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传感器库存资料- 霍尼韦尔压力传感器型号霍尼韦尔压力传感器1.pdf

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霍尼韦尔压力传感器型号

霍尼韦尔压力传感器 142PC01D,142PC02D,142PC03D,142PC05D,142PC15D,142PC30D,142PC15A,142PC30A,142PC30G,141PC01D,141PC02D,141PC03D,141PC05D,141PC15D,141PC30D,143PC01D,143PC02D,143PC03D,143PC05D,143PC15D,143PC30D,141PC01G,141PC02G,141PC05G,142PC01G,142PC02G,142PC03G,142PC05G,142PC15G,163PC01D36,163PC01D48,163PC01D75,164PC01D76,163PC01D37,163PC01D76,161PC01D36,162PC01D36,164PC01D36,189PC15GM,189PC100GM,189PC150GM,ASCX01DN,ASCX05DN,ASCX15AN,ASCX15DN,ASCX30AN,ASCX30DN,ASCX100AN,ASCX100DN,ASCX150DN,ASCX150AN,ASDX015A24R,ASDX030A24R,ASDX100A24R,ASDX001G24R,ASDX005G24R,ASDX015G24R,ASDX020G24R,ASDX100G44R,ASDX001D44R,ASDX005D44R,ASDX015D44R,ASDX030D44R,ASDX100D44R,40PC001G2A, 40PC015G2A, 40PC100G2A, 40PC150G2A, 40PC250G2A, 40PC500G2A, 4040 PC001G2A, 4040PC015G2A, 4040PC100G2 A, 4040PC150G2A, 4040PC250G2A, 4040PC500G2A. 微压传感器 CPCL04DC,CPCL10DC,CPCL04DTC,CPCL10DTC,CPXL04DTC,CPXL10DTC,CPXL01DC,CPXL10DC,XPCL04DC,XPCL10DC,XPCL04DTC,XPCL10DTC,XPX50D,XPXL04DC,XPXL10DC,XPXL04DTC,XPXL10DTC,XSXL04D,XSXL10D,XSCL04DC,XSCL10DC,SDXL005D4,SDXL010D,SLP004D,SLP010D,DCXL01DN,DCXL05DN,DCXL10DN,DCXL20DN,DCXL30DN,DC001NDC4,DC002NDC4,DC005NDC4,DC010NDC4,DC020NDC4,DC030NDC4,DC001NDR4,DC002NDR4,DC005NDR4,DC010NDR4,DC020NDR4,DC030NDR4,DC001NDR5,DC002NDR5,DC005NDR5,DC010NDR5,DC020NDR5,DC030NDR5,DC2R5BDC4,DC005BDC4,DC075BDC4,DUXL01D,DUXL05D,DUXL10D,DUXL20D,DUXL30D。高精度智能压力传感器 HPB100,HPB200,HPA100,HPA200,PPT-R,PPT0015AWN2V A-A,RDD100 空气流量传感器气体气体质量流量传感器 AWM AWM2300V 土1升,无温补, mV输出气体质量流量传感器 AWM AWM3100V 200SCCM,1-5V输出,非线性气体质量流量传感器 AWM AWM3150V 30SCCM,1-3.4V输出,非线性气体质量流量传感器 AWM AWM3200V 2.0水柱,1-5V输出,非线性气体质量流量传感器 AWM AWM3201CR 0.5水柱,4-20mA输出,线性气体质量流量传感器 AWM AWM3300V 1000SCCM,1-5V输出,非线性气体质量流量传感器 AWM AWM43600V 6升,1-5V输出,非线性气体质量流量传感器 AWM AWM5101VN 5升,1-5V输出,线性气体质量流量传感器 AWM AWM5102VN 10升,1-5V输出,线性气体质量流量传感器 AWM AWM5104VN 20升,1-5V输出,线性气体质量流量传感器 AWM AWM720P1 200升,1-5V输出,线性电流传感器电流传感器 CS CSLA1CD 峰值57A,开环,8-16VDC供电电流传感器 CS CSLA1DJ 峰值225A,开环,8-16VDC供电电流传感器 CS CSLA1DK 峰值325A,开环,8-16VDC供电电流传感器 CS CSLA1EL 峰值625A,开环,8-16VDC供电电流传感器 CS CSLA2CD 峰值72A,开环,6-12VDC供电电流传感器 CS CSLA2GF 峰值125A,开环,6-12VDC 供电电流传感器 CS CSLA2EJ 峰值310A,开环,6-12VDC供电电流传感器 CS CSLA2EL 峰值550A,开环,6-12VDC供电电流传感器 CS CSLA2EN 峰值950A,开环,6-12VDC供电电流传感器 CS CSLH3A45 峰值45A,开环,4.5-10.5VDC供电,低成本电流传感器 CSN CSNE151-100 25/50A,闭环,土12-15VDC供电,初级线圈连接:8针电流传感器 CSN CSNX25DTS 磁阻电流传感器, 25/56A,闭环,5VDC供电,初级线圈连接:6针新电流传感器 CSN CSNP661 50/90A,土12-15VDC供电,穿孔电流传感器 CSN CSNF161 100/150A,土12-15VDC供电,穿孔电流传感器 CSN CSNR161 125/200A,土12-15VDC供电,穿孔电流传感器 CSN CSNS300M 300/600A,土15VDC供电,穿孔电流传感器 CSN CSNJ481 300/600A,土12-18VDC供电,穿孔电流传感器 CSN CSNK591 500/1200A,土12-24VDC供电,穿孔温度传感器温度传感器 HEL HEL-700-T-1-A PT100,土0.1%互换性,径向铂带引脚温度传感器 HEL HEL-700-U-1-A PT1000,土0.1%互换性,径向铂带引脚温度传感器 HEL HEL-707-U-0-12-00 PT1000,土0.2%互换性,12英寸玻璃纤维导线,两线(-75~540C) 温度传感器 HEL HEL-711-T-0-12-00 PT100,土0.2%互换性,12英寸特氟隆导线,三线(-200~260C) 温度传感器 HEL HEL-776-A-T-1 PT100,土0.1%互换性,铜引脚,4.5*3mm2,-55~150C 温度传感

器 HEL HEL-776-A-U-1 PT1000,土0.1%互换性,铜引脚,4.5*3mm2,-55~150C 温度传感器 HEL HEL-777-A-U-1 PT1000,土0.1%互换性,铜引脚,4.5*4.5mm2,,-55~150C 温度传感器 TD TD5A 硅热敏电阻湿度传感器湿度传感器 HIH HIH-3602-C TO5,带烧结滤网, pt1000电阻湿度传感器 HIH HIH-3602-L-CP 带开槽镍帽,6针TO-39封装湿度传感器 HIH HIH-3610-003 塑封,0.1引脚间距,带打印数据弱磁传感器 HMC/HMR HMC1001 单轴,土2高斯,分辨率27微高斯弱磁传感器弱磁传感器 HMC/HMR HMC1002 双轴,土2高斯,分辨率27微高斯弱磁传感器 HMC/HMR HMC1021S 单轴,土6高斯,分辨率85微高斯,引脚排列2*4 弱磁传感器 HMC/HMR HMC1021Z 单轴,土6高斯,分辨率85微高斯,引脚排列1*8 弱磁传感器 HMC/HMR HMC1022 双轴,土6高斯,分辨率85微高斯弱磁传感器 HMC/HMR HMC1023 三轴,土6高斯,未放大弱磁传感器 HMC/HMR HMC1052 双轴,土6高斯,分辨率120微高斯,表面贴装小尺寸,引脚排列2*5 弱磁传感器 HMC/HMR HMC1501 土45C,分辨率0.07度弱磁传感器 HMC/HMR HMC1512 土90C,分辨率0.07度弱磁传感器 HMC/HMR HMC2003 三轴,土2高斯,0.5-4.5VDC输出弱磁传感器 HMC/HMR HMR2300-D21-232 三轴磁场计,232接口弱磁传感器 HMC/HMR HMR2300-D21-485 三轴磁场计,485接口弱磁传感器 HMC/HMR HMR2300-DEMO-232 三轴磁场计,演示模块,232接口弱磁传感器 HMC/HMR HMR3000-D21-232 三轴罗盘,232接口,方向精度0.5度弱磁传感器 HMC/HMR HMR3000-D21-485 三轴罗盘,485接口,方向精度0.5度弱磁传感器 HMC/HMR HMR3000-DEMO-232 三轴罗盘,演示模块,232接口,方向精度0.5度弱磁传感器 HMC/HMR TDCM3 双轴罗盘,方向精度3度弱磁传感器 HMC/HMR TDCM3-DEMO 双轴罗盘,方向精度3度,演示模块弱磁传感器 HMC/HMR HMR3200 双轴罗盘,方向精度1度弱磁传感器 HMC/HMR HMR3200-DEMO-232 双轴罗盘,方向精度1度,演示模块弱磁传感器 HMC/HMR HMR3300 三轴罗盘,方向精度1度弱磁传感器 HMC/HMR HMR3300-DEMO-RS232 三轴罗盘,方向精度1度,演示模块液位传感器液位传感器 LL LL101101 高温,M12*1螺纹,外部安装液位传感器 LL LL103101 高温,M12*1螺纹,内部安装液位传感器 LL LLE102000 常温,M12*1螺纹,外部安装,加强型液位传感器 LL LLE105000 常温,压入型,外部安装,加强型液位传感器 LRN LRNH31S42 水平安装型,尼龙,单刀单掷压力开关 PBN PBN1B332-R6 40mA,5mm倒钩径向口,10-50水柱压力开关 PBN PBN3E421-R9 16A,4mm光滑平行口,416-1109水柱旋转位置传感器 RPN RPN1A112 90度测量,-25~85C,6mm平滑驱动轴红外金属接收三极管 SD SD1440-004L (1) 同轴封装,负极带引脚红外金属接收三极管 SD SD2440-004 (2) 子弹型红外金属接收三极管 SD3443-002 (3) 平面镜,接收角度90 红外金属接收三极管 SD SD5443-003 (4) 球面镜,接收角度20 红外金属接收三极管 SD SDP8405-003 (5) 接收角度20,TO-1 红外金属接收三极管 SD SDP8406-002 (6) 接收角度50,侧接收红外金属接收施密特管 SD SD5600-001 球面镜,接收角度6 红外塑料接收施密特管 SD SDP8604-301 接收角度55,侧接收红外金属发光二极管 SE SE1450-003L (1) 935nm,同轴封装,负极带引脚红外金属发光二极管 SE SE2470-002 (2) 880nm,子弹型红外金属发光二极管 SE SE3470-003 (3) 880nm,平面镜,发光角度90 红外金属发光二极管 SE SE5470-003 (4) 880nm,球面镜,发光角度20 红外塑料发光二极管 SE SEP8705-002 (5) 880nm,发光角度15,TO-1 红外塑料发光二极管 SE SEP8706-003 (6) 880nm,发光角度50,侧发光红外反射式组件 HOA HOA0709-011 3.8mm感应距离,接收为达林顿管红外反射式组件 HOA HOA2498-002 6.4mm感应距离,接收为三极管红外对射式组件 HOA HOA0865-T51 槽宽3.2mm,带2个安装耳朵,接收为三极管红外对射式组件 HOA HOA0870-N51 槽宽 3.2mm,不带安装耳朵,接收为三极管红外对射式组件 HOA HOA0890-T51 槽宽 3.2mm,2个安装耳朵,接收为三极管,带引线红外对射式组件 HOA HOA0963-T51 槽宽3.2mm,2个安装耳朵,接收为施密特管红外对射式组件 HOA HOA1877-002 槽宽9.5mm,接收为三极管红外对射式组件 HOA HOA1882-013 槽宽 5.1mm,接收为达林顿管红外对射式组件 HOA HOA1884-012 槽宽3.2mm,接收为三极管,垂直安装

