单晶炉故障维修-----有问必答！
开个贴！单晶炉故障，有问必答！
希望各位多多支持！
问题大家讨论！
;大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵
Dante 2009-7-18 21:37
支持楼主！
shenmou467 2009-7-19 14:28
对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏0
直线导轨 2009-7-19 18:31
[quote]原帖由shenmou467于 2009-7-19 14:28 发表对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢 [/quote]
第一个问题再说的清楚点。
晶棒晃动：
这种现象俗称" 棒摆"
棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾
棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。:
1.软轴（钢丝绳）
2.提拉头，减速机构/旋转机构。
3.热场。
4.氩气（流量/气流在炉内的流动）
5.炉子机构
6.热场设计/分布
7.真空系统（泵/管道）
8.冷却系统（水流/水温）
9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。
10.重锤（形状/重量/精度
液面抖动原因：
1.下轴机械部分：有死点/杂物/欠缺润滑/轴弯了。
2.下轴传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。
3.下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后,没有清理干净）
4.检查电机驱动部分。伺服电机不会出现这种现象。直流电机经常发生。btsunny 2009-7-19 19:41
学习;握手
直线导轨 2009-7-19 20:22
谢谢[捧场！
tzlijf 2009-7-19 21:50
华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因，[attach]64525[/attach]
[attach]64526[/attach]
btsunny 2009-7-19 22:10
是不是刚刚清完炉啊?
tzlijf 2009-7-19 22:22
不是的，连续有二炉都这样，
直线导轨 2009-7-20 11:09
[size=7]检查提拉头。[/size]
[size=7]钢丝绳卷筒或轴承润滑油滴落！[/size]
;大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵
SAD137**** ****-7-20 12:28
晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？人口吧 2009-7-20 15:50
有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题
请问各位，这是什么原因造成的？
直线导轨 2009-7-20 18:14
[quote]原帖由SAD1375733于 2009-7-20 12:28 发表晶体直
径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？
[/quote]
看是什莫炉子了。国产炉：PID调整厂家会给你参数的。
直线导轨 2009-7-20 18:18
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-20 15:50 发表有台汉虹炉
子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ ... [/quote]
[size=5]检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。[/size]
[size=5]另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。[/size]
[size=5]检查一下再说吧！[/size]
wangyc8207 2009-7-21 09:33
搞不懂，顶！人才
SAD137**** ****-7-21 14:31
创联CL90和理工大80的PID是多少？
直线导轨 2009-7-21 15:03
[quote]原帖由SAD1375733于 2009-7-21 14:31 发表创联
CL90和理工大80的PID是多少？ [/quote]
不好意思这是人家的内部参数。我也不太清楚。
如果你们购买的是他们的炉子，你可以向他要呀！
或者让他们派技术人员来帮你没解决。
我不是生产炉子的。谢谢！~
恒新自控/创联科技总经理：丁积军电话：139********
你可以联系她！
ygshebeigongsi 2009-7-21 15:41
我帮你顶一下;强
[quote]原帖由XUCK于 2009-7-22 08:35 发表请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ [/quote]
