日本語中国語（簡体字）中国語（繁体字)【あ】
アキュムレータ蓄能器，存储器儲能器，存儲器
アーク电弧電弧
アークカット电弧切割電弧切割
アーク加熱电弧加热電弧加熱
アーク放電电弧放电電弧放電
アーク溶接电弧焊接電弧焊接
アクセサリ類附属配件，附件附屬配件，附件
アクセス時間存取时间存取時間
アース接地接地
アッシング装置干式刻蚀装置乾式刻蝕裝置
アダプター接合器，接头接合器，接頭
アタッチメント附属装置，配件附屬裝置，配件
アッパキャップ上限帽，轴承盖上限帽，軸承蓋
アッセンブリ装配；配件，组件裝配；配件，組件
アドソーバ吸附器吸附器
アドソーバの交換時間吸附器的使用寿命（交换时间)吸附器的使用壽命（交換時間）アナログ模拟，模拟设备模擬，模擬設備
アナログ電子回路模拟电路模擬電路
アニール装置退火炉（装置)退火爐（裝置）
アノード阳极陰極
アプリケーション应用，解决方案應用，解決方案
アラーム报警報警
アラーム時报警响时報警響時
アラム時キャラクタ表示する报警时显示报警内容報警時顯示報警内容
アラームコード表报警编码表報警編碼表
アラーム内容报警内容報警内容
アラーム解除解除报警解除報警
アラームをリセットする解除报警恢复到初始状态解除報警恢復到初始狀態
アリ溝燕尾槽燕尾槽
アルマイト氧化铝氧化鋁
アルマイト処理氧化铝膜处理氧化鋁膜處理
アルミナ氧化铝，矾土，铝氧粉氧化鋁，礬土，鋁氧粉
アルミナ焼結体氧化铝烧结体氧化鋁燒結体
アルミニウム合金铝合金鋁合金
アルミニウム溶尃铝喷镀（熔射)鋁噴鍍（熔射）
アルミホイール铝合金轮圈鋁合金輪圈
アルミろう铝钎焊鋁釺焊
アルゴンアーク溶接氩弧焊氬弧焊
アンサーバック信号反馈信号反饋信號
アンサーバック信号の遅れ反馈信号的延时反饋信號的延時
アンロード室卸荷室，卸料室卸荷室，卸料室
圧縮スプリング压缩弹簧壓縮彈簧
圧縮真空計压缩真空计壓縮真空計
圧縮比压缩比壓縮比
圧着端子压线端子壓綫端子
圧力压力壓力
圧力計压力表壓力表
圧力上昇試験压力上升试验壓力上升試驗
圧力範囲压力范围壓力範圍
後処理后处理后處理
油回転真空ポンプ油回转真空泵油回轉真空泵
油回転真空ポンプ油油回转真空泵油油回轉真空泵油
油拡散ポンプ油扩散泵油擴散泵
油純化器油净化器油淨化器
油溜まり积油積油
油熱交換器油热交换器油熱交換器
油分離器油气分离器油氣分離器
誤り検出误差检测誤差檢測
荒削り粗加工粗加工
粗引き粗抽（真空）粗抽（真空）
粗引き口粗抽连接口粗抽連接口
粗引き配管粗抽配管粗抽配管
粗引きバルブ粗抽阀粗抽閥
粗引きポンプ粗抽泵粗抽泵
粗引き用真空計粗抽用真空计粗抽用真空計
安全カバー安全盖安全蓋
安全弁安全阀安全閥
安全弁（２５KFフランジ付）安全阀（附25KF连接法兰）安全閥（附25KF連接法蘭）
安全弁シート部安全阀座安全閥座
安全マーク安全标记（记号）安全標記（記號）
安定抵抗平衡电阻平衡電阻
安定度稳定性穩定性
【い】
イオン注入离子注入離子注入
イオン注入装置离子注入装置離子注入裝置
イオンプレーティング装置离子镀膜装置離子鍍膜裝置
インジウム箔铟箔銦箔
インストーレーション．カテゴリ过电压范围過電壓範圍
インターバル间隔，周期間隔，周期
インタフェース接口接口
インターロック互锁、连锁互鎖，連鎖
インターロックスイッチ互锁（连锁）开关互鎖（連鎖）開關
インタロック．バイパス连锁回路連鎖回路
インナー内的，内部的内的，内部的
インナーキット泵体内零部件泵体内零部件
インバータ变频器變頻器
インバータ制御ケーブル变频器控制电缆變頻器控制電纜
インピーダンス阻抗阻抗
インピーダンス整合回路电阻耦合线路電阻耦合綫路
インライン式连续式連續式
インライン式スパッタリング装置连续式溅射装置連續式濺射裝置
インライン式蒸着装置连续式镀膜装置連續式鍍膜裝置
インテグレーション技術集成技术集成技術
インピーダンスマッチング阻抗匹配阻抗匹配
鋳込浇注，浇铸澆注，澆鑄
異常异常異常
一時停止暂停暫停
一次電源一次电源，原电源一次電源，原電源
一貫自動システム全套自动系统全套自動系統
一括メンテナンス全套维护全套維護
一般規格普通规格普通規格
鋳物铸件鑄件
移動ベース移动台移動台
印加外加，附加，施加外加，附加，施加
印加時間外加时间外加時間
印加電圧外加电压/外加电动势外加電壓/外加電動勢
【う】
ウエハー晶片,硅片晶片，硅片
ウエーハカセット晶片盒,硅片盒晶片盒，硅片盒
ウェーブワッシャー防松垫圈,止退垫圈防松墊圈，止退墊圈ウェットエッチング湿式刻蚀濕式刻蝕