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E22-01 1M

E2CA-AL4C

E2CA-AL4D

E2CA-AL4E

E2CA-AL4F DC12-24 E2CA-AN4C

E2CA-AN4D

E2CA-AN4E

E2CA-AN4F AC100-240 E2C-AK4A

E2C-AM4A

E2CA-X10A 3M

E2CA-X10A 5M

E2CA-X1R5A 3M

E2CA-X1R5A 5M

E2CA-X2A 3M

E2CA-X2A 5M

E2CA-X5A 3M

E2CA-X5A 5M

E2C-C1A 3M

E2C-C20MA 3M

E2C-C2AH-1 3M

E2C-CR5B 3M

E2C-CR5B2 3M

E2C-CR8A 3M

E2C-CR8B 3M

E2C-CR8B 5M

E2CD-C1C3A

E2CD-C1R5C3A

E2CD-X2R5C3A

E2CD-X5C3A

E2C-GE4A

E2C-GE4B DC12-24

E2C-GF4A

E2C-GF4B DC12-24

E2C-H15M-1 3M

E2C-JC4A 2M

E2C-JC4AP 2M

E2C-JC4CH 2M

E2C-JC4CH-1 2M

E2C-JC4DH 2M

E2C-JC4EH 2M

E2C-T11 2M

E2C-T16

E2C-WH4A DC12-24

E2C-WH4AF DC12-24 E2C-X10A 3M

E2C-X1A 3M

E2C-X1R5A 3M

E2C-X1R5A-3 3M

E2C-X1R5A-4 3M

E2C-X1R5A-5 1.5M

E2C-X1R5AH 3M

E2C-X1R5AH 5M

E2C-X1R5AH-1 3M

E2C-X2A 3M

E2C-X2AH 3M

E2C-X5A 3M

E2C-X5AH 3M

E2C-X5AH 5M

E2CY-C2A 3M

E2CY-C2AF 3M

E2CY-C2AF 5M

E2CY-T11 2M

E2CY-T16

E2CY-V3A 3M

E2CY-X1R5A 3M

E2E2-X10B1 2M

E2E2-X10B1 5M

E2E2-X10B1-M1

E2E2-X10B2 2M

E2E2-X10B2-M1

E2E2-X10C1 2M

E2E2-X10C1 5M

E2E2-X10C1-M1

E2E2-X10C2 2M

E2E2-X10C2-M1

E2E2-X10D1 2M

E2E2-X10D1 5M

E2E2-X10D15 2M

E2E2-X10D2 2M

E2E2-X10MB1 2M

E2E2-X10MB1 5M

E2E2-X10MB1-M1

E2E2-X10MB2 2M

E2E2-X10MB2-M1

E2E2-X10MC1 2M

E2E2-X10MC1 3M

E2E2-X10MC1 5M

E2E2-X10MC2 2M

E2E2-X10MC2-M1

E2E2-X10MY1 2M

E2E2-X10MY1 5M

E2E2-X10MY1-M4

E2E2-X10MY1-US 2M E2E2-X10MY1-US 5M E2E2-X10MY2 2M

E2E2-X10MY2-M4

E2E2-X10MY2-US 2M E2E2-X10MY2-US 5M E2E2-X10Y1 2M

E2E2-X10Y1 5M

E2E2-X10Y1-M4

E2E2-X10Y1-US 2M E2E2-X10Y1-US 5M E2E2-X10Y2 2M

E2E2-X10Y2-M4

E2E2-X10Y2-US 2M E2E2-X10Y2-US 5M E2E2-X14MD1 2M

E2E2-X14MD1 5M

E2E2-X14MD15 2M

E2E2-X14MD2 2M

E2E2-X18MB1 2M

E2E2-X18MB1 5M

E2E2-X18MB1-M1

E2E2-X18MB2 2M

E2E2-X18MB2-M1

E2E2-X18MC1 2M

E2E2-X18MC1 5M

E2E2-X18MC1-M1

E2E2-X18MC2 2M

E2E2-X18MC2-M1

E2E2-X18MY1 2M

E2E2-X18MY1 5M

E2E2-X18MY1-M4

E2E2-X18MY1-US 2M E2E2-X18MY1-US 5M E2E2-X18MY2 2M

E2E2-X18MY2-M4

E2E2-X18MY2-US 2M E2E2-X18MY2-US 5M

E2E2-X20MD1 5M E2E2-X20MD15 2M E2E2-X20MD2 2M E2E2-X2B1 10M

E2E2-X2B1 2M

E2E2-X2B1 3M

E2E2-X2B1 5M

E2E2-X2B1-M1

E2E2-X2B2 2M

E2E2-X2B2-M1

E2E2-X2C1 2M

E2E2-X2C1 3M

E2E2-X2C1 5M

E2E2-X2C1-M1

E2E2-X2C2 2M

E2E2-X2C2-M1

E2E2-X2Y1 2M

E2E2-X2Y1 5M

E2E2-X2Y1-M4

E2E2-X2Y1-US 2M E2E2-X2Y1-US 5M E2E2-X2Y2 2M

E2E2-X2Y2-M4

E2E2-X2Y2-US 2M E2E2-X2Y2-US 5M E2E2-X3D1 2M

E2E2-X3D1 3M

E2E2-X3D1 5M

E2E2-X3D15 2M

E2E2-X3D2 2M

E2E2-X5B1 2M

E2E2-X5B1 5M

E2E2-X5B1-M1

E2E2-X5B2 2M

E2E2-X5B2-M1

E2E2-X5C1 2M

E2E2-X5C1 5M

E2E2-X5C1-M1

E2E2-X5C2 2M

E2E2-X5C2-M1

E2E2-X5MB1 2M E2E2-X5MB1 5M

西门子新传感器型号

传感器产品线经过一段时间的型号替代,目前已经形成了一个清晰完整的产品系列,并对型号命名进行了统一整合,统称为Symaro,其应用范围含盖了温度、湿度、压力、空气质量以及太阳辐射、风速传感等领域。同时还发布了传感器选型软件SESP,可以方便直观的选择各种传感器,并查看基本参数及详细技术资料。 Symaro系列除了提供一般应用的传感器以外,还提供在制药、食品、造纸和电子工业等应用中具有特殊需求的传感器。所有传感器在推向市场前都在实验室和现场经过了完整测试。同时,原使用型号将逐渐被统一型号后的Symaro所代替,具体型号变更和价格信息见下。

西门子楼宇新老传感器的更改对照表:

原有产品型号产品描述替换产品型号

QAM22 风管式温度传感器QAM2120.040

QAM22.2 风管式温度传感器QAM2120.200

QAM22.6 风管式温度传感器QAM2120.600

QAE22A 浸入式温度传感器QAE2120.010

QAE22.5A 浸入式温度传感器QAE2120.015

QAE22 浸入式温度传感器QAE2121.010

QAE22.2 浸入式温度传感器QAE2122.013

QAE160B.1-120 浸入式温度传感器QAE2164.010

QAE160B.2-121 浸入式温度传感器QAE2164.015

QAE170B.1-120 浸入式温度传感器QAE2174.010

QAE170B.2-120 浸入式温度传感器QAE2174.015

QFM65 风管式湿度传感器QFM2160

QFA66/C 室内湿度传感器QFA4160

AQF21.1 室外安装附件AQF3100

HONEYWELL 传感器型号大全

模拟量霍尔 103SR3F-5,SS49,SS19,SS19T,SS495A,SS495A1,SS495A2,SS94A1,SS94A1B,SS94A1E,SS94A1F,SS94A2,SS94A2C,SS94A2D,SS94B1。内置磁铁霍尔传感器 2A V54,1GT101DC,GTN1A111,GTN1A112,GTN1A113,GTN1A114,GTN1A115,GTN1A116,GTN1A117,GTN1A211,GTN1A131,VX10,VX80,VX10-A1,VX80-A1,VX10-A2,VX80-A2,VX10-A3,VX80-A3,VX10-B1,VX80-B1,VX10-C1,VX80-C1,RPN1A112。带放大压力传感器 142PC01D,142PC02D,142PC03D,142PC05D,142PC15D,142PC30D,142PC15A,142PC30A,142PC30G,141PC01D,141PC02D,141PC03D,141PC05D,141PC15D,141PC30D,143PC01D,143PC02D,143PC03D,143PC05D,143PC15D,143PC30D,141PC01G,141PC02G,141PC05G,142PC01G,142PC02G,142PC03G,142PC05G,142PC15G,163PC01D36,163PC01D48,163PC01D75,164PC01D76,163PC01D37,163PC01D76,161PC01D36,162PC01D36,164PC01D36,189PC15GM,189PC100GM,189PC150GM,ASCX01DN,ASCX05DN,ASCX15AN,ASCX15DN,ASCX30AN,ASCX30DN,ASCX100AN,ASCX100DN,ASCX150DN,ASCX150AN,ASDX015A24R,ASDX030A24R,ASDX100A24R,ASDX001G24R,ASDX005G24R,ASDX015G24R,ASDX020G24R,ASDX100G44R,ASDX001D44R,ASDX005D44R,ASDX015D44R,ASDX030D44R,ASDX100D44R,40PC001G2A, 40PC015G2A, 40PC100G2A, 40PC150G2A, 40PC250G2A, 40PC500G2A, 4040PC001G2A, 4040PC015G2A, 4040PC100G2A, 4040PC150G2A, 4040PC250G2A, 4040PC500G2A. 微压传感器 CPCL04DC,CPCL10DC,CPCL04DTC,CPCL10DTC,CPXL04DTC,CPXL10DTC,CPXL01DC,CPXL10DC,XPCL04DC,XPCL10DC,XPCL04DTC,XPCL10DTC,XPX50D,XPXL04DC,XPXL10DC,XPXL04DTC,XPXL10DTC,XSXL04D,XSXL10D,XSCL04DC,XSCL10DC,SDXL005D4,SDXL010D,SLP004D,SLP010D,DCXL01DN,DCXL05DN,DCXL10DN,DCXL20DN,DCXL30DN,DC001NDC4,DC002NDC4,DC005NDC4,DC010NDC4,DC020NDC4,DC030NDC4,DC001NDR4,DC002NDR4,DC005NDR4,DC010NDR4,DC020NDR4,DC030NDR4,DC001NDR5,DC002NDR5,DC005NDR5,DC010NDR5,DC020NDR5,DC030NDR5,DC2R5BDC4,DC005BDC4,DC075BDC4,DUXL01D,DUXL05D,DUXL10D,DUXL20D,DUXL30D。高精度智能压力传感器 HPB100,HPB200,HPA100,HPA200,PPT-R,PPT0015AWN2V A-A,RDD100。

KEYENCE 基恩士传感器、KEYENCE基恩士特价/ KEYENCE基恩士激光传感器/ KEYENC 基恩士PLC/ KEYENCE基恩士计数器

KEYENCE基恩士特价EM-010、EM-014、EM-054、EM-080、ES-32DC、ES-11AC、KEYENCE基恩士特价ES-12AC、ES-M1、ES-X38、ET-110、ET-90、ET-305、ET-308、KEYENCE基恩士EV-108M、EV-108U、EV-130U、EV-112M、EV-118M、EV-118U、KEYENCE基恩士特价EV-118F、EV-130M、EZ-8M、EZ-12M、EZ-18M、EZ-18、EZ-18T、KEYENCE基恩士特价EX-416、EX-305V、EX-V01、 EX-422、EH-110、EH-110S、EH-108、、EH-114、PZ2-51、

