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《互换性与技术测量》实验指导书(3个动手实验)

实验一用双管显微镜测量表面粗糙度

一、实验目的

《互换性与技术测量》实验指导书(3个动手实验)

1. 熟悉表面粗糙度的主要评定参数;

2. 掌握表面粗糙的常用测量方法。

二、测量原理及仪器说明

双管显微镜是根据“光切法原理”制成的光

学仪器,一般用它测量表面不平度高度R z。其测

量范围取决于选用的物镜放大倍数。通常适合于

测量R z=0.8~80μm的表面粗糙度(有时也可用

来测量零件刻线的槽深等)。

仪器的主要性能如表1所列。仪器外形及各

部分功能见图1及其说明。利用光切法测量表面

粗糙度的原理如图2所示。

《互换性与技术测量》实验指导书(3个动手实验)

表1

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光线经狭缝形成一条扁平的带状光束,以45°的角度投射到被测表面上,有如一平面以45°方向与被测表面相切一样[图2(b)]。由于被测表面并非理想平面,因此截面与被测表面的交线应出现凹凸不平的轮廓线。在另-45°方向观察,就可以见到该轮廓线的影像,此凹凸不平即反映被测表面的不平度,其不平度见图2(a)所示。

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