受け入れ検査入库检查入庫檢查
浮子浮子浮子
運転記録表运转记录表運轉記錄表
運転時間运转时间運轉時間
運転出力信号运转输出信号運轉輸出信號
運転モード运转模式運轉模式
運転断続回数运转断续次数運轉斷續次數
運転時音圧レベル运行时的噪音運轉時的噪聲
運転積算時間計运转计时器運轉計時器
運転シーケンス运转程序，运转顺序運轉程序，運轉順序運動量輸送式真空ポンプ动量传送式真空泵動量傳送式真空泵
【え】
エアパージ排出空气，排放空气排出空氣，排放空氣エアブロー空压排水空壓排水
エジェクタポンプ喷射泵噴射泵
エッチング蚀刻蝕刻
エラー復帰报警复位報警復位
エラーチェック错误校验錯誤校驗
エラーメッセージ错误信息錯誤信息
エラストマー合成橡胶，人造橡胶合成橡膠，人造橡膠エルボー弯头，肘形弯管彎頭，肘形彎管
エレクトロニクス电子技术電子技術
エンドベル接线座接綫座
液晶液晶液晶
液晶注入装置液晶注入装置液晶注入裝置
液溜型クライオポンプ液溜型低温泵液溜型低溫泵
円錐の圆锥的圓錐的
【お】
オイルインジェクションライン注油回路注油回路
オイルセパレータ油气分离器油氣分離器
オイルミスト油雾油霧
オイルタンク油箱油箱
オイル出口温度スイッチ油出口温度开关油出口溫度開關
オイルレベル油面油面
オス外螺纹、针型外螺紋，針型
オスボルト外螺纹螺拴外螺紋螺栓
オーバーホール大检修大檢修
オーバーロード过负荷過負荷
オーバーカレントリレー过电流继电器過負荷繼電器
オフガス不供应气体不供應氣體
オフセット转移轉移
オフディレータイマー停止时间停止時間
オフ電圧断态电压斷態電壓
オプション选购配件選購配件
オリフィス节流孔節流孔
オールタネ―ト操作モード单键操作模式單鍵操作模式
オンーオフ制御开关控制開關控制
オンディレータイマー开启时间開啓時間
押え押紧，押板，紧固押緊，押板，緊固
押さえ板固紧板,压紧板固緊板，壓緊板
押え金具压紧零件壓緊零件
押さえねじ压紧螺钉，紧固螺钉壓緊螺釘，緊固螺釘
押さえボルト紧固螺栓緊固螺栓
押しボタンスイッチ按键式开关按鍵式開關
汚染する污染污染
汚染度污染度污染度
温調器温控器溫控器
温度勾配温度梯度，温度陡度溫度梯度，溫度陡度
温度ヒューズ温度熔断器溫度熔斷器
温度目盛温度刻度溫度刻度
【か】
ガイド軸导向轴導向軸
ガイドピン导销導銷
ガスインレットバルブ进气阀進氣閥
ガス吸込み量气体吸附量氣體吸附量
ガスケット垫圈；密封垫片墊圈，密封墊片
ガス導入充入气体充入氣體
ガス導入配管充入气体配管充入氣體配管
ガス導入系充入气体系统充入氣體系統
ガスパージ排出气体，排放气体排出氣體，排放氣體
ガス分析計气体分析仪氣體分析儀
ガス分析法气体分析法氣體分析法
ガス放出气体释放，气体放出氣體釋放，氣體放出
ガス放出速度气体释放速度，气体放出速度氣體釋放速度，氣體放出速度ガスモニター气体检测仪氣體檢測儀
カセット単位以盒为单位以盒為單位
カソード阴极，负极陰極，負極
カップリング连接，耦合；连轴器連接，耦合；連軸器
カップリングハーフ耦合连接器耦合連接器
カートリッジヒータ管状加热器管狀加熱器
カーボンナノチューブ碳纳米管碳納米管
加圧試験法加压试验法加壓試驗法
加圧放置法加压放置法加壓放置法
外観図外观图外觀圖
外径外口径，外径外口徑，外徑
外形寸法外形尺寸外形尺寸
碍子绝缘子絕緣子
外線线路导线綫路導綫
改訂改订，修改改訂，修改
回転導入機回转导入机构回轉導入機構
回転フランジ回转法兰回轉法蘭
回転式ポンプ旋转式泵旋轉式泵
回転翼旋转叶片旋轉葉片
回転翼形油真空ポンプ旋转叶片真空泵旋轉葉片真空泵
外部インピーダンス外阻抗外阻抗
外部信号用リレー外信号用继电器外信號用繼電器
概要概要概要
回路电路電路
回路図电路图電路圖
過温度温度过热溫度過熱
角型導管角型导管角型導管
拡散扩散擴散
拡散エジェクタポンプ扩散喷射泵擴散噴射泵
拡散ポンプ扩散泵擴散泵
拡散炉扩散炉擴散爐
拡大図扩大图擴大圖
額定電流额定电流，标准电流額定電流，標準電流
隔膜圧力計隔膜压力表隔膜壓力表
核融合装置核聚合装置核聚合裝置
隔離バルブ隔离阀隔離閥
過充填过量充填過量充填
架台架台架台
傾き倾，倾侧，倾倒傾，傾側，傾倒
荷電粒子电荷粒子電荷粒子
過電圧过电压過電壓
過電流过电流過電流
過電流保護スイッチ过电流保护开关過電流保護開關
稼動运行運行
片口スパナ单头扳手單頭扳手
活性ガス活性气体活性氣體
活性炭活性炭活性炭
金具零件，配件；接头零件，配件；接頭
可燃性可燃性可燃性
過熱过热過熱
加熱脱ガス処理加热脱气处理加熱脫氣處理