F-2/F-3/F-4/F-2HA/F-3HA/F-4HA/F-1/F-5HA

FS-V21,/FS-V22/FS-V21R/FS-V21RP/FS-V11, FS-V31 ,FS-V33,

FU-35FA/FU-35FZ/ FU-12/ FU-5F/ FU-5FZ/ FU-56/

FU-59/ FU-7F/ FU-71/ FU-73/ FU-75F/ FU-21X/ FU-25

FU-4F/ FU-4FZ/ FU-43/ FU-45X/ FU-46/ FU-48/ FU-49X

FU-85/ FU-18/FU-16/ FU-32/ FU-76F/ FU-77/ FU-77V/

FU-78/ FU-79/ FU-84C/ FU-86/ FU-88/ FU-6F/ FU-61

FU-65X/ FU-66/ FU-66Z/ FU-67/ FU-67V/ FU-67G/

FU-83C/ FU-87/ FU-56/ FU-38V/ FU-82C/ FU-69X/

FU-77G/ FU-63/ FU-68/ FU-63Z。。。。。。。。

FD-F705/FD-F707/7FD-F41/FD-F91/FD-F4/FD-F9/FD-F8Y/

日本基恩士KEYENCE接近传感器接近传感器:EM-030、EM-038、EM-080、EM-054、EM-005、EM-010、

EM-014、EZ-8M、EZ-12M、EZ-18T、EZ-30M、EV-108M、EV-118M、EV-130M、EH-302、EH-303A、EH-305、

EH-308、EH-108、EH-114、EH-290、ES-M1、ES-M2、ED-118M、ED-130M、ET-305、ET-308、SH-305、

SH-110、SH-114、SH-302、ES-32DC、ES-X38等EM/EZ/EH/ED/ET/SH

光纤传感器:放大器系列FS2-60、FS2-60P、FS2-62、FS2-65、FS-V11、FS-V12、FS-V21、FS-V22、

FS-V21R、FS-V22R、FS-V1、FS-M1、FS-M2、FS-T1、FS-T2、CZ-V1、LV-21A、LV-11A;光纤模组:FU-10、FU-11、FU-12、FU-20、FU-21X、FU-22X 、FU-23X 、FU-22、FU-23、FU-25、FU-31、FU-32、FU-35FA、FU-35FZ 、FU-36X 、FU-37、FU-38、FU-42、FU-43、FU-4F、FU-4FZ、FU-45X、FU-49X 、FU-5F、FU-5FZ、FU-59、FU-63、FU-63Z、FU-65X 、FU-6F、FU-66、FU-66Z、 FU-67、FU-68、FU-71、FU-7F、FU-77、FU-77V、FU-78、FU-79、FU-83C、FU-85、FU-95、FU-95Z、CZ-10、CZ-40、LV-H32、LV-H42、LV-H62

日本基恩士KEYENCE 光电传感器光电传感器:PZ-101、 PZ-41、PZ-42、PZ-51、PZ-61、PZ2-41、PZ2-42、PZ2-51、PZ2-61、PZ2-62、PZ-M11、PZ-M31、PZ-M51、PZ-M61、PZ-M71、PZ-V11、PZ-V31、PZ-V71等PZ/PZ2系列;PQ-01、PQ-02、PS-201、PS-202、PS-25、PS-45 、PS-46、PS-47、PS-48、PS-55、PS-56、PS-205、PS-206、PS-55、PS-58、PS-T1、PS-T2、PS-TO、PS2-61、PS-X18、 PS-X28、、等系列

FT-F902/FT-F905/FT-Z802Y/

EX-F71/EX-F72/EX-F61/EX-F62/ EX-F1/

特殊用途传感器

金属双重重叠监测器

GD-C1/GD-C2/GD-C3/GD-3/GD-10/GD-20/

水检测传感器

EZ-11/

接近传感器

低价/小型接近传感器(GXL-8型/GXL-N12型/GXL-15型)/

GL-8F/GL-8FI/GL-8FB/GL-8FIB/GL-8H/GL-8HI/GL-8HB/GL-

8HIB/GL-8FU/GL-8FUI/GL-8FUB/

GL-8FUIB/GL-8HU/GL-8HUI/GL-8HUB/GL-8HUIB/

低价/方型接近传感器

GL-N12F/GL-N12FI/GL-N12FB/GL-N12FIB/GL-N12H/GL-N12H

I/GL-N12HB/GL-N12HIB/

方型顶端检测接近传感器

GL-18H/GL-18HI/GL-18HB/GL-18HL/GL-18HLI/GL-18HLB/

直流双线圆柱型接近传感器

GX-5SU/GX-5SUB/GX-8MU/GX-8MUB/GX-12MU/GX-12MUB/GX-1

8MU/GX-18MUB/GX-30MU/

GX-30MUB/GX-8MLU/GX-8MLUB/GX-12MLU/GX-12MLUB/GX-18M

LU/GX-18MLUB/GX-30MLU/

直流三线圆柱型接近传感器

GX-N12M/GX-N12MB/GX-N18M/GX-N18MB/GX-N30M/GX-N30MB/

GX-N12ML/GX-N18ML/GX-N30ML/

小型接近传感器

GX-3S/GX-3SB/GX-4S/GX-4SB/GX-5S/GX-5SB/GX-5M/GX-5MB

/GX-8M/GX-8MB/GX-8ML/GX-8MLB/

超小型接近传感器(放大器GA-14/GA-15)

GH-2S/GH-3S/GH-5S/GH-8S/GH-F8S/

压力传感器

高性能数字压力传感器

DP2-20/DP2-21/DP2-22/DP2-60/DP2-80/DP3-20/DP3-80/

日本基恩士KEYENCE 光电传感器光电传感器:PZ-101、 PZ-41、PZ-42、PZ-51、PZ-61、PZ2-41、PZ2-42、PZ2-51、PZ2-61、PZ2-62、PZ-M11、PZ-M31、PZ-M51、PZ-M61、PZ-M71、PZ-V11、PZ-V31、PZ-V71等PZ/PZ2系列;PQ-01、PQ-02、PS-201、PS-202、PS-25、PS-45、PS-46、PS-47、PS-48、PS-55、PS-56、PS-205、PS-206、PS-55、PS-58、PS-T1、PS-T2、PS-TO、PS2-61、

PS-X18、 PS-X28、、等系列

KL-16CT FU-38S AP-52A KZ-C20

KL-32CX FU-40 AP-53A KZ-U4

KL-32CT FU-40G AP-80A KZ-U5

KL-8BXR FU-41IZ AP-81A KZ-H6W

KL-8BXT FU-21X AP-11 KZ-3H4

KL-8BLX FU-42 AP-12 KZ-3H4V

KL-8BLR FU-42T2 AP-13 KZ-3HA5W

KL-8BLT FU-43 AP-13F KZ-3HH1W

KL-16CX FU-45X AP-14 KV-H6WE2*

KL-T1 FU-46 AP-15 KV-E4R

KL-B1 FU-48 AP-15F KV-E4T

KL-C1A FU-49X AP-16 KV-E4X

KL-C1S FU-4F PJ-FC7 KV-E4XR

KL-4AD FU-4F2 PJ-F90 KV-E4XT

KL-2DA FU-50 KV-10AR KV-E4XTP

KL-2TF FU-51TZ KV-10AT KV-E8R

VT-10TB FU-52TZ KV-10ATP KV-E8T VT-10TC FU-53TZ KV-10DR KV-E8TP VT-10SB FU-54TZ KV-10DT KV-8X

VT-7SB FU-55 KV-10DTP KV-EB1

VT-7SR FU-56 KV-16AR KV-H1HW

VT-5SB(W) FU-58 KV-16AT KV-H1LW VT-5MB(W) FU-59 KV-16ATP KV-H1W VT-SW1 FU-5F KV-16DR KV-H1WE

VT-SW4 FU-5F2 KV-16DT KV-B16RA VT-SW6 FU-61 KV-16DTP KV-B16TA VT-L16Z FU-62Z KV-24AR KV-B16XA VT-16CA FU-63 KV-24AT KV-C32TA VT--H7W FU-63T KV-24ATP KV-C32XA VT-H7WE FU-632 KV-24DR KV-DA40 VT-A10 FU-65X KV-24DT KV-E16R

VT-A7 FU-66 KV-24DPT KV-E16T

VT-A5 FU-662 KV-40AR KV-E16TP

VT-C15R2 FU-67 KV-40AT KV-E16X VT-C5K1 FU-67G KV-40ADP KV-C64TA VT-C5K2 FU-67V KV-40DR KV-C64XA VT-C5A FU-68 KV-P16TL KV-D20

VT-C5F FU-6F KV-P16RL KV-D30

VT-C5R1 FU-69X KV-S1 MT-T1

VT-C5R2 FU-71 KV-700 MT-T2

VT-D1 FU-712 KV-AD40 MT-T3

VT2-12FB FU-73 KV-40DT MT-150

VT2-10FB FU-75F KV-40DPT MT-100 VT2-10TB FU-76F KV-P16T MT-450(B) VT2-10SB FU-77 KV-P16R MT-250(B) VT2-8TB FU-77G KV-H20 MT-260(B) VT2-7SB FU-77V KV-H20X MT-1

