基于SolidWorks Simulation的洁净机械手机身振动特性分析
摘要：利用SolidWorks和SolidWorks Simulation软件对洁净机械手进行三维实体建模与动态特性分析。通过结构优化，改变了洁净机械手的低阶固有频率,避免了共振的产生。通过改变洁净机械手的振型，提高了洁净机械手取放工件的搬运精度,为结构的改进提供了可靠的参考依据。
关键词：洁净机械手模态
半导体制造行业在我国的迅速发展，设备的自动化程度也越来越高。现代化的设备常常配置有洁净机械手，以提高生产效率。洁净机械手是为半导体生产自动化专门配备的机械手，它可以在保证产品质量、改善劳动条件、降低生产成本、增强企业的竞争力等方面起到及其重要的作用。
在实际工作过程中，洁净机械手在低频率下会产生剧烈的振动，影响洁净机械手的工作可靠性，容易产生因洁净机械手的误操作而使被取工件报废等事故。因此，降低洁净机械手的低频振动，对提高生产效率和稳定产品质量有着极其重要的作用。本文在分析某洁净机械手取放工件特性的基础上，结合其本身的结构特点，优化其动力特性，以期提高取放工件的定位精度。
鉴于洁净机械手的取放工件定位精度与机身振动特性在实际产品开发中的重要作用，很多单位和学者对其展开了研究。谢志江[1]