0.35微米BiCMOS光刻工艺参数的优化

天津大学

硕士学位论文

0.35微米BiCMOS光刻工艺参数的优化

姓名：白兰萍

申请学位级别：硕士

专业：电子与通信工程

指导教师：张为;程高龙

20081101