VT2-5TB/W FU-78 KV-H40X MT-C5

VT2-5SB/W FU-79 KV-H20G MT-C10 VT2-5MB/W FU-7F KV-HC1 MT-C20 VT2-B12 FU-81C KV-HC2 MT-A1

VT2-B10 FU-82C KV-HC3 MT-A2

VT2-B8 FU-83C KV-HC4 MT-H6WA

VT2-B7 FU-84C KV-HM1 MT-3H1

VT2-B5 FU-85 KV-HM2 MT-3H5A

VT2-D2 FU-852 KV-HM3 MS-107

VT2-H1* FU-86 KV-HM4 MS-F07

VT2-H1E FU-862 KV-HM5 MS-H100

VT2-P1 FU-87 KV-HM6 MS-H150

VT2-E1 FU-88 KV-HM7 MS-H50

VT2-R1 FU-91 KV-HPD1 MS-H75

FS-V21 FU-92 KV-HTC1 HI-01T

FS-V22 FU-93 KV-HTC2 HI-02T

FS-V21G FU-93Z KV-HTC3 HI-04T

FS-V22G FU-94C KV-HTC4 HI-07T

FS-V21RP FU-95 KV-HTC5 HI-15T

FS-V22RP FU-95H KV-HTC6 HI-22T

FS-V21X FU-95Z KV-P3E HI-P1

FS-V22X FU-95S KV-SC20 HI-H1W

FS-V21R FU-96 KV-TF40 MV-22

FS-V22R S-P11(12) KV-U7 MV-21

FS-V20R S-P01 DB-H1 MV-42

FS-V21RM PW-41 KV-HTC6 MV-41

FS-H1D PW-41J KV-HTE1 MV-72

FS-RS1 PW-51 KV-L20 MV-20

FS-V10 PW-51J KV-LE20 MV-40

FS-V11 PW-61 KZ-40R MV-70

FS-V12 PW-61J KZ-40T MV-M05

FS-V1(P) LX-130 KZ-80R MV-M05D

FS-T1(P) LX-132* KZ-10R MV-M10

FS-T2(P) LX2-01 KZ-10T MV-M10D

FS-T1G LX2-02 KZ-16R MV-20

FS-M1(P) LX2-03 KZ-16T MV-20K

FS-M2(P) LX2-100 KZ-24R MV-M40

FS-M1H LX2-11(W) KZ-24T MV-M40K

FS-T0 LX2-110(W) KZ-80T MV-M75

FS-W0 LX2-12(W) KZ-8ER MV-M75K

FS-R0 LX2-13(W) KZ-8ET MV-MB05

FS-R3 LX2-50 KZ-8EX MV-M05D

FS-T20 LX2-70(W) KZ-8EYR MV-B10

FS2-60(P) LX2-V10 KZ-8EYT MV-B100

FS2-62(P) LX2-V10W KZ-16EX MV-B20

FS2-65(P) AP-31A(ZA) KZ-16EYR MV-B20K FS2-60G AP-32A(ZA) KZ-16EYT MV-B40 FS-X18 AP-33A(ZA) KZ-AD4 MV-B40K

FS-17(P) AP-34A(ZA) KZ-DA4 MV-B75

FU-10 AP-C30 KZ-U2 MV-B75K

FU-11 AP-C31 KZ-U3 MV-H1

FU-12 AP-C33 KZ-A500 MV-C10

FU-13 AP-C40 KZ-300 MV-C20

FU-15 AP-B01 KZ-350 MV-D3

FU-16 AP-B02 KZ-C16X MV-E3

FU-16Z AP-B03 KZ-32X MV-E5

FU-18 AP-B04 KZ-B16R MV-E10

FU-20 AP-B05 KZ-B16X MV-E20

FU-21X AP-A01 KZ-C32T MV-C3

FU-22X AP-AO2 KZ-R1A MV-C5

FU-23X AP-V41 KZ-R8X MV-D5

FU-24X AP-V42 KZ-R16X MV-D10

FU-25 AP-40A KZ-R8R MV-D20

FU-31 AP-402A KZ-R16R MV-W1

FU-32 AP-40RA KZ-R8T MV-W3

FU-33 AP-41 KZ-R16T M-2

FU-34 AP-41M KZ-L1 M-3

FU-35FA AP-43 KZ-L2 FD-81

FU-35FZ AP-44 KZ-L10 FD-82

FU-35FG AP-47 KZ-AN6 FD-83

FU-37 AP-48 KZ-H2 FD-P05

FU-38(V) AP-51ZA KZ-HP1 FD-P20

FU-38H AP-52ZA KZ-TC4 FD-P50

FU-38K AP-53ZA KZ-TH4 FD-F04

FU-38R AP-51A KZ-T3 FD-F20

FD-V70 PZ-W63 TF3-11(V) PS-52

FD-V75 PZ-W71(W75) TF3-12(V) PS-55C

SL-C08H PZ-V11(V11P.V15) TF3-13(V) PS-55 SL-C12H PZ-V13 TF4-10 PS-56

SL-C16H PZ-V31(V31P.V35) TF4-10V PS-58 SL-C20H PZ-V33 TF-K13 PJ-K232

SL-C24H PZ-V71(V75) TF-K13A PJ-K240

SL-C28H PZ-B01 TF-C11 PJ-K248

SL-C32H PZ-B11 TF-C12 PJ-K256

SL-C36H PZ-B21 TF-C13 PJ-K264

SL-C40H PZ-B22 TF-C31 PJ-K416

SL-C44H PZ-B31 TF-C32 PJ-K420

SL-C48H PZ-B32 TF-C33 PJ-K424

SL-C52H PZ-B41 TF-D43 PJ-K428

SL-C56H PZ-B51 TF-A31 PJ-K432

SL-C60H PZ-B61 TF-A42 PJ-L20

SL-C64H PZ-B701 TF-A43 PJ-L21

SL-R11 PZ-B711 TF-B43 PJ-L22

SL-U2 PZ-B761 HC-50 PJ-L40

SL-P7P PZ-S10 HC-55 PJ-L41

SL-P7N PZ-S20 HC-P1 PJ-L42

SL-PC5P A-1 HC-3H1 PJ-G20

SL-PC5N A-2 RC-11 PJ-G21

SL-PC10P A-3 RC-12 PJ-G22

SL-CC10PT A-4 RC-13 PJ-G90

SL-CC10PR A-5 RC-14 PJ-G91

SL-CC10NT EH-308 RC-15 PJ-GC2T SL-CC10NR EH-308S* RC-16 PJ-GC2R SL-CSP EH-402 RC-18 PJ-GC5T

SL-CSN EH-416 RC-19 PJ-GC5R

SL-S1 EH-422 RC2-21 PJ-GC7T

SL-S3 EH-430 RC2-21V PJ-GC7R

PJ-50A EH-440 RC2-22 PJ-V20

PJ-55A EH-605 RC2-23 PJ-V21

PJ-56 EH-614A RT-13 PJ-V22

PJ-S08 EH-910 RT-14 PJ-V40

PJ-S12 EZ-8M VS-160 PJ-V41

PJ-S16 EZ-12M CA-150* PJ-V42

PJ-S20 EZ-18M FU-22X PJ-V90

PJ-S24 EZ-30M F-1 PJ-V91

PJ-B04 EZ-18T F-2 PJ-VC2T

PJ-B06 EV-12M F-4 PJ-VC2R

PJ-B08 EV-18M F-5 PJ-VC5T

PJ-B10 EV-30M F-2HA PJ-VC5R

PJ-B12 EV-108M F-3HA PJ-VC7T

PJ-B14 EV-112M F-4HA PJ-VC7R

PJ-B16 EV-118M F-5HA PQ-01

PJ-B20 EV-130M F-6HA PQ-02

PJ-B24 EV-108U FS-L70 P1-G70

PJ-B28 EV-112U FS-L71 P1-G71

PJ-F20 EV-118U FS-L40 PG-610

PJ-F20C EV-130U FS-L41 PG-602

PJ-F21 EV-112F FS-L50 ES-11AC

PJ-F22 EV-118F FS-L51 ES-12AC

PJ-F40 EV-130F F-20 ES-21AC

PJ-F40C EM-030(P) LV-11A ES-32DC Z-1 EM-038(P) LV-20A ES-W1

VT2-V1 EM-054(P) LV-21A(P) ES-W2 VT2-V4 EM-080(P) LV-22A(P) ES-X38 QL-S2X EM-005(P) LV-21P.22P EH-10B PS-47C EM-010(P) LV-51M EH-11D PS-47 EM-014(P) LV51MP EH-11DS* PS-49C ET-90 LV-52 EH-114

PS-49 ET-305 LV-52P EH-290*

PS-201C ET-308 LV-H100 EH-302

PS-201 ET-110 LV-H300 EH-303A

PS-202 ED-118M LV-H32 EH-305

PS-205 ED-130M LV-H35 EH-305S*

PS-206 ED-118U LV-H37 PJ-F42

PS-05 ED-130U LV-H42 KL-16BX

PZ-41(P) TA-340 LV-H41 KL-16BT

PZ-41L(P) TH-305 LV-H47 KL-16BR

PZ-42(P) TH-310 LV-H51 QL-S2T

PZ-42L(P) TH-315 LV-H52 QL-S1XT

PZ-51(P) TH-320 LV-H62 QL-E4X

PZ-51L(P) TH-105 LV-H64 QL-E4T

PZ-61(P) TH-107 LV-H65 QL-E4R

PZ-61L(P) TH-110 LV-H67 QL-E4M

PZ-101P TH-515 LV-L01 QL-R01

PZ2-41(P) TH-520 LV-L02 QL-C1

PZ2-42(P) CU-21A R-6 QL-C2

PZ2-51(P) CU-21TA R-7 QL-C3

PZ2-61(P) AG-80 CZ-V1 QL-W20

PZ2-62(P) AG-410 CZ-10 QL-W100

PZ2-41D(P) AG-411 CZ-11 KL-N10V

PZ2-42D(P) AG-412 CZ-12 KL-N20A

PZ2-61D AG-413 CZ-40 KL-N20C

PZ2-41ECO VP-90 CZ-41 DB-H1-5

PZ2-42ECO VP-91M CZ-60 DB-H1L

PZ2-S1ECO PJ-F41 PS-T1(P) DB-H1L-5

PZ2-S1ECO KL-N20V PS-T2(P) DB-H1UP

PZ2-CTO5 KL-N20Z PS-T0 DT-M256

PZ2-CHO5 TF1-10(K)] PS-25 DT-M512

PZK11(W11P.W15) TF-11(K) PS-26 QL-B1

PZ-W13 TF-15(K) PS2-61(P) QL-B1C

PZ-W31(W31P.W35) TF2-21 PS-X28 QL-S1X

PZ-W33 TF2-22 PS-45 DB-H1PV

PZ-W51(W51P) TF2-31 PS-46 DT-100

PZ-W53 TF2-32 PS-48 DT-H1

PZ-W61(W61P.W55) TF3-10(V) PS-52C DT-M128 IFM传感器型号列表

感式传感器IF5860 IFA3002-ANKG RT

电感式传感器IF5861 IFA3004-BPKG RT

电感式传感器IF5862 IF-3002-ANKG RT

电感式传感器IF5863 IFA3002-BPKG RT

电感式传感器IF5864 IFA3004-ANKG RT

IF5865 IF-3002-BPKG RT

IF5866 IF-2004-FRKG/6M/PH RT

IF5867 IFC2007-FRKG/PH/LED IM STOPF

IF5869 IFB3002-BPKG/0,8M/OVERP

IF5870 IFB3002-BPKG/1,5M/PH/OLED

IF5871 IFK3002-ANOG/6M/O.LED

IF5872 IFC2002-ARKG/UP/6M/PH V01

IF5873 IFC2004-FRKG/0,1M/US-100-IRFRT IF5874 IFB2004BAROG/UP/2LED/2M/XS

IF5877 IFA3002-BPKG/V4A/40M

IF5878 IFK3003BBPKG/V4A/6M

IF5879 IFA3004-BPKG/V4A/25M

IF5880 IFC2004-ARKG/UP/10M

IF5881 IFK3002-BPKG/US-100-DPS

IF5884 IFC2002-ARKG/UP/0,15M

IF5957 IFK3004BAPKG/M/US-104-DPO

IF5958 IFK3007-APKG/M/US-104-DPO

IF5959 IFK3002-BPKG/IE-KAB

IF5960 IFB3002-BPKG/0,215M

IF5961 IFB3002-BPKG/0,260M

IF5962 IFA3004-BPKG/V4A/15M

IF5963 IFK3004BAPKG/1,0M/US-100-KPO

IF5964 IFA3004-BPKG/6M/ZH/55V

IF5965 IFB3002-BNKG

IF5991 IFB2004BAROG/SC/UP/0,3M/US

IF5992 IFB3004BAPKG/US-104-DPO

IF5993 IFB3004BBPKG/4M

IF5994 IFB2002-FRKG/US-104-IRF

IF5995 IFK3002UBPKG/K1/SC/US-104-DPS IF5996 IFK3004UBPKG/K1/SC/US-104-DPS IF5997 IFB3004BANKG/US-104-DNS

IF5998 IFB3002-ANKG

IF5999 IFB2002-FRKG/0,25M/PH/AMP

IF6000 IFB3004-BNKG/6M

IF6001 IFB3004-BPKG/PULLDOWN 2 KOHM IF6002 IFB3004-VNKG

IF6003 IFB3005-BPKG/6M/10-55V

IF6004 IFB2002-FRKG/10M/PH

IF6006 IFA2007-FRKG

IF6007 IFB2002-FRKG/0,27M/PH

IF6008 IFB2002-FRKG/4M/PH

IF6009 IFK3007-BPKG/3M

IF6010 IFB3002-APKG/10M/PH

IF6011 IFB3004-BNKG/US-100-DNO R

IF6012 IFA4004-CNKG/US-104-DNA

IF6013 IFA2002-FRKG/US-100-IRF

IF6014 IFB35,5-BPKG/2M/PVC

IF6015 IFK3004BBPKG/SC/US-104-DPS

IF6017 IFB3004BBPKG/0,5M/AMP/PD 2K

IF6018 IFB3002-VNKG/0,5M/AMP

IF6019 IFK3007-ANOG/0,1M/AMP

IF6020 IFK3004BAPKG/0,1M/AMP

IF6021 IFK3004BANOG/0,1M/AMP

IF6022 IFG3007-ANOG/1M

IF6023 IFG3007-BPKG/5M

IF6024 IFB35,5-APKG/O.LED

IF6025 IFA3004-BPKG

IF6026 IFK3007-BNKG/US

IF6027 IFB3002-BPKG/V2A/10-55V/6M/BH

IF7001 IFC2004-ARKG/UP

IF7002 IFC2004-ARKG/UP/F

IF7003 IFC4004-ARKG/US-D-S

IF7004 IFC-04-ARKG/V-D-S für Ventile

IF7005 IFC-04-ARKG/US-D-L für Ventile

IF7006 IFC-04-ARKG/V-D-L für Ventile

IF7007 IFC-04-ARKG/US-L-S für Ventile

IF7008 IFC-04-ARKG/V-L-S für Ventile

IF7009 IFC-04-ARKG/US-L-L für Ventile

IF7010 IFC-04-ARKG/V-L-L für Ventile

IF8503 IFA3002-BNKG/0,58m LS-100AK

IF9201 IFC2004-ARKG/US

IF9202 IFB2002-ARKG/LED/ANNULAIRE

IF9203 IFB2002-ARKG/LED/ANNULAIRE/6M

IF9207 IFB2002-ARKG/UP/0,8mPPU LS-...

