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氧化锌纳米棒阵列薄膜的制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号

CN103397382A

(43)申请公布日 2013.11.20(21)申请号CN201310356630.8

(22)申请日2013.08.16

(71)申请人济南大学

地址250022 山东省济南市市中区济微路106号

(72)发明人武卫兵;刘宽菲;张楠楠;陈晓东;陈宝龙

(74)专利代理机构济南日新专利代理事务所

代理人谢省法

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

氧化锌纳米棒阵列薄膜的制备方法

(57)摘要

本发明属于半导体薄膜制备技术领域,尤

其涉及一种氧化锌纳米棒阵列薄膜的制备方法。

本发明的技术方案为:氧化锌纳米棒阵列薄膜的

制备方法,包括以下步骤:1)采用高度(001)

取向的ZnO作为种子层,将ZnO种子层放入硝酸

锌(Zn(NO

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态