4.2 生产部 4.2.1 严格按本规定执行。 4.3 品质部 4.3.1 负责监督所有进入无尘车间人员遵守规则,汇报执行情况。 4.4 行政部 4.4.1 行政部负责本规定的宣导。 5 工作内容 5.1 无尘车间注意事项 5.1.1 工作岗位为非无尘车间人员、来宾及供应商进入无尘车间须经生产主管申请并经副总级别批准同意。 5.1.2 任何人进入无尘车间工作或参观,需按《无尘衣穿脱规定》进行换穿无尘衣。 5.1.3 未经生产主管许可,不得将私人物品(手提袋、书籍、手机等产尘物)及非无尘车间的专用工具携入 无 尘车间。 5.1.4 原物料、设备保养及维修时所用工具进入无尘车间时,需先在外拆箱及拭净,并臵于专用的货车进入货 淋室至少1分钟方可携入无尘车间。 5.1.5 剧烈运动后禁止立刻进入无尘车间,须待呼吸平稳不再流汗后方可进入无尘车间。 5.1.6 在无尘车间内,不得饮食、嬉戏,做任何夸张的动作,导致扬尘的发生,或从事其它与工作无关的事情。 5.1.7 进入无尘车间者应保持洁净,头发包住,长发不可露出,并禁止使用香水及化状品。 5.1.8 人员出无尘车间时,直接从缓冲室间进入更衣室(不需要进行风淋),需要进入车间其它地方时,需更 换布鞋(无尘衣、无尘鞋不可穿出无尘车间)。 5.1.9 下列物品,不得带入无尘车间: ⑴没有经过清洁过程的器材﹑零件备品﹑测定器等各种物品; ⑵纸箱及未经过特别处理的记录或笔记用纸等; ⑶铅笔,橡皮擦,墨水等; ⑷香烟,化妆品,卫生纸,饮品等; ⑸作业员个人用品,如打火机,装饰品,钱包,日记手册,手机等。 如有发现违反上述条例的扣绩效分。无尘车间过道内的厕所如发现烟头等扣车间所有员工绩效分5分, 如当场逮到的,头次扣除该名员工绩效10分,第二次25分,第三次绩效奖不予发放。第四次开除。
目录 1.0 无尘车间管理的目的 2.0 无尘车间管理的原则 3.0 适用围 4.0 术语 5.0 管理程序 5.1 无尘室施工管理制度 5.2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准 5.3 无尘室人员管理制度 5.4 无尘室洁净服管理制度 5.5 无尘室物流/洁净室设备及工器具管理制度 5.6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理 5.7 无尘室洁净室安全管理 6.0 版本更改记录 1.0 无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2.0 无尘车间管理的原则 2.1 进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。 2.2 操作管理技术,对洁净室人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止洁净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 2.3 严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4 清扫、灭菌管理,对洁净室的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。 2.5 洁净室环境控制的容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。 3.0 适用围 半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。 4.0 术语 .