IF9209 IFB2002-BRKG/LED/ANNULAIRE/2M

IF9213 IF-2004-ARKG/UP/6m

电感式传感器IFM203 IFK3004BBPKG/M/US-104-DPS

电感式传感器IFM204 IFK3007-BPKG/M/US-104-DPS

电感式传感器IFM205 IFK3004BBPKG/M/60V/US-104-DPS 电感式传感器IFM206 IFK3007-BPKG/M/60V/US-104-DPS IFM207 IFK3004BBPKG/M/6M/ZH

IFM208 IFK3007-BPKG/M/6M/ZH

IFM209 IFK3004BBPKG/M/60V/6M/ZH

IFM210 IFK3007-BPKG/M/60V/6M/ZH

IFM211 IFK3007-BPKG/M/60V/0,5M/DT043P

IFM212 IFK2007-BRKG/M/60V/8M/HH

IFM213 IFK3004BBPKG/M/60V/US-104-DPS

电感式传感器IFS200 IFB2004BARKG/M/US-104-DRS

电感式传感器IFS201 IFB2007-ARKG/M/US-104-DRS

电感式传感器IFS202 IFB2004BARKG/M/US-104-ARS

电感式传感器IFS203 IFB2007-ARKG/M/US-104-ARS

IFS204 IFB3004BBPKG/M/US-104-DPS

IFS205 IFB3007-BPKG/M/US-104-DPS

IFS206 IFB3004BAPKG/M/US-104-DPO

IFS207 IFB3007-APKG/M/US-104-DPO

IFS208 IFKC004BASKG/M/US-104-DRS/2LED

IFS209 IFKC007-ASKG/M/US-104-DRS/2LED

IFS20A IFB3004BBPKG/M/US-104-DPS/3D

IFS210 IFB3004BBPKG/M/AS-514-TPS

IFS211 IFB3007-BPKG/M/AS-514-TPS

IFS212 IFK3004BBPKG/M/US-104-DPS

IFS213 IFK3007-BPKG/M/US-104-DPS

IFS214 IFB3002-BPKG/M/US-104-DPS

IFS215 IFB3004-BPKG/M/US-104-DPS

IFS216 IFK3002-BPKG/M/US-104-DPS

IFS217 IFK3004-BPKG/M/US-104-DPS

IFS21A IFB3007-BPKG/M/US/3D

电感式传感器IFT200 IFB3007-BPKG/M/V4A/US-104-DPS 电感式传感器IFT201 IFB3007-APKG/M/V4A/US-104-DPO 电感式传感器IFT202 IFKC007-ASKG/M/V4A/US-104-DRS IFT203 IFB3004BBPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT204 IFB3004BAPKG/M/V4A/US-104-DPO

IFT205 IFKC004BASKG/M/V4A/US-100-DRS

IFT206 IFB3004BBPKG/M/V4A/6M/WH

IFT207 IFB3004BBPKG/M/V4A/10M/WH

IFT208 IFB3007-BPKG/M/V4A/6M/WH

IFT209 IFB3007-BPKG/M/V4A/10M/WH

IFT20A IFB3004BAPKG/M/V4A/US104DPO/3D

IFT210 IFGC007-ASKG/M/V4A/US-104-DRS

IFT211 IFGC007-ASKG/M/V4A/6M/WH

IFT212 IFB3007-BPKG/M/V4A/20M/WH

IFT213 IFKC007-ASKG/M/V4A/6M/WH

IFT214 IFB3007-BPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT215 IFKC004BASKG/M/V4A/US-104-DRS

IFT216 IFK3004BBPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT217 IFK3007-BPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT21A IFB3004BBPKG/M/V4A/US104DPS/3D

IFT220 IFK3002-BPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT221 IFK3004-BPKG/M/V4A/US-104-DPS

IFT222 IFB3007-ANKG/M/V4A/US-104-DNS

IFT223 IFKC007-ASKG/M/V4A/US-104-DRS

IFT224 IFKC004BASKG/M/V4A/US-100-DRS

IFT22A IFB33,5BBPKG/M/V4A/US102DPS/3G

IFT23A IFB23,5BARKG/M/V4A/US102DRS/3G

电感式传感器IFW200 IFK3003BBPKG/K1/SC/M/US104-DPS 电感式传感器IFW201 IFK3008-BPKG/K1/SC/M/US104-DPS IF5860 IFA3002-ANKG RT

IF5861 IFA3004-BPKG RT

IF5862 IF-3002-ANKG RT

IF5863 IFA3002-BPKG RT

IF5864 IFA3004-ANKG RT

IF5865 IF-3002-BPKG RT

IF5866 IF-2004-FRKG/6M/PH RT

IF5867 IFC2007-FRKG/PH/LED IM STOPF

IF5869 IFB3002-BPKG/0,8M/OVERP

IF5870 IFB3002-BPKG/1,5M/PH/OLED

IF5871 IFK3002-ANOG/6M/O.LED

IF5872 IFC2002-ARKG/UP/6M/PH V01

IF5873 IFC2004-FRKG/0,1M/US-100-IRFRT

IF5874 IFB2004BAROG/UP/2LED/2M/XS

IF5877 IFA3002-BPKG/V4A/40M

IF5878 IFK3003BBPKG/V4A/6M

IF5879 IFA3004-BPKG/V4A/25M

IF5880 IFC2004-ARKG/UP/10M

IF5881 IFK3002-BPKG/US-100-DPS

IF5884 IFC2002-ARKG/UP/0,15M

IF5957 IFK3004BAPKG/M/US-104-DPO

IF5958 IFK3007-APKG/M/US-104-DPO

IF5959 IFK3002-BPKG/IE-KAB

IF5960 IFB3002-BPKG/0,215M

IF5961 IFB3002-BPKG/0,260M

IF5962 IFA3004-BPKG/V4A/15M

IF5963 IFK3004BAPKG/1,0M/US-100-KPO

IF5964 IFA3004-BPKG/6M/ZH/55V

IF5965 IFB3002-BNKG

IF5991 IFB2004BAROG/SC/UP/0,3M/US

IF5992 IFB3004BAPKG/US-104-DPO

IF5993 IFB3004BBPKG/4M

IF5994 IFB2002-FRKG/US-104-IRF

IF5995 IFK3002UBPKG/K1/SC/US-104-DPS

IF5996 IFK3004UBPKG/K1/SC/US-104-DPS

IF5997 IFB3004BANKG/US-104-DNS

IF5998 IFB3002-ANKG

IF5999 IFB2002-FRKG/0,25M/PH/AMP

IF6000 IFB3004-BNKG/6M

IF6001 IFB3004-BPKG/PULLDOWN 2 KOHM

IF6002 IFB3004-VNKG

IF6003 IFB3005-BPKG/6M/10-55V

IF6004 IFB2002-FRKG/10M/PH

IF6006 IFA2007-FRKG

IF6007 IFB2002-FRKG/0,27M/PH

IF6008 IFB2002-FRKG/4M/PH

IF6009 IFK3007-BPKG/3M

IF6010 IFB3002-APKG/10M/PH

IF6011 IFB3004-BNKG/US-100-DNO R

IF6012 IFA4004-CNKG/US-104-DNA

IF6013 IFA2002-FRKG/US-100-IRF

IF6014 IFB35,5-BPKG/2M/PVC

IF6015 IFK3004BBPKG/SC/US-104-DPS

IF6017 IFB3004BBPKG/0,5M/AMP/PD 2K

IF6018 IFB3002-VNKG/0,5M/AMP

IF6019 IFK3007-ANOG/0,1M/AMP

IF6020 IFK3004BAPKG/0,1M/AMP

IF6021 IFK3004BANOG/0,1M/AMP

IF6022 IFG3007-ANOG/1M

IF6023 IFG3007-BPKG/5M

IF6024 IFB35,5-APKG/O.LED

IF6025 IFA3004-BPKG

IF6026 IFK3007-BNKG/US

IF6027 IFB3002-BPKG/V2A/10-55V/6M/BH

IF7001 IFC2004-ARKG/UP

IF7002 IFC2004-ARKG/UP/F

IF7003 IFC4004-ARKG/US-D-S

IF7004 IFC-04-ARKG/V-D-S für Ventile

IF7005 IFC-04-ARKG/US-D-L für Ventile

IF7006 IFC-04-ARKG/V-D-L für Ventile

IF7007 IFC-04-ARKG/US-L-S für Ventile

IF7008 IFC-04-ARKG/V-L-S für Ventile

IF7009 IFC-04-ARKG/US-L-L für Ventile

IF7010 IFC-04-ARKG/V-L-L für Ventile

IF8503 IFA3002-BNKG/0,58m LS-100AK

IF9201 IFC2004-ARKG/US

IF9202 IFB2002-ARKG/LED/ANNULAIRE

IF9203 IFB2002-ARKG/LED/ANNULAIRE/6M IF9207 IFB2002-ARKG/UP/0,8mPPU LS-...