加熱冷却機構加热冷却机构加熱冷卻機構
過負荷过载，超负荷，过负荷過載，超負荷，過負荷過負荷状態过负荷状态，超负荷状态過負荷狀態，超負荷狀態過負荷リレー过负荷继电器過負荷繼電器
咬み込む防止防止(螺栓)咬合防止（螺栓）咬合
カム形油回転真空ポンプ定片式真空泵定片式真空泵
換気扇通风机通風機
寒剤制冷剂製冷劑
乾燥行程干燥过程乾燥過程
感電起电，触电，电击起電，觸電，電擊
感度灵敏度靈敏度
【き】
キー键；开关鍵；開關
ギアー齿轮齒輪
キット内部零件内部零件
キャスタ滚动轮滾動輪
キャップ螺帽螺帽
キャップシール帽形密封件帽形密封件
キャパシター（コンデンサ）电容量電容量
記憶容量存储容量存儲容量
帰還反馈反饋
希釈稀释稀釋
機械的駆動机械驱动機械驅動
機器単体机器单体機器電壓
危険電圧高压电压高壓電壓
機種型号型號
機種名型号名型號名
気体气体氣體
気体ため込み式真空ポンプ气体贮藏式真空泵氣體貯藏式真空泵
気体の流れ气体的流动氣體的流動
気体の量气体量氣體量
気体分子運動論气体分子运动论氣體分子運動論
気体分子密度气体分子密度氣體分子密度
気体放出放出气体放出氣體
気体放出速度放出气体速度放出氣體速度
起電力电动势，起动电压電動勢，起動電壓希土類磁石稀土类磁铁稀土類磁鐵
起動抵抗起动阻抗起動阻抗
機能説明功能说明功能説明
基板基片；电路板基片；電路板
基板洗浄清洗基片（电路板）清洗基片（電路板）気密气密，不透气的氣密，不透氣的
客先装置装置，设备裝置，設備
逆移動逆向移动逆向移動
逆回転反向转动反向移動
逆拡散逆扩散逆擴散
逆相防止リレー防反相继电器防反相繼電器
逆相相序不对，反相相序不對，反相
逆流逆流逆流
凝縮冷凝冷凝
凝縮係数冷凝系数冷凝係數
凝縮速度冷凝速度冷凝速度
凝縮パネル冷凝板冷凝板
吸気口吸气口吸氣口
吸気口フランジ吸气口连接法兰吸氣口連接法蘭
吸収吸收吸收
急速常温再生急速常温再生急速常溫再生
急速低温再生急速低温再生急速低溫再生
吸着吸附吸附
吸着剤吸附剂吸附劑
吸着パネル吸附板吸附板
吸着平衡圧力吸附平衡压力吸附平衡壓力
供給電源电源，功率電源，功率
吸入バルブ吸入阀吸入閥
吸入バルブボディ吸入阀体吸入閥体
強磁界强磁场強磁場
強制昇温快速升温快速升溫
筐体箱体箱體
鏡面仕上げ抛光；镜面加工抛光；鏡面加工
極低温极度低温極度低溫
極高真空超高真空超高真空
極低温トラップ极低温冷阱極低溫冷阱
極低温面极低温面極低溫面
許容誤差容差容差
許容範囲容许范围容許範圍
許容水蒸気排気量容许水蒸气排气量容許水蒸氣排氣量
切換????切换开关，分流开关，换路开关切換開關，分流開關，換路開關切り欠き切口，凹口切口，凹口
均圧用電磁弁均压用电磁阀均壓用電磁閥
金鉄ークロメル熱電対金铁-铬镍热电偶金鉄-鉻鎳熱電偶
【く】
クイック?インストール快速安装快速安裝
クライオソープションポンプ低温吸附泵低溫吸附泵
????熱電対温度計MBS型低温热电偶温度计MBS型低溫熱電偶溫度計MBS型
クライオパネル冷凝板冷凝板
クライオポンプ低温泵低溫泵
クライオポンプ外観図低温泵外观图低溫泵外觀圖
クライオポンプ単体低温泵单体低溫泵單體
クライオ面低温表面低溫表面
グラウンド線接地线接地綫
クラスターツール工具组工具組
クラッパバルブ单向阀單向閥
グラファイトナノチューブ碳纳米管碳納米管
クランプ夹子，夹板夾子，夾板
クランプサドル电缆卡座電纜卡座
グリース油脂油脂
クリーニング清净、清洁清淨，清潔
クールダウンタイム降温时间，制冷时间降溫時間，製冷時間
クロス十字形的；交叉；十字架，十字管十字形的；交叉；十字架，十字管クロスオーバー交差压力交差壓力
クローズ回路闭环电路，闭合电路閉環電路，閉合電路
クロスヘッド十字形的；交叉；十字架，十字管十字性的；交差；十字架，十字管クロメル铬镍合金鉻鎳合金
グロー放電辉光放电輝光放電
空圧シリンダ气动汽缸氣動汽缸
空冷式空冷式空冷式
空冷ファン空冷扇空冷扇
組み合わせ组合組合
【け】
ゲージポート连接口連接口
ゲッタポンプ吸气泵，吸收泵吸氣泵，吸收泵
ゲッタイオンポンプ吸气离子泵吸氣離子泵
ゲートバルブ闸阀,插板阀閘閥，插板閥
径口径口徑
計器仪表儀表
警告マーク图形警告标记圖形警告標記
型式型号型號
経路路线路綫
経路図路线图路綫圖
罫書き划线划綫
結線接线接綫
結露结露結露
欠相缺相缺相
欠相リレー缺相继电器缺相繼電器
減圧弁减压阀減壓閥
減圧弁のハンドル减压阀调整把手減壓閥調整把手
検出器检测器，探测器檢測器，探測器
【こ】