只要你冷却水系统设计的合理，你很容易根据每台炉子的压力表调整但台炉子的压力。
系统设计好后，因为每台炉子的内部水阻略有不同，所以会造成单台炉子之间以一定的压力不同，这是正常的。你可以根据每台炉子的压力表调整路子的进出水阀门，来调整压力。
;大兵 ;大兵 ;大兵
[quote]原帖由直线导轨于 2009-7-20 18:18 发表检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。检查一下再说吧！ ... [/quote]
但是过了一段后，直径控制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在１８００－１９００左右，一般出现直径变大这种情况是在６００－８００之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热．
直线导轨 2009-7-22 11:58
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-22 10:48 发表但是过了一
段后，直径控制好后，拉的很好，我们的棒子现在基本在１８００－１９００左右，一般出现直径变大这种情况是在６００－８００之间，我们的炉子的籽晶低速不是皮带带动的，电机只是温热． ... [/quote]
没有皮带，检查电磁离合器。另外还伴有什莫现象？
[quote]原帖由shenmou467于 2009-7-19 14:28 发表对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢 [/quote]
对于这个问题楼主已经说了很多原因我不再重复，不过最重要的是要找到主要原因。
京运通炉子经过机械调整晶转可以到13转（再向上本人也不可能100%做到）
需要调整炉子整体水平以及炉体各部分配合，炉体各配合面一定是金属面支撑不能是密封圈支撑，由炉底一级一级向上调整直到提拉头（必须保证提拉头水平抽空后不跑）。下一步调整提拉头本身，钢丝绳阻尼器是否磨损，钢丝绳是否垂直于阻尼孔，调整对中（判定下轴垂直后调整对中）。当然以上这些调整有部分是相当困难的（也是不可能调整到理想状态的）。所以我只能做到晶转13转（也因炉子情况而定本身资质好的炉子经过调整可以稳定上到16转）。
埚转，下轴一定要垂直水平面。石墨件问题我就不多说了，石墨件精度好的话埚转到10转没有问题（10转应该足够用了）。
还要注意导流筒据页面不可过近（氩气会吹得单晶晃）
当然引起晃得原因很多（楼主以说得比较全面了）以后我可以针对性解答。
液面抖动楼主忘记说外界震动了，外界震动很多很难排查。对与共振更是难上加难。不过可以根据震动的细微特征来判断出来针对性解决，希望能和大家一起探讨这些问题。
piy753 2009-7-22 15:42
[quote]原帖由tzlijf于 2009-7-19 21:50 发表华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因， 64525 64526 [/quote]
最常见的是阻尼器的粉末造成的，经常出现在新路子或更换钢丝绳或阻尼器后。
piy753 2009-7-22 15:52
[quote]原帖由SAD1375733于 2009-7-20 12:28 发表晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？
[/quote]
这是典型的工艺技术问题（首先要确定显示的拉速与实际是否相符）
头部波动大很正常，因为头部拉速相对要高（6寸单晶在1.5mm/min）反而温补要下降。过早的投入温度自控就造成控制不稳。建议拉速自控温效手控等径80mm以后再投温度自控。
piy753 2009-7-22 16:00
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-20 15:50 发表有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），
直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ ... [/quote]
直径突然变大控制问题占得概率要大，至于前兆肯定是有的只是你没有看到。至于为什么会突然变大我不在现场（细节现象我没有看到）很难能给你明确的答复。我建议让你们的设备工程师和工艺工程师（最好是一个人，像我一样;大笑）一起分析一下。
piy753 2009-7-22 16:05
[quote]原帖由XUCK于 2009-7-22 08:35 发表请教，怎样保证每一台单晶炉的供水压力都相同？ [/quote]
供水压力相同？我建议你换一种问法！
请教，怎样保证每一台单晶炉的供水与出水压力差都相同？
让设计长房的去做吧！
如果设计好了但达不到要求，就一台一台的调阀门吧（前提你的水循环系统总流量和主管道压力要够）！
安徽新大 2009-7-22 16:11
我们是京运通炉子等径250左右液面晃动怎样处理
piy753 2009-7-22 16:31
[quote]原帖由安徽新大于 2009-7-22 16:11 发表我们是京运通炉子等径250左右液面晃动怎样处理 [/quote]