IF9209 IFB2002-BRKG/LED/ANNULAIRE/2M IF9213 IF-2004-ARKG/UP/6m

IFM203 IFK3004BBPKG/M/US-104-DPS

IFM204 IFK3007-BPKG/M/US-104-DPS

IFM205 IFK3004BBPKG/M/60V/US-104-DPS IFM206 IFK3007-BPKG/M/60V/US-104-DPS 电感式传感器IG0001 IG-2005-ABOW

基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作

第26卷 第8期2005年8月 半 导 体 学 报 CHIN ESE J OURNAL OF SEMICONDUCTORS Vol.26 No.8 Aug.,2005 3国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA404470)和国家“九五”传感器技术攻关(批准号:962748202201/07)资助项目 王 权 男,1973年出生,博士研究生,研究方向为耐高温微型压力传感器.Email :wangquan100@https://www.doczj.com/doc/c016320336.html, 2004210230收到,2005201226定稿 Ζ2005中国电子学会 基于SIMOX 的耐高温压力传感器芯片制作 3 王 权1 丁建宁1 王文襄2 熊 斌3 (1江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013)(2昆山双桥传感器测试技术有限公司,苏州 215325)(3中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050) 摘要:针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器敏感芯片,采用SIMOX 技术的SOI 晶片,在微加工平台上通过低压化学气相淀积法(L PCVD )均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体(ICP )深刻蚀、多层合金化等工艺流程制作了该芯片,将其封装后,研制出了高精度稳定性佳的耐高温压阻式压力传感器.封装工艺进一步改善后,该芯片工作温区有望拓宽到300~350℃.关键词:高温压力传感器;SIMOX ;低压化学气相淀积;电感耦合等离子体深刻蚀 PACC :0630N ;6855;8110 中图分类号:TP21211 文献标识码:A 文章编号:025324177(2005)0821595204 1 引言 在石油开采、化工领域的反应釜和冶炼塔等的压力测量中,对压力传感器提出了耐高温、微型化、抗腐蚀等要求[1],传统的硅扩散压阻式压力传感器用重掺杂4个p 型硅应变电阻构成惠斯顿电桥的力敏检测模式,采用p n 结隔离,当温度在100℃以上时,p n 结漏电流很大,使器件无法工作.因此设计制作压阻式高温压力传感器,必须取消p n 结隔离而采用绝缘体介质隔离,较易的方法之一是采用SOI (silicon on insulator )结构[2],此类晶片制作成的传感器芯片,由于采用二氧化硅隔离且力敏电阻仍然由单晶硅构成,因此其灵敏度与体硅压力传感器相当,而工作温度要大于传统的硅扩散压阻式压力传感器的工作温度,理论上达到耐温350℃,此外此芯片能保持长期高温下工作的稳定性和较大的过温容限. 制备SO I 材料的两种主流技术[3]是注氧隔离(separation by implantation of oxygen SIMOX )技术[4]和键合(bonding )技术,SIMOX 技术是指工艺 中大剂量的氧离子被注入到起始硅片中,然后进行 高温退火处理形成SOI 结构;键合技术,包括键合与背面减薄(bonding and etch -back SO I B ESOI )技术[5]和智能剥离SMA R TCU T ((或UN IBOND )技术.键合技术工艺较复杂,成本控制较难. 文献[6]利用SMAR TCU T 技术的SO I 晶片,研制了高温压力传感器,其高温特性测到150℃,量程为0~8M Pa ,灵敏度为63mV/(M Pa ?5V );专利[7,8]利用B ESOI 技术制作了高温压力传感器,其 耐温到200℃;本文针对高温、高压、高频测量的要求,设计了圆平膜硅芯片,采用SIMOX 技术的SOI 晶片在微加工平台上,制作了耐高温压阻式压力传感器芯片,针对-40~220℃的工作环境,完成了耐高温封装工艺,选用了恒流源激励,完成了静态标定,获得了量程0~40M Pa ,高性能稳定性佳,高频响应的耐高温压力传感器. 2 芯片设计 针对高温高压的要求,选用圆平膜设计[9],惠斯登电桥的两对桥臂力敏电阻分别布置在(100)晶面

压力传感器分类与简介

将压力转换为电信号输出的传感器。通常把压力测量仪表中的电测式仪表称为压力传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件(见位移传感器)或应变计(见电阻应变计、半导体应变计)转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体,如压阻式传感器中的固态压力传感器。压力是生产过程和航天、航空、国防工业中的重要过程参数,不仅需要对它进行快速动态测量,而且还要将测量结果作数字化显示和记录。大型炼油厂、化工厂、发电厂和钢铁厂等的自动化还需要将压力参数远距离传送(见遥测),并要求把压力和其他参数,如温度、流量、粘度等一起转换为数字信号送入计算机。因此压力传感器是极受重视和发展迅速的一种传感器。压力传感器的发展趋势是进一步提高动态响应速度、精度和可靠性以及实现数字化和智能化等。常用压力传感器有电容式压力传感器、变磁阻式压力传感器(见变磁阻式传感器、差动变压器式压力传感器)、霍耳式压力传感器、光纤式压力传感器(见光纤传感器)、谐振式压力传感器等。 传感器的基本知识 一、传感器的定义 国家标准GB7665-87对传感器下的定义是:“能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 二、传感器的分类 目前对传感器尚无一个统一的分类方法,但比较常用的有如下三种: 1、按传感器的物理量分类,可分为位移、力、速度、温度、流量、气体成份等传感器 2、按传感器工作原理分类,可分为电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等传感器。 3、按传感器输出信号的性质分类,可分为:输出为开关量(“1”和"0”或“开”和“关”)的开关型传感器;输出为模拟型传感器;输出为脉冲或代码的数字型传感器。 关于传感器的分类: 1.按被测物理量分:如:力,压力,位移,温度,角度传感器等; 2.按照传感器的工作原理分:如:应变式传感器、压电式传感器、压阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、光电式传感器等; 3.按照传感器转换能量的方式分: (1)能量转换型:如:压电式、热电偶、光电式传感器等; (2)能量控制型:如:电阻式、电感式、霍尔式等传感器以及热敏电阻、光敏电阻、湿敏电阻等; 4.按照传感器工作机理分: (1)结构型:如:电感式、电容式传感器等; (2)物性型:如:压电式、光电式、各种半导体式传感器等; 5.按照传感器输出信号的形式分: (1)模拟式:传感器输出为模拟电压量; (2)数字式:传感器输出为数字量,如:编码器式传感器。 三、传感器的静态特性 传感器的静态特性是指对静态的输入信号,传感器的输出量与输入量之间所具有相互关系。因为这时输入量和输出量都和时间无关,所以它们之间的关系,即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方

索尔SOR压力传感器选型资料(中文版)

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SOR索尔压力开关 SOR公司(中文名称索尔公司)成立于1946年,是世界上唯一一家集生产各类机械及电子压力、差压、温度、流量、液位开关及变送器于一体的专业化国际公司,总部位于美国肯萨斯州州府,现有员工300人,其压力开关类产品产量位居世界第一。 压力开关产品主要采用静态O型圈密封的活塞-弹簧-膜片组合式结构,具有抗震、抗过压能力强,测量范围广且回差小、使用寿命长等特点。其生产的高静压低差压开关是世界上独一无二的。其核级压力及差压开关是世界上不多的取得IEEE认证的产品。 SOR的机械液位开关全部满足ANSIB31.1和B31.3国际电力和石化行业压力容器标准,包括机械式浮球及沉筒两类,其独特的分级冷凝球降温措施能够很好地保证液位开关的开关单元部分免受高温蒸汽的影响,可以可靠地应用于高温工况,越来越受到客户的青睐。 除机械类产品外,SOR的电子产品种类也是非常丰富的,包括热差式流量开关、非接触式超声波变送器、接触式超声波开关,射频导纳开关及变送器、以及集开关、变送器、实时显示三位一体的SGT,该仪表不仅有实时压力显示、独立的开关量输出,而且有4~20毫安模拟量输出。非接触式超声波变送器具有高能量、低频率、自动增益调节三大特点使其能够应用于诸如碳黑、干灰、啤酒、石膏等高粉尘、高泡沫及高雾气的复杂环境中,帮助很多用户解决了多年来用其他超声波产品甚至是雷达产品都解决不了的难题。

压力控制器(压力计) NN 2最大工作压力30 inHg 到 7000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC 2CSA, CE 2NEMA 4, 4X, IP65 RN 2最大工作压力30 inHg 到 7000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC> 2CSA, CE NEMA 4, 4X, IP65 L 2最大工作压力30 inHg 到 7000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC 2CSA, CE UL: Class I, Group C, Div. 1 B32最大工作压力30 inHg 到 7000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC 2CSA, CE UL/CSA: Class I, Group B, Div. 1; ATEX: Eex d IIC T6 V12双设定点 2最大工作压力30 inHg 到 4000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC CSA, CE V22双设定点 2最大工作压力30 inHg 到 4000 psig 20.25mm活塞行程,使用寿命长 2设定点可调 210amps@250VAC UL/CSA: Class I, Group A, Div. 1; SnapSw: UL/CSA, ATEX, SAA

熔体压力传感器安装方法

熔体压力传感器也是非常敏感的一种仪器,因此在使用和维护上要多加注意。如果得不到正确的安装和维护,就非常容易损坏。今天艾驰商城小编为大家详细的介绍熔体压力传感器安装方法,可使延长仪器使用寿命,提高仪器准确可靠的测量结果。 ● 正确安装 通常高温熔体压力传感器的损坏都是由于其安装位置不恰当而引起的。如果将传感器强行安装在过小的孔或形状不规则的孔中,就有可能造成传感器的震动膜受到冲击而损坏。选择合适的工具加工安装孔,有利于控制安装孔的尺寸。另外,合适的安装扭矩有利于形成良好的密封。但是如果安装扭矩过高就容易引起高温熔体压力传感器的滑脱,为防止这种现象发生,通常在传感器安装之前在其螺纹部分上涂抹防脱化合物。在使用这种化合物以后,即使安装扭矩很高,传感器也很难被移动。 ● 检查安装孔的尺寸 如果安装孔的尺寸不合适,高温熔体压力传感器在安装过程中,其螺纹部分就很容易受到磨损。这不仅会影响设备的密封性能,而且使传感器不能充分发挥作用,甚至还可能产生安全隐患。只有合适的安装孔才能够避免螺纹的磨损(螺纹工业标准1/2-20 unf 2b),通常可以采用安装孔测量仪对安装孔进行检测,以做出适当的调整。 ● 保持安装孔的清洁 保持安装孔的清洁并防止熔料堵塞对保证设备的正常运行来说十分重要。在挤出机被清洁之前,所有的高温熔体压力传感器都应该从机筒上拆除以避免损坏。在拆除传感器时,熔料有可能流入到安装孔中并硬化,如果这些残余的熔料没有被去除,当再次安装高温熔体压力传感器时就可能造成其顶部受损。清洁工具包能够将这些熔料残余物去除。然而,重复的清洁过程有可能加深安装孔对高温熔体压力传感器造成的损坏。如果这种情况发生,就应当采取措施来升高高温熔体压力传感器在安装孔中的位置。 ● 选择恰当的位置 当高温熔体压力传感器的安装位置太靠近生产线的上游时,未熔融的物料可能会磨损传感器的顶部;如果高温熔体压力传感器被安装在太靠后的位置,在高温熔体压力传感器和螺杆行程之间可能会产生熔融物料的停滞区,熔料在那里有可能产生降解,压力信号也可能传递失真;如果高温熔体压力传感器过于深入机筒,螺杆有可能在旋转过程中触碰到高温熔体压力传感器的顶部而造成其损坏。一般来说,高温熔体压力传感器可以位于滤网前面的机筒上、熔体泵的前后或者模具中。 艾驰商城是国内最专业的MRO工业品网购平台,正品现货、优势价格、迅捷配送,是一站式采购的工业品商城!具有10年工业用品电子商务领域研究,

压力传感器研究现状及发展趋势

压力传感器研究现状及发展趋势 传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,从宇宙开发到海底探秘,从生产的过程控制到现代文明生活,几乎每一项技术都离不开传感器,因此,许多国家对传感器技术的发展十分重视,如日本把传感器技术列为六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导体和传感器) 之一。在各类传感器中压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。除此以外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合,又便于集成化,所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。 1 压力传感器的发展历程 现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段[1 ] : (1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯(C.S. Smith) 与1945 发现了硅与锗的压阻效应[2 ] ,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为

电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。 (2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯[3 ] 。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。 (3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术[4 ] ,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。 (4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。 通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。 2 压力传感器国内外研究现状 从世界范围看压力传感器的发展动向主要有以下几个方向。 2. 1 光纤压力传感器[5 ]