コイル（巻線）线圈綫圈
コーティング涂层塗層
コネクター连接端口連接端口
コネクタピン接线端子接綫端子
コールドヘッド駆動モータ冷冻机驱动电机冷凍機驅動電機
コールドヘッドヒューズ(FX)冷冻机保险丝冷凍機保險絲
コールドヘッド進相用抵抗冷冻机用补偿电阻冷凍機補償電阻
コールドヘッド用絶縁トランス冷冻机用绝缘变压器冷凍機用絕緣變壓器コンセント插座插座
コンダクタンス电导電導
コンデンサ电容器電容器
コントローラ控制器控制器
コントロールボックス控制箱控制箱
コントロールパネル控制板控制板
コンプレッサ压缩机壓縮機
コンプレッサ筐体压缩机箱体壓縮機箱體
コンプレッサ形式压缩机型号壓縮機型號
コンプレッサ進行コンデンサ冷冻机用补偿电容冷凍機用補償電容
コンプレッサポンプ压缩泵壓縮泵
コンプレッサ巻線抵抗压缩机线圈电阻壓縮機綫圈電阻
コンプレッサユニット压缩机装置壓縮機裝置
コンプレッサの運転積算時間压缩机的运转累积时间壓縮機的運轉累積時間コンポーネント附属部件附屬部件
高圧バルブ高压阀高壓閥
高圧ヘリウムガス接続口高压氦气连接口高壓氦氣連接口
高圧側ヘリウムガス圧力計高压侧氦气压力表高壓側氦氣壓力表
交差圧力（クロスオーバー）交差压力交差壓力
交換更换更換
互換ケーブル更换电缆更換電纜
交換サイクル更换周期更換周期
互換性互换性互換性
後継機種新机型新機型
高周波誘導加熱高频感应加热高頻感應加熱
公称値公称值，额定值，标称值公稱值，額定值，標稱值公称入力電力标称输入功率標稱輸入功率
工場出荷設定出厂设定出廠設定
工場出荷時設定値出厂设定值出廠設定值
故障診断故障判断故障判斷
高真空高真空高真空
勾配梯度梯度
効率效率效率
故障症状故障现象故障現象
黒化処理黑化处理黑化處理
固定ピン固定销，固定端子固定銷，固定端子
固定抵抗固定电阻固定電阻
誤配線配线不正确配綫不正確
梱包仕様包装规格包裝規格
【さ】
サーキット电路，线路電路，綫路
サーキットブレーカ断路器斷路器
サーキットプロテクタ电路保护器電路保護器
サージ電圧脉冲电压脈沖電壓
サービス作業维修工作維修工作
サセプター基座基座
サブリメーションポンプ升华泵，提纯泵升華泵，提純泵
サプライ供给供應
サーマルスイッチ热控开关，热动开关熱控開關，熱動開關
サーマルヘッド热传感器熱傳感器
サーマルリレー热动继电器，热敏继电器熱動機電器，熱敏繼電器サーミスタ热敏电阻熱敏電阻
サーモスタット恒温箱，恒温器恆溫箱，恆溫器
差圧差压差壓
差圧弁差压阀差壓閥
再生（する）再生再生
再生ガス導入管再生气体导入管再生氣體導入管
再生ガス配管ユニット ＰＲ型再生气体配管PR型再生氣體配管PR型
再生フローチャート再生模式流程图再生模式流程圖
再生用バンドヒータ再生用加热带再生用加熱帶
最初設定値最初设定值最初設定值
最小曲げ半径最小弯曲半径最小彎曲半徑
最大許容交差圧力最大容许交差压力最大容許交差壓力
最大容積最大体积最大體積
最大流量最大流量最大流量
再放出再放出再放出
座金（ざがね）垫圈墊圈
作業ガス工作气体工作氣體
ざぐり锪孔鍯孔
差込型ピン端子插入式端子插入式端子
作動（する）动作，工作動作，工作
作動圧力工作压力工作壓力
作動原理工作原理工作原理
雑音遮断器噪声消除器噪聲消除器
雑音レベル噪声电平噪聲電平
皿ネジ埋头螺钉,平头螺钉埋頭螺釘，平頭螺釘
酸化膜形成氧化膜形成氧化膜形成
残渣（ざんさ）残渣殘渣
残留気体残留气体殘留氣體
【し】
ジェット喷射；喷注，气流，射流噴射；噴注，氣流，射流シーケンサ编程器編程器
シーケンス回路程序电路程序電路
シーケンス信号ライン程序信号电路程序信號電路
シース線铠装导线銀裝導綫
シースヒータ铠装加热器銀裝導綫加熱器
シミュレーション模拟控制模擬控制
ショート短路，漏电短路，漏電
シリアル通信串行通讯串行通訊
シリンダー圆套筒、活塞筒体圓套筒，活塞筒体
シリンダアッセンブリ圆套筒,活塞筒体组件圓套筒，活塞筒体組件シリンダーカバー圆套筒盖板圓套筒蓋板
シール密封，密封件密封，密封件
シールキット密封组件密封組件
シールテープ密封带密封帶
シールド屏蔽筒屏蔽筒
シールド線屏蔽线屏蔽綫
シンク入力同步输入信号输入电路同步輸入信號輸入電路シングル冷凍機单台冷冻机單台冷凍機
シンクロナスモータ同步电动机同步電動機
シンフレックスチューブ软管,金属软管軟管，金屬軟管
仕上げ精加工精加工
仕切る分开，隔开分開，隔開
治具夹具,专用工具夾具，專用工具
磁気ディスク（HD）硬盘硬盤
磁気ヘッド磁头磁頭
磁界磁场磁場
