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一种大面积制备氧化锌纳米棒阵列的方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号

CN102199770B

(43)申请公布日2013.03.13(21)申请号CN201010133242.X

(22)申请日2010.03.26

(71)申请人中国科学院金属研究所

地址110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

(72)发明人孙超;黄楠;朱明伟;宫骏;裴志亮;华伟刚;肖金泉

(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人张志伟

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种大面积制备氧化锌纳米棒阵列的方法

(57)摘要

本发明属于氧化锌纳米棒阵列制备技

术领域,具体的说是一种大面积制备取向良

好且致密度较高的氧化锌纳米棒阵列的方

法,包括配置溶胶、清洗基片、浸渍-提拉镀

膜和结晶热处理四个步骤,采用溶胶凝胶

法,在无催化剂无模板的条件下直接在基片

上大面积制备取向良好且致密度较高的氧化

锌纳米棒阵列,该方法大大降低了实际生产

成本,提高了工艺的可重复性。本发明可以

解决目前生产氧化锌纳米棒阵列成本高,需

借助催化剂和模板或气相氧化锌过渡层辅助