压力传感器选型的三大要素

压力传感器选型的三大要素 为新项目或设备选择压力传感器时,设计师通常比较关注关键设计参数,如压力范围、电流输出、介质兼容性以及环境条件等。然而,若要根据不同的应用选出合适的传感器,除以上参数外,还需考虑其它因素,常常被忽略的设计因素:压力传递介质(充油式和非充油式)、结构和传感技术类型。这也是压力传感器选型的三大要素。 一压力传递介质(充油式vs非充油式)在压力传感行业存在多种不同的传感技术,但所有传感器都可分为两大类:充油式和非充油式。充油式传感器是指在膜片和传感元件之间采用油液作为压力传递介质的传感器,例如基于微机电系统(MEMS)的电子传感器。 充油式传感器具有材料相容性(好)、成本低、易于集成到成套传感器系统中等特点,对许多制造应用都极具吸引力。虽然应用日益普遍,但相较于非充油式传感器,仍有不少缺点。 充油式设计的缺点是故障成本高。一旦传感膜片因过压或制造缺陷而破裂,那么油液就会泄漏至应用中并污染系统。油液进入系统会损坏关键的部件,造成成数千乃至数百万美元的损失,损失程度视具体应用而异(如,代价昂贵的燃料电池系统)。更糟的是,许多系统一旦被油液污染,几乎就没有修复的可能。相比之下,非充油式设计不仅能消除因故障导致污染的可能性,而且还可承受更高的过压冲击。 二结构压力传感器在应用中的服役时间是挑选传感器的关键指标之一。一般而言,全焊接结构的传感器,设计更坚固、耐用,在许多苛刻应用中的使用寿命都较长。另外,还要考虑接头在外壳上的焊接牢固度。要知道,在应用现场,这些装置常常会暴露在影响传感器工作的非理想环境下。 确保制造商不仅能够提供多种压力接头,包括1/4”和1/8”NPT等标准口径,而且还能够视需要量身定制过程接头。即使再坚固耐用的设计也有可能受潮湿环境影响,因此部分传感器需防潮保护以防止接头引脚的四周被腐蚀。 如果担心保护传感器受恶劣环境侵蚀,则选择IP防护等级满足安装需求的传感器。传感器可提供多种IP防护等级。其中,IP65级防护的型号可提供抵御粉尘渗入和喷嘴喷水的全面保护。 IP67级防护的传感器能够防护灰尘侵入以及短暂浸泡。IP69K级防护则适用于高

位移传感器的工作原理都有哪些

电位器式位移传感器,位移传感器它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是,为实现测量位移目的而设计的电位器,要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。 下面笔者来跟大家讲一下位移传感器的工作原理都有哪些 由于作为确定位置的活动磁环和敏感元件并无直接接触,位移传感器因此传感器可应用在极恶劣的工业环境中,不易受油渍、溶液、尘埃或其它污染的影响,IP防护等级在IP67以上。此外,传感器采用了高科技材料和先进的电子处理技术,因而它能应用在高温、高压和高振荡的环境中。传感器输出信号为绝对位移值,即使电源中断、重接,数据也不会丢失,更无须重新归零。由于敏感元件是非接触的,就算不断重复检测,也不会对传感器造成任何磨损,可以大大地提高检测的可靠性和使用寿命。 磁致伸缩位移传感器,是利用磁致伸缩原理、通过两个不同磁场相交产生一个应变脉冲信号来准确地测量位置的。测量元件是一根波导管,波导管内的敏感元件由特殊的磁致伸缩材料制成的。测量过程是由传感器的电子室内产生电流脉冲,该电流脉冲在波导管内传输,从而在波导管外产生一个圆周磁场,当该磁场和套在波导管上作为位置变化的活动磁环产生的磁场相交时,由于磁致伸缩的作

用,波导管内会产生一个应变机械波脉冲信号,这个应变机械波脉冲信号以固定的声音速度传输,并很快被电子室所检测到。 磁致伸缩位移传感器是根据磁致伸缩原理制造的高精度、长行程绝对位置测量的位移传感器。它采用非接触的测量方式,由于测量用的活动磁环和传感器自身并无直接接触,不至于被摩擦、磨损,因而其使用寿命长、环境适应能力强,可靠性高,安全性好,便于系统自动化工作,即使在恶劣的工业环境下,也能正常工作。此外,它还能承受高温、高压和强振动,现已被广泛应用于机械位移的测量、控制中。 杭州奥仕通自动化系统有限公司成立于2011年,是一家专业提供塑料机械行业自动化系统解决方案的高科技技术企业。公司为意大利杰佛伦(GEFRAN)和法国赛德(CELDUC)在中国大陆地区的核心代理商,主要产品有塑料机械控制器(PLC)、伺服驱动器、位移传感器、压力传感器、注射力和合模力传感器、高温熔体压力传感器、固态继电器(SSR)、温控表等。

卫生型压力传感器的功能及参数

卫生型压力传感器的功能 卫生型压力传感器属于高温熔体压力传感器系列,除具有压力传感器本身的特性之外,还具有卫生级仪器的特性。 卫生型压力传感器的特性:刚性杆和软管隔离,环保安全的隔离膜片组件结构,均不含或产生有害的物质,介质温度在400℃以下,具有良好的稳定性和精度。 卫生型压力传感器主要应用于食品、药物、饮料、酿酒、医疗器械等设备的高温流体/熔体/气体介质的压力测量和控制。 卫生型压力传感器的主要技术参数 量程:0~1~300MPa 综合精度:0.25%FS;0.5%FS 输出:2.0mV/V;4~20mA;0~5V;1~5V;0~10V 校准信号:80%FS校准;零点与满量程调节 工作温度:-10~450℃ 零点温漂移:≤±0.05%FS℃ 量程温度漂移:≤±0.05%FS℃ 安全过载:150%FS 极限过载:200%FS 响应时间:5 mS(上升到90%FS) 供电电压:传感器:10VDC(6-12VDC)变送器:24VDC(9~36 V) 长期稳定性:0.1%FS/年 绝缘电阻:大于2000MΩ 100VDC 振动影响:对于20HZ-1KHZ的机械振动,输出变化小于0.1%FS 密封等级:IP65 信号引出:五芯接插件5pin

螺纹连接:M14X1.5;M16X1.5;M18X1.5;M20X1.5;M22X1.5 艾驰商城是国内最专业的MRO工业品网购平台,正品现货、优势价格、迅捷配送,是一站式采购的工业品商城!具有10年工业用品电子商务领域研究,以强大的信息通道建设的优势,以及依托线下贸易交易市场在工业用品行业上游供应链的整合能力,为广大的用户提供了传感器、图尔克传感器、变频器、断路器、继电器、PLC、工控机、仪器仪表、气缸、五金工具、伺服电机、劳保用品等一系列自动化的工控产品。 如需进一步了解图尔克、奥托尼克斯、科瑞、山武、倍加福、邦纳、亚德客、施克等各类传感器的选型,报价,采购,参数,图片,批发信息,请关注艾驰商城https://www.doczj.com/doc/c016320336.html,/

市场上常见的压力传感器的种类及原理分析

市场上常见的压力传感器的种类及原理分析 什么是压力传感器呢?压力传感器是指将接收的气体、液体等压力信号转变成标准的电流信号(4~20mADC),以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节的元器件。它主要是由测压元件传感器、测量电路和过程连接件等组成的(进气压力传感器)。 那么压力传感器的种类有哪些呢?就目前市场而言,压力传感器一般有差压传感器、绝压传感器、表压传感器,静态压力传感器和动态压力传感器。对于这几者之间的关系,我们可以这样定义定义:差压是两个实际压力的差,当差压中一个实际压力为大气压时,差压就是表压力。绝压是实际压力,而有意义的是表压力,表压力=绝压-大气压力。静态压力是管道内流体不流动时的压力。动态压力可以简单理解为管道内流体流动后发生的压力。 根据不同的方式压力传感器的种类也不尽相同。小编通过搜集整理资料,将与压力传感器的种类相关的知识做如下介绍,下面我们来看具体分析。 1.扩散硅压力传感器 扩散硅压力传感器工作原理是被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。 扩散硅压力传感器原理图 2.压电式压力传感器 (1)压电式压力传感器原理 压电式压力传感器原理基于压电效应。压电效应是某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,其内部会产生极化现象,同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后,它又会恢复到不带电的状态,这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时,电荷的极性也随之改变。相反,当在电介质的极化方向上施加电场,这些电介质也会发生变形,电场去掉后,电介质的变形随之消失,这种现象称为逆压电效应。 (2)压电式压力传感器的种类与应用 压电式压力传感器的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。压电元件支撑于本体上,由膜片将被测压力传递给压电元件,再由压电元件输出与被测压力成一定关系的电信号。这种传感器的特点是体积小、动态特性好、耐高温等。 现代测量技术对传感器的性能出越来越高的要求。例如用压力传感器测量绘制内燃机示功图,在测量中不允许用水冷却,并要求传感器能耐高温和体积小。压电材料最适合于研制这种压力传感器。石英是一种非常好的压电材料,压电效

LH-S09A 微型拉压力传感器特点及用途,LH-S09A 微型拉压力传感器技术参数

LH-S09A 微型拉压力传感器特点及用途,LH-S09A 微型拉压力传感 器技术参数 随着中国自动化不断发展进步,工控自动化产品也是大众需求。上海力恒传感技术有限公司致力于力传感器及其信号处理的系统工作,公司在力传感器领域有着不断的追求。下面由力恒传感小编为大家讲解LH-S09A 微型拉压力传感器特点,LH-S09A 微型拉压力传感器用途,LH-S09A 微型拉压力传感器技术参数,LH-S09A 微型拉压力传感器型号相关内容! LH-S09A 微型拉压力传感器 型号:LH-S09A 高度19.1,宽度22,厚度6.7,可测量拉压双向力;高速动态响应输出,精度0.05%;测力部分:内螺纹方向的拉伸或压缩。广泛应用于自动化力值检测,典型应用:按键检测。

注:1、螺丝安装时,深度不可超过4毫米。不可接触到传感器中间部分,以免影响测量结果。 2、传感器安装时,两边盖板不可与中间柱体接触,否则影响测试准度。 注:螺丝安装时,不能拧太深。不可接触到传感器中间部分,以免影响测量结果。技术参数 量程Capacity 0-1N~50N~2000N 材质 Material 不锈钢 输出灵敏度Rated output 2.0 ±10% mV/V 输出电阻 Output Impedance 350±3Ω 非线性Non-linearity 0.05 % F.S. 绝缘电阻 Insulation >5000MΩ /10VDC 滞后Hysteresis 0.05 % F.S. 使用电压 Recommended 2.5-5V

以上内容是由上海力恒传感技术有限公司小编整理,希望能帮助到大家~ 上海力恒传感技术有限公司致力于力传感器及其信号处理的系统工作,公司在力传感器领域有着不断的追求。 Excitation 重复性 Repeatability 0.05 % F.S. 至大工作电压 Excitation max 10V 蠕变(30分钟) Creep(30min) 0.05 % F.S. 温度补偿范围 Compensated Temp Range -10~60℃ 温度灵敏度漂移 Temp Effect On Output 0.1 % F.S./ 10℃ 工作温度范围 Operating Temp Range -20~80℃ 零点温度漂移 Temp Effect On Zero 0.1 % F.S./ 10℃ 安全负载 Safe Load 120% 防护等级 Protection Class IP 65 极限负载 Ultimate Load Limit 150% 输入阻抗 Input Impedance 350±15Ω 电缆长度 Cable Length ?2-3 x 3m 电缆线连接方式 Wire Connection Ex +: 红 (Red) ; Ex -: 黑 (Black) ; Sig +: 绿 (Green ); Sig -: 白 (White)(压为正,拉为负);