敷板垫板，铺板墊板，鋪板
自己診断エラー自检警报自檢報警
自己診断機能自检功能自檢功能
自己容量固有电容固有電容
自己誘導自感应自感應
支持金具定位销,夹具定位銷，夾具
自然昇温自然升温自然升溫
室温室温室溫
湿度湿度濕度
質量重量重量
出荷出厂出廠
出荷フランジ出厂发兰出廠法蘭
出荷品リスト装箱一览表裝箱一覽表
出荷時設定出厂时设定出廠時設定
出力インピーダンス输出阻抗輸出阻抗
始動圧力起动压力起動壓力
自動再生自然再生自然再生
自動ロック式自锁式自鎖式
締付け拧紧，紧固凝緊，緊固
締付けトルク连接扭矩，安装扭矩連接扭矩，安裝扭矩
遮蔽遮蔽 ,屏蔽遮蔽，屏蔽
遮断遮断，断路，断开折斷，斷路，斷開
遮断器断路器斷路器
手動ジブクレーン手动吊车手動吊車
主排気系主排气系统主排氣系統
主バルブ主阀门主閥門
主ポンプ主泵主泵
仕様書规格书規格書
集熱管集热管集熱管
収着吸着,吸附吸着，吸附
収着トラップ吸着,吸附冷阱吸着，吸附冷阱
収縮チューブ热缩管熱縮管
充てん充填，注入，加料充填，注入，加料
充てん圧充填压力充填壓力
充てん口充填口充填口
充てんバルブ充填阀充填閥
周辺装置外围设备外圍設備
従来機種旧机型舊機型
潤滑油润滑油潤滑油
瞬停再始動リレー瞬停再启动继电器瞬停再啓動繼電器
蒸気圧蒸气压蒸氣壓
蒸気導管、チムニー蒸气导管,导管蒸氣導管，導管
蒸着镀膜鍍膜
蒸着装置镀膜设备鍍膜設備
蒸発頻度蒸发频率蒸發頻率
昇温時間升温时间升溫時間
消費電力消耗电量消耗電量
使用電圧工作电压工作電量
消耗電力消耗功率消耗供率
照光式押しボタンスイッチ照明式按钮开关照明式按鈕開關
衝突頻度冲(碰)撞频率沖（碰）撞頻率
初期設定値初期设定值初期設定值
諸元各部分，各部件；各因素各部分，各部件；各因素試料试样試樣
真空真空真空
真空計真空计真空計
真空計器真空仪表真空儀表
真空槽真空室真空室
真空槽粗引きバルブ真空室初抽阀真空室初抽閥
真空断熱真空绝热真空絕熱
芯出し水平,中心校正水平，中心校正
進相コンデンサ补偿电容補償電容
進相電流补偿电流補償電流
進相負荷补偿负载補償負載
信号のタイムチャート信号时间波形图信號時間波形圖
信号線とCOM線をツイストする连接信号线和COM线連接信號綫和COM綫【す】
スクリュー螺丝，螺纹，螺旋；螺钉螺絲，螺紋，螺旋；螺釘
スクロール涡轮,涡型管渦輪，渦輪管
スクロール圧縮機涡轮式压缩机渦輪式壓縮機
スコッチヨーク止转棒轭；挡车轭止轉棒軛；擋車軛
スタートアップ启动（压缩机）啓動（壓縮機）
ステータス表示状态显示器狀態顯示器
ストッパ固定器,定位器固定器，定位器
スーパートラップ超级冷阱超級冷阱
スーパートラップ温調器超级冷阱温控器超級冷阱溫控器
スーパートラップアッセンブリ冷阱组件冷阱組件
スパッタリング工程溅射工艺濺射工藝
スパッタイオンポンプ溅射离子泵濺射離子泵
スパッタリング装置溅射装置濺射裝置
スパナ扳手，扳钳扳手，扳鉗
スベースチャンバ空间模拟器空間模擬器
スペシャルOリング特殊O型密封件特殊O型密封件
スリップ滑动(套环)滑動（套環）
図图圖
推奨トルク推荐转矩，扭矩推薦轉矩，扭矩
水晶振動子水晶振荡器水晶振盪器
水質管理基準水质管理标准水質管理標準
水蒸気水蒸气水蒸氣
水晶温度センサー晶体传感器晶體傳感器
水晶発振器晶体振荡器晶體振盪器
水素蒸気圧温度計氢蒸气压温度计氫蒸氣壓溫度計
水素吸蔵合金储氢合金儲氫合金
水冷式水冷式水冷式
水冷熱交オイル出口温度スイッチ水冷热交换器油气出口温度开关水冷熱交換器油氣出口溫度開關
隙間、間隔缝隙，间隔縫隙，間隔
寸法尺寸尺寸
【せ】
セットボルト调整螺栓調整螺栓
セットスクリュー固定螺钉，定位螺钉，调整螺钉固定螺釘，定位螺釘，調整螺釘セルフシーリングカップリング自封连接器自封連接器
センサー传感器傳感器
センターリング定中心，定心；打中心孔定中心，定心；打中心孔
正回転正向运转正向運轉
制御回路控制电路控制電路
成型炭成型碳成型碳
整合インピーダンス匹配阻抗匹配阻抗
製作図生产图，加工图生産圖，加工圖
静止ヘリウム充填圧力静态氦气充填压力靜態氫氣充填壓力
精製精制精製
製造番号生产编号生産編號
静電気静电靜電
成膜装置镀膜装置鍍膜裝置
成膜材料镀膜材料鍍膜材料
積算時間計运转计时器運轉計時器
接続具连接接头連接接頭
接続口连接口連接口
接続部连接口連接口
接続连接，接通，接合，接线連接，接通，接合，接綫
接点接点，触点接點，觸點
接点出力输出接点輸出接點
接点出力が閉になる输出接点闭合輸出接點閉合