生产车间环境管理制度 1.目的 为了维护好工作环境,确保产量质量、安全生产及车间正常运作,特制定本制度对车间的环境管理工作进行规范。 2.范围 本文件规定了生产车间环境管理工作内容; 本文件适用于生产车间环境管理; 3.职责 3.1工艺人员负责制定并修改本文件; 3.2所有车间工作人员需严格执行本文件; 3.3安全员和环境管理人员负责按文件要求对车间人员进行 检查、监督。 4.定义 无 5.过程 无 6.内容 6.1车间内生产运行要求 6.1.1车间内应保持通道畅通;地面无积尘,无渗水、积水现 象,地面防滑,无烟蒂,纸屑等杂物; 6.1.2车间保持足够的空调通风环境和采光照明; 6.1.3电力、机器布局和电线布置要符合安全规范,消防通道
无堵塞,消防器材齐备; 6.1.4可根据工作环境需要,确定是否设置与生产要求相适应 的更衣室或更衣柜,并保持更衣室和更衣柜的清洁;6.1.5产品制造过程中使用的工器具、推车、原辅材料、半成 品应遵循整齐、存取方便的原则,分类放置指定地点; 6.1.6下班后各班组必须将杂物、垃圾清理出车间或置于指定 位置,并整理、清扫地面; 6.1.7每月生产人员须对车间进行彻底清理,如有必要可适当 增加频次; 6.1.8车间地面的清洁工作保证每天不少于两次,并能及时对 车间内的垃圾进行处理,清理过程中要注意周围死角的 清洁卫生; 6.1.9各车间负责人须对新员工(包括学习、代培人员)进行 车间级安全环境教育和班组安全环境教育培训;对员工 进行经常性的安全环境意识、知识和技能教育;组织开 展各项安全环境活动,检查、督促、指导班组开展安全 环境活动。定期召开安全环境会议,及时解决安全环 境问题,处理员工提出的各种意见,建立完善车间安全 环境资料和档案。 6.2生产环境控制参数 6.2.1空气洁净度要求 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表1。定。
制/修订/日期:__________________________________________________ 校对/日期:_____________________________________________________ 审核/日期:_____________________________________________________ 核准/日期:_____________________________________________________ 发文/日期:_____________________________________________________ 受控状态(盖章):______________________________________________ 分发号:________________________________________________________
1.0目的: 为创建整洁安全生产环境及规人员对无尘室的正确操作,确保无尘室环境符合生产条件之要求特制定本规定。 2.0 围: 凡进入无尘室所有人、机器、物品、原物料、产品……等,均属本规管制围 3. 0权责: 4.0定义: 5.0作业程序: 5.1人员管理规定 5. 1. 1不定期对员工进行无尘室的管理规定培训。 5. 1.2进入无尘室时必须穿戴自己的无尘衣帽和无尘鞋,不可随意穿戴他人无尘衣帽和无尘鞋 5. 1. 3外宾及厂商人员如需进入无尘室时,需要经生产部门最高主管许可后并有本司人员陪同下方可进入 5. 2更衣室管理规定 更衣室分为换鞋处、男一更、男二更、女一更、女二更。以下简述各区域作用,及员工进入无尘车间的流程及规。 5. 2.1各区域作用: 5.2.1. 1换鞋处:为员工放置自己鞋子的区域。 5. 2. 1.2 -更:为员工放置自己外套及个人物品的区域。 5. 2.1. 3 r更:为员工更换无尘服、无尘鞋的区域。 5. 2. 2更衣室使用流程 5. 2. 2.1换鞋员工从楼梯口进入厂房,通过设备进口通道,进入换鞋区,在换鞋区门口先脱 鞋,并将鞋子拿起放至鞋柜,如图1箭头标示步骤1所示。 5. 2. 2. 2至一更放置外套等个人物品从换鞋区进入一更,将外套及其他个人物品放置 个人柜子,个人柜子不要放置贵重物品以免丢失,如图1步骤2。 5. 2. 2. 3至二更穿戴无尘服及无尘鞋如图1步骤3。
食品车间管理制度
目录 1.0 食品车间管理的目的 2.0 食品车间管理的原则 3.0 适用范围 4.0 术语 5.0 管理程序 5.1 食品车间施工管理制度 5.2 食品车间洁净度定期检测制度/测量标准 5.3 食品车间人员管理制度 5.4 食品车间洁净服管理制度 5.5 食品车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度5.6 食品车间清洁、清扫和灭菌管理 5.7 食品车间洁净室安全管理 6.0 版本更改记录
1.0 食品车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2.0 食品车间管理的原则 2.1进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬 入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净 室。 2.2操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人 员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减 少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 2.3严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设 施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和 工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周 期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、 繁殖。 2.5洁净室环境控制的内容包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或 气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电 的控制、防止等。 3.0 适用范围 半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。 4.0 术语 洁净生产区是洁净厂房的主要部分,对洁净级别有明确规定的区域。