压力传感器和压力变送器有什么区别

压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力变送器是一种将压力转换成气动信号或电动信号进行控制和远传的设备。 下面笔者来跟大家讲一下压力传感器和压力变送器有什么区别 一、原理不同 1、压力传感器电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。金属电阻应变片的bai工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。 2、陶瓷压力传感器基于压阻效应,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥,由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号。 3、扩散硅压力传感器工作原理也是基于压阻效应,利用压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,利用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。 4、压力变送器感受压力的电器元件一般为电阻应变片,电阻应变片是一种将被测件上的压力转换成为一种电信号的敏感器件。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。

5、通常是将应变片通过特殊的黏合剂紧密地粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。 二、相关应用不同 1、压力传感器主要应用于:增压缸、增压器、气液增压缸、气液增压器、压力机,压缩机,空调制冷设备等领域。 2、压力变送器: (1)、智能化:由于集成化的出现,在集成电路中可添加一些微处理器,使得变送器具有自动补偿、通讯、自诊断、逻辑判断等功能。 (2)、集成化:压力变送器已经越来越多的与其它测量用变送器集成以形成测量和控制系统。集成系统在过程控制和工厂自动化中可提高操作速度和效率。 (3)、小型化:市场对小型压力变送器的需求越来越大,这种小型变送器可以工作在极端恶劣的环境下,并且只需要很少的保养和维护,对周围的环境影响也很小,可以放置在人体的各个重要器官中收集资料,不影响人的正常生活。 杭州奥仕通自动化系统有限公司成立于2011年,是一家专业提供塑料机械行业自动化系统解决方案的高科技技术企业。公司为意大利杰佛伦(GEFRAN)和法国赛德(CELDUC)在中国大陆地区的核心代理商,主要产品有塑料机械控制器(PLC)、伺服驱动器、位移传感器、压力传感器、注射力和合模力传感器、高温熔体压力传感器、固态继电器(SSR)、温控表等。

压力传感器原理【详解】

压力传感器原理 内容来源网络,由“深圳机械展(11万㎡,1100多家展商,超10万观众)”收集整理!更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示,就在深圳机械展. 一.压力传感器原理 一些常用传感器原理及其应用: 1、应变片压力传感器原理与应用 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 在了解压阻式力传感器时,我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小,一般这种应变片都组成应变电桥,并通过后续的仪表放大器进行放大,再传输给处理电路(通常是A/D转换和CPU)显示或执行机构。

金属电阻应变片的内部结构 1、应变片压力传感器原理 如图1所示,是电阻应变片的结构示意图,它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途,电阻应变片的阻值可以由设计者设计,但电阻的取值范围应注意:阻值太小,所需的驱动电流太大,同时应变片的发热致使本身的温度过高,不同的环境中使用,使应变片的阻值变化太大,输出零点漂移明显,调零电路过于复杂。而电阻太大,阻抗太高,抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。 电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示: 式中:ρ——金属导体的电阻率(Ω?cm2/m) S——导体的截面积(cm2) L——导体的长度(m) 我们以金属丝应变电阻为例,当金属丝受外力作用时,其长度和截面积都会发生变化,从上式中可很容易看出,其电阻值即会发生改变,假如金属丝受外力作用而伸长时,其长

高温压力传感器现状与展望

*国家自然科学基金资助项目(基金号:69876027)收稿日期:2001-10-24 修改稿日期:2002-01-14 高温压力传感器现状与展望 * 张 为 姚素英 张生才 刘艳艳 曲宏伟天津大学电子信息工程学院 天津市 300072 =摘要>论述了多晶硅、SOI(绝缘体上硅)、碳化硅、SOS(蓝宝石上硅)、石英、溅射合金薄膜、陶瓷厚膜和光纤等高温压力传感器的基本结构、工作原理、特点及研究现状,展望了压力传感器的未来。 关键词:压力传感器 高温 现状 展望中图分类号:TN354 Status Quo of High -Temperature Pressure Sensor and Its Prospect Zhang Wei Yao Suying Zhang Shengcai Liu Yanyan Qu Hongwei School of Electronics and Information Engineer ing ,T ianjin U niv ersity,T ianjin 300072 Abstract:Discusses the structure,principle,performance and research status quo of polysilicon,silicon on insulator,sil-i con on sapphir e,quartz,allo y thin-film,ceramic thick-film,optic-fiber high-temper ature pressur e sensor respectively ,and for ecasts the future of the pr essure sensor. Key Words:Pr essure Sensor;High-T emperature;Status Quo;P rospect 1 引言 传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中,压力传感器是应用最为广泛的一种。但目前使用的硅压力传感器主要是扩散硅压力传感器,其应变电桥采用p 型扩散电阻,而应变膜是n 型硅衬底,两者之间是自然的pn 结隔离。当工作温度超过120e ,应变电阻与衬底间的pn 结漏电加剧,使传感器特性严重恶化以至失效,因而不能在较高温度环境下进行压力测量。而石油、汽车、航天等领域的使用要求,使高温压力传感器的研究成为必然。 随着新材料、新工艺的不断出现,人们提出了多种高温压力传感器结构。目前已经研制出多晶硅压力传感器、SOI(Silicon on Insulator)单晶硅压力传感器、SiC 压力传感器、SOS(Silicon on Sapphire)蓝宝石上硅压力传感器、石英压力传感器、溅射合金薄膜压力传感器、陶瓷厚膜压力传感器和光纤压力传感器等。文中分别从结构、工作原理、特性和国内外研究现状等方面对以上几种高温压力传感器进行了论述,并探讨了压力传感器未来的发展方向。 2 高温压力传感器发展现状 211 多晶硅压力传感器 多晶硅是半导体集成电路中广泛应用的薄膜材料。它的物理和化学性质通常取决于薄膜的结构(如 晶粒的尺寸)和掺杂的类型与浓度。80年代后期,基于多晶硅较大的压阻系数和良好的温度特性,有人提出了多晶硅高温压力传感器[1] 。 图1 多晶硅压力传感器结构 多晶硅压力传感器的结构如图1所示。采用掺杂多晶硅膜作应变电阻膜,4个构成惠斯通电桥的应变电阻分布在单晶硅膜片上的不同区域,以期得到最大的应变。 多晶硅压力传感器以SiO 2介质隔离代替pn 结隔离,减小了器件在高温下的漏电,从而提高了传感器的工作温度。多晶硅的应变因子较大,因而传感器灵敏 度高。多晶硅薄膜工艺成熟,传感器制作工艺为半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术,芯片易于批量制作,成本低廉。 目前由天津大学微电子技术开发研究中心研制的多晶硅高温压力传感器,压力量程有0~1MPa 、0~215MPa 和0~6MPa 3个系列,工作温区-40~220e ,满量程输出大于40mV/mA,零点温度系数和灵敏度温度系数均小于5@10 -4 /e .据现有文献报 6 仪表技术与传感器 2002年

PTP503压力传感器使用说明书

油压传感器,油压压力变送器,河南压力传感器 正负压压力变送器,恒压供水压力传感器,投入式液位变送器,防雷击液位变送器,锅炉压力传感器,微差压变送器,超高温压力传感器,超高压压力传感器,平膜压力传感器,防腐蚀压力变送器,通风管道压力变送器,高温微压变送器,空压机压力变送器,空调风压变送器,PY500智能数字压力控制仪表,动静态汽车称重设备,称重测力传感器 PTP503压力传感器/变送器采用全不锈钢封焊结构,具有良好的防潮能力及优异的介质兼容性。广泛用于工业设备、水利、化工、医疗、电力、空调、金刚石压机、冶金、车辆制动、楼宇供水等压力测量与控制。 量程:0~1~150(MPa) 综合精度:0.2%FS、0.5%FS、1.0%FS 输出信号:4~20mA(二线制)、0~5V、1~5V、0~10V(三线制) 供电电压:24DCV(9~36DCV) 介质温度:-20~85~150℃ 环境温度:常温(-20~85℃) 负载电阻:电流输出型:最大800Ω;电压输出型:大于50KΩ 绝缘电阻:大于2000MΩ(100VDC 密封等级:IP65 长期稳定性能:0.1%FS/年 振动影响:在机械振动频率20Hz~1000Hz内,输出变化小于0.1%FS 电气接口(信号接口):四芯屏蔽线、四芯航空接插件、紧线螺母 机械连接(螺纹接口):1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等,其它螺纹可依据客户要求设计

产品名称:PY602压力温度仪表 规格: 产品备注:数显压力温度控制仪表|智能压力温度表|佛山市博润测控仪表有限公司 产品说明 PY602数显压力-温度控制仪表 产品特点及结构: 具有整机体积小、重量轻、耗电省、功能齐全、工作可靠、使用方便灵活,配用我公司PT100-系列高温熔体压力传感器或常温压力传感器,作为高精度压力测量与控制,可广泛地使用于液压、石油、塑料、橡胶、印染、纺织等行业的压力显示和自动化控制场合,还可与其他厂家的电阻应变式压力传感器配套使用;可以设定上下限值报警,具有发光管报警指示、继电器触点输出控制外部执行机构;具有高精度的电压输出模块、电流输出模块、继电器输出控制模块以及通讯模块供用户选择 主要技术参数: 显示器:双层四位高亮度绿色和红色发光数码管 显示分辨率:0001 显示数值范围:-001~-999~0001~9999Mpa(小数点可变),温度:000.1-400.0 仪表精度:0.25%FS±1位 压力输入信号:2mV/V、3.3mV/V、4-20mA、0-5VDC、0-10DC(定货时说明) 温度输入信号:J、K、E型热电偶 采样速度:20次/秒 输出控制:与满量程信号成线性的电压或电流输出;RS232;RS485 报警范围:-001~-999~0001~9999Mpa(小数点可变) 效准指示:显示传感器满量程80%值(传感器应空载),效准指示(CAE)亮 使用温度及湿度:0-55℃,≤80%RH 电源要求:85-265VAC50Hz-60Hz 外型尺寸:96×96×100mm 开孔尺寸:92×92mm

压力传感器

压力传感器综述 压力传感器是在压力测量系统中,用来感应压力并将压力转换成与压力值成一定关系的电信号输出的敏感元件。根据工作原理不同压力传感器有压阻式、压电式、电容式、应变式、压磁式等类型;由于测量压力高低的不同,压力传感器有高压、中压、低压、微压和负压传感器等;由于用途不同,又有压差传感器、深度传感器、液面传感器、医用传感器以及应用在特殊场合的特种压力传感器;由于应用环境不同,又有一般型、防腐型、防高温型等压力传感器。为了输出标准直流电信号,便于计算机采集及与二次仪表规范配置,压力敏感元件可以与集成运算放大电路组成压力变送器。 1 压力传感器研究现状及发展趋势 传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,从宇宙开发到海底探秘,从生产的过程控制到现代文明生活,几乎每一项技术都离不开传感器,因此,许多国家对传感器技术的发展十分重视,如日本把传感器技术列为六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导体和传感器)之一。在各类传感器中压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。除此以外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合,又便于集成化,所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。 1.1 压力传感器的发展历程 现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段: (1)发明阶段(1945-1960年):这个阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯(CS。Smith)与1945发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。 (2)技术发展阶段(1960-1970年):随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001)或(110)晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点实现了金属-硅共晶体,为商业化发展提供了可能。 (3)商业化集成加工阶段(1970-1980年):在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。 (4)微机械加工阶段(1980年-今):上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制

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