接点出力が開になる输出接点断开輸出接點斷開
接着治具连接夹具連接夾具
接着材粘结剂粘結劑
設定圧力设定压力設定壓力
設定値设定值設定值
接点出力接点输入接點輸入
絶縁体绝缘体絕緣體
絶縁抵抗绝缘电阻絕緣電阻
絶縁耐力绝缘强度絕緣強度
絶縁耐圧绝缘电压絕緣電壓
絶縁スリーブ绝缘套管絕緣套管
絶縁テープ绝缘胶带絕緣膠帶
絶縁分配器隔离分配器隔離分配器
全圧全压，总压全壓，縂壓
洗浄清洁清潔
全硬度全硬度全硬度
遷移转变；过度；跃迁；传递轉變；過度；躍遷；傳遞
石けん泡試験法泡沫检漏法泡沫檢漏法
全負荷電流满载电流滿載電流
前面パネル前面控制板前面控制板
【そ】
ソケット插座插座
ソース源，信号源，电源；源极源，信號源，電源；源極
ソース入力电(信号)源输入電（信號）源輸入
ソープションポンプ吸附泵吸附泵
相違、食い違い交错，分歧交錯，分歧
阻止コンデンサ阻抗电容器阻抗電容器
相順相序相序
相当圧等效压等效壓
測定子真空规管真空規管
測定値测定值測定值
底板底板底板
増幅增幅,放大,倍增增幅，放大，倍增
測温抵抗体测温电阻体測溫電阻体
底板フレーム底板框架底板框架
底板が木枠となるダンボール箱底板为木制框架的瓦楞纸箱底板為木製框架的瓦楞紙箱
素材原材料原材料
素子单元，元件；成分，要素，元素單元，元件；成分，要素，元素素粒子基本粒子基本粒子
挿入口装料口,加料口裝料口，加料口
【た】
ダイオード温度計二极管温度计二極管溫度計
タイマ计时器計時器
タイミング定时，计时；同步定時，計時；同步
タイムスイッチ定时开关定時開關
ダクト通道；管道，导管通道；管道，導管
ターゲット材料靶材靶材
ダスト粉尘，灰尘；屑，粉；粉剂粉塵，灰塵；屑，粉；粉劑ダストキャップ防尘帽防塵帽
タップ插座插座
ターボ分子ポンプ涡轮分子泵渦輪分子泵
ターミナルソフトウェアツール终端软件終端軟件
ダメージフリー无损坏無損坏
大気圧大气压大氣壓
大気開放放大气放大氣
大気圧確認器大气确认传感器大氣確認傳感器
台形梯形梯形
耐環境性耐环境性耐環境性
耐候性耐气候性耐氣候性
耐食性クライオポンプ耐腐蚀性低温泵耐腐蝕性低溫泵
耐振動耐震动，抗振动耐震動，抗振動
耐電圧耐电压耐電壓
耐ノイズ性耐噪声性耐噪聲性
滞留時間停留时间停留時間
平らな平的平的
脱ガス脱气脫氣
脱着装卸裝卸
脱離脱离脫離
ため込み式ポンプ贮藏(吸附)式泵貯藏（吸附）式泵
ため込み容量贮藏(吸附)容量貯藏（吸附）容量
段差台阶臺階
端子接头，端子接頭，端子
断線断线斷線
段取り顺序/安排/步骤/准备順序/安排/步驟/準備
断熱绝热絕熱
断面図断面图，剖视图，截面图斷面圖，剖視圖，截面圖短絡、地絡短路，接地短路，接地
断路器断路器斷路器
【ち】
????????单向阀；止回阀單向閥；止回閥
チッピング倾斜，倾倒傾斜，傾倒
チッピングテスト倾倒测试傾倒測試
チャージングホース充填软管充填軟管
チャンバ真空室真空室
チューブマーカ热缩管熱縮管
遅延延时延時
遅延時間延迟时间延遲時間
置換置换置換
置換治具置换工具置換工具
直付型（トラップ）直付型直付型
蓄冷器蓄冷器蓄冷器
窒素氮气氮氣
着脱装卸，离合裝卸，離合
中間流中间流中間流
中継コネクタ中继连接器中繼連接器
中古機/再生二手设备/翻新二手設備/翻新
中真空中真空中真空
超音波探傷検査超声波探伤检查超聲波探傷檢查
超高真空超高真空超高真空
超伝導超导性超導性
超伝導材料超导材料超導材料
長寿命长寿命長壽命
直列つなぎ串联串聯
地絡接地，地线接地，地綫
【つ】
ツイスト（する）旋转旋轉
ツールキット工具组工具組
通過型（トラップ）通过型通過型
通過率透射（过）系数投射（過）係數
通電率导电率導電率
継手接头，连接器接頭，連接器
繋ぎ目焊缝/接缝焊縫/接縫
つまみ（充填阀）旋钮（充填閥）旋鈕
【て】
ディスプレサー活塞，平衡浮子活塞，平衡浮子
ディスプレーサ固定ピン活塞,平衡浮子固定销活塞，平衡浮子固定銷ディヒューザ扩散器擴散器
デバイス器件，设备器件，設備
テーピング绝热胶带絕熱膠帶
テフロン特氟隆，聚四氟乙烯特氟隆，聚四氟乙烯低圧バルブ低压阀低壓閥
低圧ヘリウムガス接続口低压氦气连接口低壓氦氣連接口
低温部低温部低溫部
低温膨張室低温膨胀室低溫膨脹室
定期メンテナンス定期维修定期維修
抵抗电阻電阻
停止停止停止
低真空低真空低真空
訂正更正更正
停電停电停電
適応機種合适机型合適機型
電圧电压電壓
電圧印加加压加壓
電位电位,电势電位，電勢
電位計静电计,电压计靜電計，電壓計
電位差电位差電位差
電気回路电路，电源线路電路，電源綫路