这个问题要从细节去分析，我问几个条件问题，你告诉我答案，我判断一下原因给你提供参考方案。
1 炉子用了多长时间（什么时候出厂的）？
2 停过水吗？
3 炉子下面泡过水吗（尤其是丝杠和导轨）？
4 多大的系统？几寸单晶？
5 是一直震动吗？还是250mm左右震动过后就不震了？
piy753 2009-7-22 16:32
6 如果拉第二段也是同样振吗？
直线导轨 2009-7-22 16:55
piy753好样的！
piy753 你好！你的回答很好，谢谢前来捧场！
希望我们能给大家一个较好的技术咨询平台！
;握手 ;握手 ;握手 ;握手 ;握手 ;握手
人口吧 2009-7-23 08:51
[quote]原帖由piy753于 2009-7-22 16:00 发表直径突然变大控制问题占得概率要大，至于前兆肯定是有的只是你没有看到。至于为什么会突然变大我不在现场（细节现象我没有看到）很难能给你明确的答复。我建议让你们的设备工程师和工艺工程师（最好是一个人，像我一样;大 ... [/quote]
首先谢谢这位朋友的回答，因为这样的情况不是偶然发生的，是每一炉都出现这样的情况，我在没变大之前也观察过几炉，所有情况都很稳定，没出现什么异常情况，另外我们这边的炉子每一炉电脑上都有记录的，而且是每一秒记录一次．对照了前面几炉的数据，都是一样的情况
人口吧 2009-7-23 08:57
液面抖动
这个问题，我们这边也有，每次２００左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱线变宽，象树叶那样大，ＬＺ的提出的几个问题我们这边
以前也全试过的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动;大兵
直线导轨 2009-7-23 08:58
请问ＬＺ，电磁离合器该如何检查，呵呵
另外变大时晶体也会晃动
piy753 2009-7-23 09:03
还有一种可能就是在那个阶段这台路子的系统温度出现突变（一般是热系统没有弄好造成）建议吧热系统从新包裹一下。
注意：同样的热系统并不能说明他们在细节与微观上也相同，即使热系统尺寸结构都一样也不会100%相同！
像你说的这种情况可以从热系统工艺，拉晶工艺，设备控制技术，从组技术等方面都可以解决，但是单纯从任何一个方面解决这种问题都有一定困难（甚至可以说很难）。要综合各方面技术来解决才是最有效快捷的！
直线导轨 2009-7-23 09:09
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-23 08:57 发表这个问题，我们这边也有，每次２００左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱
线变宽，象树叶那样大，ＬＺ的提出的几个问题我们这边以前也全试过
的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动;大兵 ... [/quote]
说的对！循环水脉动也会对炉子有影响。
另外：氩气流量，热场分布，真空泵类型（旋片泵/滑阀泵/水环泵）都
会影响。
piy753 2009-7-23 09:13
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-23 08:57 发表这个问题，我
们这边也有，每次２００左右，而且第二段也会抖动，每一次抖都，棱
线变宽，象树叶那样大，ＬＺ的提出的几个问题我们这边以前也全试过
的都没解决，另外我觉得水的共振也会引起液面抖动;大兵 ... [/quote] 这种现象是典型的共振或下轴升降导轨磨损的典型特征，
对于共振有几种方法：
第一：除掉震源。
第二：破坏共振品率。（上面提到的共振是提拉头引起的）
对于下轴导轨磨损！
自己想吧！（彻底解决只有更换，将就的方法有很多！！！）
piy753 2009-7-23 09:16
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-23 08:59 发表请问ＬＺ，电磁离合器该如何检查，呵呵另外变大时晶体也会晃动 [/quote]
电磁离合器如何检查？
老大不用问这种问题好不好！;尴尬
变大会晃动是必然的！（他使氩气流动改变了）
直线导轨 2009-7-23 09:18
[quote]原帖由人口吧于 2009-7-23 08:59 发表请问ＬＺ，电磁离合器该如何检查，呵呵另外变大时晶体也会晃动 [/quote]
听你说了这莫多，看来你们的问题不是单独的。
本人很同意piy753兄的
意见:" 像你说的这种情况可以从热系统工艺，拉晶工艺，设备控制技术，从组技术等方面都可以解决，但是单纯从任何一个方面解决这种问题都有一定困难（甚至可以说很难）。要综合各方面技术来解决才是最有效快捷的"
管工艺的根本不知道维护设备即使知道也也很少去做，有多少工艺技术人员能真正领会其中的含义（你的所有技术是靠设备来完成的）。只知道调参数换热系统做一下统计工作的人都可以成为技术人员！悲哀呀！管设备技术的大多数人员会认为和民工苦力差不多，可实际呢？他可是一个系统能完成工作的底座和基础，又有多少人能意识到这点（尤其是老板们）？经常出现工艺技术的无能推到设备上面，可精通设备的人有几个精通单晶工艺的？悲哀呀！！
