Al掺杂对ZnO薄膜性能的影响(英文)
作者：徐自强;邓宏;谢娟;李燕;陈航
作者机构：电子科技大学微电子与固体电子学院;电子科技大学微电子与固体电子学院;成都
来源：四川大学学报：自然科学版
ISSN：0490-6756
年：2005
卷：000
期：0S1
页数：4
中图分类：TB383
正文语种：CHI
关键词：溶胶-凝胶法;Al掺杂;ZnO;结构特性;光电特性
摘要：采用溶胶-凝胶法在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜.通过XRD、UV 透射谱和电学测试等分析方法,研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响.分析表明所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动.薄膜电阻率随掺Al浓度变化,当掺Al浓度为1.5%,薄膜电阻率降至6.2×10-4Ω.cm.掺Al量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移.