電気機器电气机械与设备電氣機械與設備
電気計器电表電表
電気ケーブル电气电缆電氣電纜
電気ブレーキ电气制动器（电闸)電氣制動器（電閘）
電気メッキ电镀電鍍
電源电源電源
電源ケーブル电源电缆電源電纜
電源ケーブル接続口电源电缆连接端口電源電纜連接端口電源コネクタ电源连接器電源連接器
電源周波数电源频率電源頻率
電源スイッチ电源开关電源開關
電源相电源相位電源相位
電源ソケット电源插口電源插口
電源定格额定电源額定電源
電源投入供电供電
電源の相順电源相序電源相序
電源プラグ电源插头電源插頭
電源を遮断する切断电源切斷電源
電磁弁电磁阀電磁閥
電磁接続器（MC)电磁接触器電磁接觸器
電子管电子管電子管
電子デバイス电子器件電子器件
電子部品电子部件電子部件
電線被覆剥き寸法电缆的剥线皮尺寸電纜的剝綫皮尺寸伝導传导傳導
電離真空計电离真空计電離真空計
電流計电流计,安培计電流計，安培計電流値电流值電流值
電流導入端子电流导入端子電流道入端子
電流制限用抵抗限制电流用电阻限制電流用電阻電力功率， 电力功率，電力
定数定数定數
定格额定額定電源
定格電圧额定电压額定電壓
定格電流额定电流額定電流
定格感度電流额定感度电流額定感度電流
定格使用電圧额定工作电压額定工作電壓
定格入力電圧额定输入电压額定輸入電壓
展開図展开图展開圖
点検检查檢查
点灯と点滅点亮和闪烁點亮和閃爍
【と】
ドライバー螺丝起子螺絲起子
ドライバベアリング驱动轴承驅動軸承
ドライブモータ驱动电机驅動電機
ドライバモータアッセンブリ驱动电机组件驅動電機組件
ドライブユニット驱动装置驅動裝置
ドライブ容量驱动容量驅動容量
ドライポンプ干泵干泵
トラップ冷阱，捕捉器冷阱，捕捉器
トラップ温調器冷阱温控器冷阱溫控器
トラニアンピン驱动销驅動銷
トラブルシューティング故障检查故障檢查
トランジスタ晶体管晶體管
トランジスタ出力晶体管输出晶體管輸出
トランス变压器變壓器
トランスミッション变速器變速器
トリップ跳闸跳閘
トリップリレー跳闸继电器，跳开继电器跳閘繼電器，跳開繼電器トル（トール）托(torr)托
トルク转据，扭矩轉矩，扭矩
トルクレンチ扭矩扳手，扭力扳手扭矩扳手，扭力扳手
トレンチ地沟,深沟地溝，深溝
ドレン管泄水管，排水管；排液管泄水管，排水管；排液管到達圧力极限压力,到达压力極限壓力，到達壓力
等価インピーダンス等效电路等效電路
透過率透过率，穿透率透過率，穿透率
透過係数透过系数透過係數
透水性透水性透水性
導通导通，接通導通，接通
導通試験通路试验，通电试验通路試驗，通電試驗
同電位等电位等電位
導電率导电率導電率
導入充入，导入，供给充入，導入，供給
導入ガス充入气体充入氣體
導入端子导入端子，供料導入端子，供料
等配等配等配
独立接点出力独立接点输出獨立接點輸出
特注特别订货特別訂貨
突入電流冲击电流衝擊電流
取扱説明書使用说明书使用説明書
取付ける安装，装配安裝，裝配
取り付け金具安装工具安裝工具
取付治具安装式夹具安裝式夾具
取付けフランジ安装法兰安裝法蘭
取付け方向安装方向安裝方向
取付方法自由可向任何方向安装可向任何方向安裝
取付けボルト安装螺栓安裝螺栓
取り外し拆下，卸下拆下，卸下
取外し冶具可拆式夹具可拆式夾具
取り回し方法缠法纏法
【な】
ナット螺母螺母
内部ヒータ内部加热器内部加熱器
内部ヒータのスリーブ内部加热器套管内部加熱器套管
内容物工件工件
鉛共晶半田含铅焊料含鉛焊料
鉛フリー半田无铅锡焊無鉛錫焊
鉛フリー専用半田ごて锡焊烙铁錫焊烙鉄
【に】
ニップル継手螺纹接头，管接头；喷灯喷嘴螺紋接頭，管接頭；噴燈噴嘴ニードルバルブ针阀針閥
肉厚壁厚壁厚
肉盛り堆焊堆焊
入尃速度入射速度入射速度
入尃頻度入射概率入射概率
入力?出力输入 ? 输出輸入?輸出
入力回路输入电路輸入電路
入力指令输入指令輸入指令
入力電源输入电源輸入電源
【ぬ】
ヌレ性（湿潤性）浸湿性，可湿性浸濕性，可濕性
【ね】
ネジ螺丝，螺栓螺絲，螺栓
ネジを締める上紧螺丝上緊螺絲
ネジを緩める松螺丝松螺絲
捩る拧/扭擰/扭
熱交換器热交换器熱交換器
熱遮蔽板隔热屏蔽板隔熱屏蔽板
熱収縮チューブ热收缩管熱收縮管
熱遷移、サーマルトランスピレーション热迁移,温度梯度熱遷移，溫度梯度
熱電対温度計热电偶温度计熱電偶溫度計
熱伝導热传导熱傳導
熱伝導率热传导率熱傳導率
熱反尃板热反射板熱反射板
熱反尃膜热反射膜熱反射膜
熱負荷热负荷熱負荷
粘性粘性粘性
粘性流粘性流粘性流
粘性流フラッシング作用增粘作用增粘作用