行政管理者有多少能起到生产组织协调作用的（有效作用，无用功不能算）？单晶工艺和设备技术有争议时有几个人能解决的？扣钱罚款不是目的能解决问题才是真的！不等于罚款了问题就没有了！悲哀呀！！！操作工是一群被太阳能热产生的泡沫淹没的孩子！操作工现在都可以称得上是大爷了！（没有大观念转变）。最终结果就是挖完的坑会成为自己的坟墓！悲哀呀！！！！
直线导轨 2009-7-23 11:44
强烈赞同！piy753兄
从技术干到管理，是技术人员蜕变！
因为你懂，你就的必须忍受----“众人皆醉我独醒”的困惑和无奈！chyc1221 2009-7-23 12:31
都是高手！我啥也没看明白
我追究知道真空泵
哈哈
piy753 2009-7-23 13:03
我并不是什么高手！只不过现在滥竽充数的人太多了（太能忽悠了）！让我这个性格内向的人没有立足之地了！
不过悲惨的不是我而是那些拿钱出来的老板们（我感觉他们的头好大呀）！
小海哥 2009-7-24 10:54
大家都是高手，
菜鸟问一个简单的问题：
为什么取完棒子后钢丝绳（或者钼丝、或者钨丝）会自己转起来呢？piy753 2009-7-24 11:18
单晶的重量拉长了螺旋的钢丝绳，待释放后钢丝绳收缩（收缩就要收紧钢丝绳）所以自己就转起来了！
一定要让重锤慢慢转动避免向回转！
咖啡的味道 2009-7-24 12:55
飞车
请教各位师傅们，我们厂的炉子《京运通的》在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小。《电脑显示失控了》退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了。请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫做飞车呢？
piy753 2009-7-24 13:33
[quote]原帖由咖啡的味道于 2009-7-24 12:55 发表请教各位师傅们，我们厂的炉子《京运通的》在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小。《电脑显示失控了》退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了。请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫 ... [/quote]
在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小：这是取光数值反了造成的！
退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了：是因为你发现太晚了！虽然拉速降下来但是温度反应时延时的造成单晶被提断！
这种现象主要说明操作工不负责任（取光反了没即时退出自动）、不会温度控制（拉单晶玩的就是温控）
我不清楚这是在单晶生长的那个阶段出现的问题？如果在头部我建议你拉速自动温度手动拉100mm再投温度自动就没事了！
piy753 2009-7-24 13:34
[quote]原帖由咖啡的味道于 2009-7-24 12:55 发表请教各位师傅们，我们厂的炉子《京运通的》在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小。《电脑显示失控了》退出自动手动拉时拉速放的很低时把棒给提了。请问师傅们问题可能会出现在哪些地方？是不是这种现象叫 ... [/quote]
根据你的描述这不是设备问题！是你的工艺和操作问题！
咖啡的味道 2009-7-24 18:15
谢谢，《在等径自动时出现拉速过快晶升小盒数值变大，棒直径变小：这是取光数值反了造成的！》这个怎么解释，你是说的是依尔根，呢还是热偶，请教。那这样的情况就是说不是飞车了，我想不通的就是他在自动时电脑显示曲线有尖刺，小盒拉速提的特别的快。
咖啡的味道 2009-7-24 18:18
我要补充的是出现这种情况都是棒拉到好长了，不是在头部出现的。
直线导轨 2009-7-24 18:43
[quote]原帖由咖啡的味道于 2009-7-24 18:18 发表我要补
充的是出现这种情况都是棒拉到好长了，不是在头部出现的。 [/quote] 这种情况出现几次？几台？
如果单台出现这种情况，你先校准一下晶升和锅升。
“
自动时电脑显示曲线有尖刺，小盒拉速提的特别的快”检查一下是不是
有外界干扰造成的。
解决问题，刚开始不要把问题想的太复杂，一点点排出！
回复 47# 的帖子
狂顶环欧的前辈，呵呵。。。。我很同意您的观点。工艺确实是有很
多问题说不太清楚，我门有时把液面抖动和晶帮晃动说成影响我门拉
晶，但是我拉过数据其影响不是很大，我认为有些拉晶问题是工艺问题，是设备问题是人员问题的综合因素，其实操作人员还是最重要的，因为
他是第一现场，有很多情况我们只能听他的描述，而不没有看到问题的
关键。工艺和生产确实是让设备作了不少的怨大头，个人感觉做工艺做
的最后是在做设备，没有工艺可以拉晶，没有设备只能拉鸟了，而这两
个方面都精通的确实不多。我有时侯真的想和设备的一起去清个波纹管
去拆个磁流体。。。没有机会呀。
shenmou467 2009-7-25 21:20