粘度粘度粘度
【の】
ノギス游标卡尺/机头遊標卡尺/機頭
ノズル喷嘴，喷口噴嘴，噴口
ノーマルモード标准（常规)模式標準（常規）模式
濃度（気体の）浓度濃度
覗き窓观察窗觀察窗
【は】
バイアス偏压偏壓
バイトンOリング氟化橡胶O型密封圈氟化橡膠O型密封圈
バイパス旁路，分流旁路，分流
バイパス運転旁路运转，分流运转旁路運轉，分流運轉
バイパスコンデンサ旁路电容器，分流电容器旁路電容器，分流電流器ハウジング外壳外殼
パージ排放（清洗气体）排放（清洗氣體）
パージガス排放气体，稀释气体排放氣體，稀釋氣體
パスカル帕斯卡,Pa帕斯卡
バタフライバルブ蝶形阀蝶形閥
パーツ更换部件更換部件
パッキン包装,装箱包裝，裝箱
バッチ式间歇时，批处理式，单腔式間歇時，批處理式，單腔式
バッチ式/ロッドロック式スパッタリング
单腔式/装载锁式溅射装置單腔式/裝載鎖式濺射裝置装置
バッチプロセス分批加工法分批加工法
バッチ炉间歇炉，批处理式炉間歇爐，批處理式爐
バッフル挡板擋板
ハーネス安全带,背带安全帶，背帶
バラスト抵抗镇流电阻，平衡电阻鎮流電阻，平衡電阻
バラつき不均匀不均勻
パラメータ参数參數
バリコン可变电容器可變電容器
バルブシート阀座閥座
バルブ阀门閥門
バルブベアリング阀门轴承閥門軸承
バルブボディ阀体閥体
バルブタイミング阀门动作时间,节拍閥門動作時間，節拍
バルブロッドスプリング阀门弹簧閥門彈簧
パルスチューブ脉冲管脈衝管
パワーデバイス电源器件,功率器件電源器件，功率器件
パワーランプ电源灯電源燈
バンドヒータ带式加热器，加热带帶式加熱器，加熱帶
背圧背压背壓
配管配管配管
配管圧力損失配管圧力損失配管壓力損失
配管工事配管工程配管工程
排気（する）排气排氣
排気管排气管排氣管
排気系排气系统排氣系統
排気性能排气性能排氣性能
排気ダクト排气导管排氣導管
排出バルブ排气阀排氣閥
配線配线，布线配綫，佈綫
配線経路配线经路配綫經路
配線のはずれ配线脱落配綫脫落
配電盤配电盘，配电柜配電盤，配電柜
配列排列排列
爆発性爆发性爆發性
剥離剥离，脱落剝離，脫落
破砕（はさい）粉碎粉碎
外れ防止防止脱落防止脫落
発光ダイオード发光二极管發光二極管
発熱源发热源發熱源
破片．がらくた碎片碎片
破裂破裂碎裂
半導体デバイス半导体器件半導體器件
半導体レーザー半导体激光器半導體激光器
半田 封着锡焊密封錫焊密封
はんだごて烙铁，钎焊烙铁烙鉄，釺焊烙鉄
はんだ付け锡焊錫焊
【ひ】
ピクトグラフ图形符号表示圖形符號表示
ヒータ加热器加熱器
ヒーター通電時間加热器通电时间加熱器通電時間
ヒータ取付ボルト加热器固定螺栓加熱器固定螺栓
ヒータのシース部加热器的铠装导线加熱器的銀裝導綫
ヒータブラケット/ヒータフロック加热器托座加熱器托座
ピッチング上下颠簸上下顛簸
ヒートステーション（冷冻机的）冷头（冷凍機的）冷頭
ビニールシート乙烯树脂乙烯樹脂
ビーム电子束，射束電子束，射束
ヒューズ保险丝，熔断器保險絲，熔斷器
ピラニ真空計皮拉尼真空计皮拉尼真空計
ピン端子，销端子，銷
ピンホール针孔，细孔針孔，細孔
光ディスク（CD,DVD）光盘光盤
光ファイバ光缆光纜
光磁気ディスク（MO,MD）光磁盘光磁盤
比感度相对灵敏度相對靈敏度
非凝縮性気体非冷凝气体非冷凝氣體
比重比重比重
非通電不通电不通電
表面移動表面移动表面移動
表面現象表面现象表面現象
表面分析装置表面分析装置表面分析裝置
平ワッシャー平垫圈平墊圈
【ふ】
ファースト．トランジェント/バースト法耐噪声测定法耐噪聲測定法
フィード送料，加料；馈电，供电；输送送料，加料；饋電，供電；輸送フィッティング结合；安装，装配；配件結合；安裝，裝配；配件
フィラメント灯丝燈絲
フィルター过滤器過濾器
フィールドサービス现场技术服务現場技術服務
フォトカプラ絶縁入力光耦合器绝缘输入光耦合器絕緣輸入
フォアライントラップ粗抽用过滤器粗抽用過濾器
ブザー蜂鸣器蜂鳴器
ブッシング轴衬套軸襯套
フライス盤铣床銑床
ブラインドキャップ盲塞（板)盲塞（板）
ブラインドプラグ盲塞盲塞
ブラウン管显像管顯像管
プラグ接插件、保护盖接插件，保護蓋
ブラケット托架，托座，绝缘体支架托架，托座，絕緣體支架
プラスドライバ十字螺丝刀十字螺絲刀
プラズマパネル等离子显示器等離子顯示器
プラズマCVD装置等离子CVD装置等離子CVD裝置
フラットパネルディスプレイ平面显示器平面顯示器
ブランクフランジ无孔连接法兰無孔連接法蘭
フランジ连接法兰連接法蘭
フラットガスケット平面垫圈平面墊圈